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公开(公告)号：CN114878734B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202210314261.5
申请日：2022-03-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60 , B01D15/10 , B01J20/281
Abstract: 本发明提供一种基于逐层沉积介孔二氧化硅为固定相的微色谱柱制备方法，通过制备微色谱柱主体结构及于微色谱柱主体结构中逐层沉积介孔二氧化硅为固定相，以制备微色谱柱；其中，采用溶胶‑凝胶法制备介孔二氧化硅粉末，然后采用逐层沉积工艺将介孔二氧化硅固定相逐层沉积在微沟道内，该方法避免了采用溶胶‑凝胶法直接在微色谱柱的微沟道内表面制备介孔二氧化硅固定相时所需的高温，使得盖板上也涂有介孔二氧化硅固定相，能有效改善介孔二氧化硅固定相的涂敷均匀性，且通过控制逐层沉积的次数可以获得合适厚度的介孔二氧化硅固定相，
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公开(公告)号：CN115055173A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210593785.2
申请日：2022-05-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B01J20/286 , B01J20/30 , B01D53/02
Abstract: 本发明提供一种具有高深宽比的全硅微色谱柱及其制备方法，分别在第一硅衬底及第二硅衬底中形成对应的微沟道及微流控端口，而后通过硅硅键合工艺形成具有闭合微沟道及闭合微流控端口的复合硅基底，从而形成仅具有一种硅材质的全硅微色谱柱，有利于获得均匀的固定相，且可形成具有高深宽比的闭合微沟道，使待分析组分分子在固定相和流动相之间快速达到平衡，有利于提高微色谱柱的分离性能和柱容量。
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公开(公告)号：CN113311096A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110719416.9
申请日：2021-06-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/68
Abstract: 本发明提供一种氦离子化检测器及其制备方法，包括衬底、激发电极对、进气管、偏置电极及收集电极；衬底中具有腔室，腔室包括激发电极沟道、进气沟道及出气沟道，激发电极沟道与出气沟道相连通构成第一交汇区，进气沟道与出气沟道相连通构成第二交汇区；激发电极对的激发电极区位于第一交汇区；进气管为具有相同形貌且相向设置的第一进气管及第二进气管，可向第二交汇区提供具有相同压强的辅助载气及样品载气；偏置电极及收集电极位于出气沟道中，且设置于第二交汇区外侧远离第一交汇区处。本发明可在腔室中形成高压“准零流速区”，有利于激发氦等离子体，且此区域氦气流速极低，有利于稳定氦等离子体基团，进而可降低基线噪声。
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公开(公告)号：CN112915590A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110088082.X
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种用于轻烃分离的微色谱柱及制备方法，微色谱柱包括衬底、微沟道、微柱阵列、盖板及复合MOFs固定相，其中，复合MOFs固定相覆盖腔室内表面，且形成复合MOFs固定相的复合MOFs材料包括UIO‑66及ZIF‑8。本发明采用两种含有不同窗口尺寸的MOFs材料，并以特定的配比进行混合形成复合MOFs材料，且在经过老化后形成覆盖腔室内表面的复合MOFs固定相，该复合MOFs固定相能够起到分子筛的作用，从而可提高微色谱柱对轻烃的分离度，尤其是可提高对甲烷‑乙烷这两种性质较为接近的轻烃的分离度，以满足对轻烃定性定量分析检测的要求。
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公开(公告)号：CN112816608A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110087284.2
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本发明提供一种微色谱柱及制备方法，微色谱柱包括衬底、微沟道及椭圆微柱阵列，可使得微柱后的“准零流速区”的区域大大缩小；可在增加椭圆微柱数量的同时调整椭圆微柱的短轴长度q，以在保持微沟道的宽度w及微沟道的有效宽度d不变的前提下，可有效提高柱内表面积，同时可有效解决因微柱数量的增加而带来的柱前压力升高的问题；通过在沿微沟道的宽度方向上，将n列椭圆微柱之间、椭圆微柱与微沟道的侧壁之间设计成具有不同的间距，可进一步的缓解载气流速不均的问题，以进一步的使得柱内的流速分布均匀；本发明的微色谱柱结构和制备工艺简单，可提高微色谱柱的功效、减小供气系统的负担，有利于便携式应用，使得微色谱柱具有广泛的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109962067A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201711405281.9
