公开(公告)号：CN112378956A

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN202011187896.0

申请日：2020-10-30

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 刘景全 ,  唐晓荷 ,  林祖德 ,  尤敏敏

IPC: G01N25/68

Abstract: 本发明提供一种低温气体湿度测量系统及方法，包括：利用冷镜露点法的原理，将气体湿度测量转化为对露点温度的测量；露点生成装置包括低温控温平台及冷镜，放置在低温控温平台载物台上，露点生成检测系统包括激光发射器和光电探测器，激光发射器、光电探测器通过光学通孔外接在低温控温平台真空罩外，激光发射器发出的光通过光学通孔入射到冷镜，经反射后进入装配滤光片的光电探测器，通过光电探测器信号明显变化判断露点生成。本发明使得低温控温平台降温到极低温度下的同时，激光发射器和光电探测器仍在常温状态下工作，此时精准测得冷镜上露点形成温度，从而可以推导出较为精准的气体湿度。

公开(公告)号：CN112378956B

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202011187896.0

申请日：2020-10-30

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 刘景全 ,  唐晓荷 ,  林祖德 ,  尤敏敏

IPC: G01N25/68