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公开(公告)号：CN115738936A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211626278.0
申请日：2022-12-16
Applicant: 上海交通大学
IPC: B01J13/02
Abstract: 本发明提供一种CD‑CH聚合物复合空心微球及其制备方法，所述方法包括：采用微流控方法制备CD微球；所述CD微球依次经旋转固化、清洗、干燥处理，得到CD空心微球；筛选符合预设条件的CD空心微球，通过气相沉积的方式在CD空心微球上制备CH层，得到CD‑CH聚合物复合空心微球。本发明的制备方法具有简单高效、球壳内径和不同层厚度可控、易于批量化的优点，所制备的CD‑CH聚合物复合空心微球适用于惯性约束聚变实验。
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公开(公告)号：CN112378956A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011187896.0
申请日：2020-10-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N25/68
Abstract: 本发明提供一种低温气体湿度测量系统及方法，包括：利用冷镜露点法的原理，将气体湿度测量转化为对露点温度的测量；露点生成装置包括低温控温平台及冷镜，放置在低温控温平台载物台上，露点生成检测系统包括激光发射器和光电探测器，激光发射器、光电探测器通过光学通孔外接在低温控温平台真空罩外，激光发射器发出的光通过光学通孔入射到冷镜，经反射后进入装配滤光片的光电探测器，通过光电探测器信号明显变化判断露点生成。本发明使得低温控温平台降温到极低温度下的同时，激光发射器和光电探测器仍在常温状态下工作，此时精准测得冷镜上露点形成温度，从而可以推导出较为精准的气体湿度。
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公开(公告)号：CN115463803B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202111532888.X
申请日：2021-12-15
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种化学气相沉积装置以及高厚度Parylene‑N膜的制备方法，该装置包括通过管道依次相连的蒸发室、裂解炉、沉积室和冷阱；所述冷阱通过真空泵与所述沉积室连通；所述沉积室的底部设有用于与所述冷阱连通的连通口，所述连通口处设有节流片，所述节流片用于调节所述连通口的大小；所述沉积室内还设有降温平台，所述降温平台位于所述沉积室的腔室底部，所述降温平台用于降低衬底的温度。本发明的高厚度Parylene‑N膜的制备方法，使用该装置，并通过控制裂解温度和沉积压力等参数，可以实现微米级别的Parylene‑N膜的快速沉积，且只需要在常见的Parylene沉积设备上进行改进和调节参数即可实现，有利于减少制造成本。
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公开(公告)号：CN116313168A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211626404.2
申请日：2022-12-16
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种激光聚变点火的靶支撑结构及其MEMS加工方法，包括：下压缩锥支撑片，其位于底部，设置有下压缩锥装配孔和夹持端；上压缩锥支撑片，其与下压缩锥支撑片平行，其设置有上压缩锥装配孔；点火锥支撑片，其竖向设置，连接下压缩锥支撑片和上压缩锥支撑片，其设置有点火锥装配孔；承托片，其竖向设置，连接下压缩锥支撑片和上压缩锥支撑片，其设置有调整观测孔；装配孔均设置有点胶槽。本发明模块化设计满足打靶实验对于靶加工的高灵活性需求，MEMS加工技术解决高尺寸精度的问题，SOI硅片的使用从技术层面实现了不同批次零部件加工结果的高均一性。对于靶支撑结构形成可靠的技术线路，满足点火实验对各个参数靶的灵活需求和批量化生产要求。
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公开(公告)号：CN113956516B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202111429264.5
申请日：2021-11-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种CH聚合物球壳靶的制备方法，所述方法包括：提供CH聚合物溶液；将所述CH聚合物溶液在平面基底上形成薄膜，得到聚合物平面膜；将所述聚合物平面膜从所述平面基底剥离后，平铺在固定于网格中的球模上；将所述聚合物平面膜和所述球模一同置于烘箱中缓慢升至预设温度，并保温预设时长后随炉冷却，得到球冠膜；对所述球冠膜激光切割后沿切割轮廓进行剥离，得到CH聚合物球壳靶。本发明的制备方法具有简单高效的优点，所制备的CH聚合物球壳靶适用于惯性约束聚变实验。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114444662A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210104020.8
申请日：2022-01-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种基于深度学习的低温传感器的高精度温度预测方法，该方法包括：获取低温传感器的温度与电阻对应关系的数据集；利用切比雪夫多项式和归一化法对所述数据集进行预处理，得到处理后数据集；构建深度学习模型，调节超参数后，将所述处理后数据集分段形成低温区和高温区，所述低温区与所述高温区有重叠区间，并对所述处理后数据集进行训练；根据训练结果预测温度值。本发明通过深度学习方法与切比雪夫多项式结合，能够提高低温传感器的温度预测精度。
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公开(公告)号：CN114242270A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111558082.8
申请日：2021-12-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种复合抛物面聚光靶型及其制备工艺，所述靶型包括：复合抛物面靶壳，其内表面为由抛物线沿中心轴旋转180°而成的轴对称壳体，所述壳体由曲面沿着抛物面延长线截断，保证激光聚焦点位于激光输出端口以外；垂直靶架，用于支撑所述复合抛物面靶壳，并将所述复合抛物面靶壳进行垂直固定。利用精密加工工艺，实现金属材料壳体的制作，结合精密车削技术、厚金属电镀技术、双模态腐蚀技术实现抛物面壳体制备；利用高精度3D打印技术完成其垂直靶架的制作。该复合抛物面聚光靶型的设计可使激光从靶壳入射口进入，经过最多一次反射便可通过激光输出端口聚焦在一点，有效减轻聚变点火所需激光功率。
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公开(公告)号：CN113956516A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111429264.5
申请日：2021-11-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种CH聚合物球壳靶的制备方法，所述方法包括：提供CH聚合物溶液；将所述CH聚合物溶液在平面基底上形成薄膜，得到聚合物平面膜；将所述聚合物平面膜从所述平面基底剥离后，平铺在固定于网格中的球模上；将所述聚合物平面膜和所述球模一同置于烘箱中缓慢升至预设温度，并保温预设时长后随炉冷却，得到球冠膜；对所述球冠膜激光切割后沿切割轮廓进行剥离，得到CH聚合物球壳靶。本发明的制备方法具有简单高效的优点，所制备的CH聚合物球壳靶适用于惯性约束聚变实验。
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公开(公告)号：CN111649840B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202010381499.0
申请日：2020-05-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01K11/3206 , G02B6/42
Abstract: 本发明提供一种光学谐振器低温温度传感器及其制备、封装方法，包括器件，器件包括晶圆基片和温度敏感薄膜，温度敏感薄膜设有输入光栅耦合器、输出光栅耦合器和光信号传输部件，光信号传输部件包括光波导和光学谐振腔，光波导与输入光栅耦合器、输出光栅耦合器耦合，光波导用于传输光信号及与光学谐振腔的光信号耦合，光学谐振腔对光场具有限制作用；温度敏感薄膜上方设有一层保护层，且保护层位于器件的顶层。本发明利用光波导的高传输效率及高热光效应性能，具有较高的分辨率及灵敏度，品质因数Q值高达105～106，并通过设计夹持光纤的光纤槽，使用耐低温胶，实现光纤与光栅的高效耦合封装，在常温至低温温区仍能实现信号的输入、输出。
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