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公开(公告)号：CN105716705B
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201610058544.2
申请日：2016-01-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明为一种多重应力集中式MEMS仿生水听器，解决现有MEMS矢量水听器只能测声场矢量信息、灵敏度和频率响应带宽均不理想以及左右舷模糊等问题。本发明水听器包括由底层硅、氧化层和顶层硅，在顶层硅上均布四组四梁纤毛式声电换能结构，四组四梁纤毛式声电换能结构底部为空腔，其中悬臂梁的两端设有沉降槽及内缩的豁口；氧化层上均布有四个空腔，顶层硅及底层硅上正对每个空腔的位置溅射有上、下电极，顶层硅上围绕每个上电极均布四个注油孔。本发明水听器结构简单，极大的拓宽了有效频带范围，单片集成便于安装和测试，提高了安装精度，最终以单个传感器实现了小体积内的传感器组阵，克服了在传统的组阵中的各个水听器的不一致性。
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公开(公告)号：CN108345319A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201810314226.7
申请日：2018-04-10
Applicant: 中北大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明公开了一种电动缸测试用缓冲小车的控制系统，主要解决的技术问题是现有技术中在电动缸测试过程中，缓冲小车无法及时赶到起竖台架发生跌落的地点的问题，本发明通过一种电动缸测试用缓冲小车的控制系统，包括控制计算机，所述控制计算机用于接收限位传感单元发送过来的信号并将该信号通过相应的控制算法发送给变频器，所述变频器将控制指令转换为变频信号输送至电机，所述电机带动传动系统从而驱动缓冲小车在导轨上前后移动的技术方案，较好地解决了该问题，可用于控制缓冲小车。
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公开(公告)号：CN104678513B
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201310623068.0
申请日：2013-11-30
Applicant: 中北大学
IPC: G02B6/42
CPC classification number: G02B6/423 , G02B6/4214
Abstract: 本发明涉及一种光耦合模块，其包括一个连接面，该连接面包括第一侧边、与第一侧边平行的第二侧边，该连接面靠近该第一侧边设置有第一连接部，该连接面靠近该第二侧边设置有第二连接部，该第一连接部与该第二连接部相互平行，该第一与第二连接部均包括第一支撑部以及与第一支撑部连接的第二支撑部，该第二支撑部向第一支撑部的两侧延伸，该第二支撑部的宽度大于第一支撑部的宽度。本发明还涉及一种光纤连接器。
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公开(公告)号：CN105923315B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201610293731.9
申请日：2016-05-05
Applicant: 中北大学
Inventor： 焦新泉
IPC: B65G1/10
Abstract: 智能型电力工器具收纳取用设备，用于方便安全工器具的存放和取用。包括手套存取总成、绝缘杆存取总成、输送总成和收集总成，手套存取总成主要包括第一机架、驱动斜块、风板、链轮、第一驱动机构、链条、手套夹和端盖，绝缘手套由手套夹夹持固定，通过驱动第一驱动机构动作可取用绝缘手套；绝缘杆存取总成主要包括第二机架、支撑环、存放盘、第二驱动机构和导料板，绝缘杆放置在两存放盘上，通过驱动第二驱动机构的动作取用绝缘杆，取用的绝缘手套和绝缘杆落在输送总成上，随后输送至收集总成中，使用者可排队领取对应的工器具。本发明可方便对工器具的取用，并能实现对安全工器具的存放，智能化程度高。
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公开(公告)号：CN103499344A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310306600.6
申请日：2013-07-22
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/64
CPC classification number: G01C19/727 , G01C19/722