申请日：2017-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法，包括：SOI硅片，具有衬底硅、埋氧层以及顶层硅；图形化堆叠结构，包含交叉网状结构，其下方具有释放槽，图形化堆叠结构悬挂于释放槽中；盖基片，键合于顶层硅，盖基片具有微沟槽，图形化堆叠结构位于微沟槽内；微色谱柱的微沟道，形成于衬底硅中，微沟道内具有微柱阵列，微沟道与释放槽连通；底基片，键合于衬底硅，以形成包含微沟槽、释放槽及微沟道的微通道。本发明的微热导检测器和微色谱柱分别位于SOI硅片的顶层硅和衬底硅上，增加了设计的灵活性和工艺制作的可控性。本发明无需额外的连接部件，具有死体积低、灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN105304505B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201410270430.5
申请日：2014-06-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种混合晶圆级真空封装方法及结构，包括步骤：a）提供一衬底片，于所述衬底片中形成芯片封装腔；b）于所述衬底片的芯片封装腔中制作吸气剂薄膜；c）提供一包括基底及器件区域的已通过测试的待封装芯片；d）提供一真空设备，将所述待封装芯片及芯片封装腔对准后，进行抽真空、激活吸气剂及加热加压，通过键合结构键合所述衬底片及所述待封装芯片。本发明只对已通过测试的待封装芯片进行真空封装，降低了封装成本；直接在如红外滤波片的衬底片上制作芯片封装腔，将如红外探测器芯片等待封装芯片置于芯片封装腔上完成真空封装，提高了封装效率，减少了封装体积。
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公开(公告)号：CN108181413A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201611124553.3
申请日：2016-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法，所述制备方法包括步骤：在一块硅片上正、反两面刻蚀微色谱柱所需的微沟道，随后分两步分别在该硅片的正反两面完成硅玻璃阳极键合，最后获得玻璃-硅-玻璃结构的双色谱柱芯片；或者在两块硅片上分别刻蚀出微色谱柱所需的微沟道，随后分两步分别在一块玻璃片的正反两面完成硅玻璃键合，最后获得硅-玻璃-硅结构的双色谱柱芯片。当采用微色谱柱和微热导检测器组成微型气相色谱仪时，只需一个本发明所提供的双面键合的微色谱柱芯片，具有便于安装，节省材料成本等诸多优点，在微电子机械系统领域尤其是色谱分析领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN104913852A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510341296.8
申请日：2015-06-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于键合技术的光学读出红外探测器阵列的制作方法，所述制作方法至少包括：1)提供一牺牲衬底和一玻璃衬底，将所述牺牲衬底与所述玻璃衬底键合，减薄所述牺牲衬底形成牺牲层；2)在所述牺牲层上制作形成像素结构阵列，所述像素结构阵列包括制作于所述牺牲层表面的悬浮结构和制作于牺牲层中且与所述玻璃衬底直接接触的锚；3)腐蚀所述牺牲层，释放所述像素结构阵列，形成光学读出红外探测器阵列。本发明提供的制作方法能同时满足器件对机械强度、热串扰、像素的无损释放和红外辐射利用率等各方面的要求，适用于工业化生产。
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公开(公告)号：CN100573063C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200510026744.1
申请日：2005-06-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种新颖的微机械碳纳米管场发射型非致冷热成像器件及制作方法，属于微电子机械系统领域。该器件由红外光学系统、衬底(1)，m×n的像素陈列(15)，荧光屏(14)以及偏置电路(16)等组成。其特征在于采用微机械技术制作双材料梁(膜)作为栅极，在催化剂上定向生长的碳纳米管作为场发射源。其制作特征在于：选择合适的衬底材料，制作牺牲层及锚区，淀积双层材料，刻蚀出栅孔，并在栅孔下制作催化剂材料，在催化剂材料材料上定向生长碳纳米管，去掉牺牲层材料释放双材料梁(膜)，随后封接荧光屏，实现对m×n的像素阵列的真空封装。最后连接偏置电路及其它校准电路，装配红外光学系统，形成微机械碳纳米管场发射型非致冷热成像器件。
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