Abstract: 本发明涉及高灵敏度谐振式光学陀螺，具体为一种双谐振腔谐振式光学陀螺，包括隔离准直芯片可调谐光源Laser、第一耦合器C1、多功能集成光学调制器、第三耦合器C3、第二耦合器C2、第四耦合器C4、主谐振腔、第一光电探测器PD1、第一锁相放大器LIA1、第二光电探测器PD2、第二锁相放大器LIA2，反馈控制电路FBC，还包括其内中心位置设有欧姆结的环状的辅谐振腔、温控模块和第五耦合器C5，主谐振腔上在和输入口相对的位置还设有输出口，第五耦合器C5的输入端和主谐振腔的输出口接触，第五耦合器C5的输出端和辅谐振腔的输入口接触，温控模块通过MEMS工艺制作的导线和欧姆结连接，解决了谐振式光学陀螺灵敏度不高的问题。
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公开(公告)号：CN101667024A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200910075516.1
申请日：2009-09-19
Applicant: 中北大学
IPC: G05B19/048 , G06F3/05
Abstract: 本发明涉及高过载条件下的多通道高速高精度数据采集存储领域，具体是一种高速大容量通用化数据采集处理装置控制方法及系统。解决了现有高速大容量数据采集处理装置存在的通用性差、存储速率低、无法保证完整准确连续记录数据等问题，所述控制方法包括存储器数据写入方法；存储器数据写入方法包含：数据接收步骤；数据分页步骤；数据写入步骤；数据编程固化步骤。所述控制系统包括存储器数据写入系统；存储器数据写入系统包含：数据接收模块；数据分页模块；数据写入模块；数据编程固化模块。本发明方法简单明了，系统结构合理，实现了高速大容量数据采集处理装置通用化使用的目的，并能以高数据存储速率、完整、准确、连续地记录数据。
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公开(公告)号：CN101403763A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810079681.X
申请日：2008-10-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术，具体是一种基于平面环形微腔的悬臂梁式加速度计。解决了现有高灵敏度加速度计加工工艺相对复杂的问题，基于平面环形微腔的悬臂梁式加速度计包括硅基框架、悬臂梁、以及通过悬臂梁支悬于硅基框架中央的质量块，悬臂梁上设有平面环形微腔，硅基框架上沿与对应悬臂梁垂直的方向设置有与对应悬臂梁上平面环形微腔构成平面环形微腔耦合系统的光波导。本发明结构合理、紧凑，加工方便，灵敏度高，完全可以替代现有各类加速度计而应用于各领域当中进行加速度的测量。
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公开(公告)号：CN114271854A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111598721.3
申请日：2021-12-24
Applicant: 中北大学 , 太原市华纳方盛科技有限公司
IPC: A61B8/00 , H01L23/528 , H01L23/538 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开一种超声换能器阵列及其制备方法，其中的超声换能器阵列自下而上依次包括：半导体衬底、第一绝缘层、孤立的岛形半导体层、第二绝缘层和金属图案化层，金属图案化层包括图案化上电极、第一焊盘和第二焊盘；相邻的岛形半导体层由隔离槽分隔，每个岛形半导体层上表面形成有多个凹槽群，所有岛形半导体层上的凹槽群按行列排布；每个凹槽群中的多个凹槽按行列排布；第二绝缘层覆盖隔离槽和凹槽，以在岛形半导体层中形成密封空腔；图案化上电极与凹槽一一对应；每个岛形半导体层相同位置的凹槽群形成凹槽群组，凹槽群组中所有的图案化上电极按行列通过连线连接在一起，并与位于第二绝缘层边缘的第二焊盘电连接；第一焊盘穿过第二绝缘层与岛形半导体层边缘欧姆接触。
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公开(公告)号：CN114242890A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111536451.3
申请日：2021-12-16
Applicant: 中北大学 , 太原市华纳方盛科技有限公司
IPC: H01L49/02
Abstract: 本发明公开一种超声换能器单元、超声换能器阵列及其制备方法，涉及电容式微机械超声换能技术领域，该超声换能器阵列中的超声换能器单元包括：相互键合的上基板和下基板，上基板由下至上依次包括第一器件层、第一绝缘层和至少一个图案化的上电极；下基板为SOI基板，由下至上依次包括下电极、第二绝缘层、第二衬底、第三绝缘层和孤立的岛形第二器件层；岛形第二器件层上表面形成有至少一个凹槽，凹槽及岛形第二器件层的上表面覆盖有第四绝缘层；岛形第二器件层下方的第三绝缘层和第二衬底中形成有通孔，第二绝缘层覆盖第二衬底下表面及通孔的侧壁，下电极覆盖通孔。本发明可有效提高超声换能器阵列的灵敏度。
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