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公开(公告)号：CN103712613A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310687294.5
申请日：2013-12-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5783 , G01C25/00
CPC classification number: G01C19/5783
Abstract: 本发明提供了一种燕尾槽滑动的圆盘式微机械固体波动陀螺封装装置及方法，包括：一个带有燕尾槽的底座，一个单独的支撑架，可滑动的第一、第二夹具以及若干螺钉；其中：底座的上方开凿有与第一夹具、第二夹具相配合的燕尾槽，第一夹具、第二夹具在燕尾槽内自由滑动，且第一夹具最终固定在底座上；支撑架可安装于底座或取下，用于待测试陀螺的固定，利用顶部的螺钉和底部的螺钉精确固定在待测试陀螺的中心位置；螺钉用于固定第一夹具、第二夹具、支撑架和待测试陀螺。本发明保证了待测试陀螺信号更精确的输出，且固定牢靠；便于加工，且加工精度能够达到预期要求；适用性广，适用于各种尺寸的圆盘式微机械固体波动陀螺。
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公开(公告)号：CN103363970A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310245396.1
申请日：2013-06-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法，包括不带释放孔的圆盘振子，圆柱形的支撑柱，基板，电磁驱动线圈、电磁检测线圈和隔离电极，圆盘振子通过圆柱形的支撑柱固定在基板上，且圆盘振子垂直于基板的z轴；电磁驱动线圈、电磁检测线圈和隔离电极呈圆周分布于基板上并位于圆盘振子下方，同时与圆盘振子平行且有一间隙；隔离电极分布于电磁驱动线圈与电磁检测线圈之间。该陀螺利用非接触式的驱动检测电极对陀螺进行驱动检测，减小了谐振子受外界的影响。该微陀螺采用MEMS加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，适用于批量化生产。
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公开(公告)号：CN102980565A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210506029.8
申请日：2012-11-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5684 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开一种圆环波动微机械陀螺及其制备方法，包括：基底；金属圆环谐振子；位于所述金属圆环谐振子内的基底上的压电薄膜；两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的检测电极；两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的平衡电极；以及四个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的监测电极；八个电极与金属圆环谐振子形成八个以空气作为介电质的电容。本发明利用圆环的四波腹振动模态进行工作，对压电薄膜层驱动电极施加交流电压，由逆压电效应产生振动，带动圆环谐振子在驱动模态振动。当存在输入角速度时，圆环谐振子的振型向检测模态转变，利用检测电极与谐振子之间的间隙发生变化，经外围电路检测电容变化，处理得到输入角速度信号。
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公开(公告)号：CN102641109A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210097875.9
申请日：2012-04-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种内窥镜照度的智能调节方法，包括步骤：步骤一、初始化；步骤二、内窥镜冷光源输出标准照度；步骤三、内窥镜处于工作状态，观察和采集人体器官内部实时图像；步骤四、分别获取RGB实时彩色图像的R、G、B三基色像素值R1(u，v)、G1(u，v)、B1(u，v)及其均值步骤五、对实时采集的图像进行偏色校正；步骤六、选取偏色校正后的三基色像素值中的最大与最小值；步骤七、图像亮度校正；步骤八、求取图像亮度校正后的图像像素均值及其综合均值；步骤九、比较J与数据库中J0的大小，调节冷光源照度输出。本发明无论内窥镜如何弯曲，其照度能够实现智能调节并达到优化效果。
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公开(公告)号：CN102278983A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110206942.1
申请日：2011-07-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及一种微机电技术领域的具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法，包括：一个具有三个振动梁的等边三角形振子，与振动梁平行且有一定间隙的驱动电极，位于驱动电极的两侧且与驱动梁平行的检测电极以及基板。该微陀螺的制作方法采用体硅微加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，能够同CMOS工艺兼容，抗冲击，不需要真空封装，适用于批量化生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103344230B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310245588.2
申请日：2013-06-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明提供了一种静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法，所述陀螺包括不带释放孔的圆盘振子、基板、圆柱形的支撑柱、驱动电极、检测电极和公共电极，其中：所述圆盘振子通过所述支撑柱固定于所述基板上，所述圆盘振子垂直于基板的z轴；所述驱动电极、所述检测电极和所述公共电极呈圆周分布于所述基板上，并与所述圆盘振子平行且有一间隙；所述公共电极设置于两个所述驱动电极与两个所述检测电极之间。所述陀螺采用MEMS加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明采用非接触式的电极结构，对谐振子的振动影响更小。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，适用于批量化生产。
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公开(公告)号：CN103322995B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310245579.3
申请日：2013-06-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种压电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法，包括：一个不带释放孔的压电圆盘振子，一个圆柱形的支撑柱，分布于圆盘振子上的驱动电极，以及分布于基板上的检测电极、平衡电极和公共电极。所述驱动电极分布于所述圆盘振子上；所述检测电极、平衡电极和公共电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方，同时与所述圆盘振子平行且有一间隙；该陀螺利用压电效应进行陀螺驱动。同时利用非接触式的平衡电极给下电极施加电势，使得陀螺结构得到了优化。该微陀螺的制作方法采用MEMS加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，适用于批量化生产。
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公开(公告)号：CN103575262B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201310473448.0
申请日：2013-10-11
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明公开一种摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺，包括：一个压电圆盘，一个摇摆质量体，四个电极以及一个固定夹紧装置。其中电极又包括：两个检测电极和两个驱动电极。所述摇摆质量体位于压电圆盘中心直立固定，所述四个电极沿圆盘表面四周均匀分布，驱动电极和检测电极间隔放置，固定夹紧装置在圆盘四周外侧均匀间隔处对圆盘进行固定，紧紧夹在圆盘外围四周。本发明圆盘结构高度对称，驱动模态和检测模态刚好分别在驱动电极和检测电极的方向上；只用一对检测电极，对于检测沿摇摆质量体柱形方向的角速度十分有利；本发明结构简单、小体积、具有高Q值等特点且不需要真空封装。
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公开(公告)号：CN103363970B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310245396.1
申请日：2013-06-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法，包括不带释放孔的圆盘振子，圆柱形的支撑柱，基板，电磁驱动线圈、电磁检测线圈和隔离电极，圆盘振子通过圆柱形的支撑柱固定在基板上，且圆盘振子垂直于基板的z轴；电磁驱动线圈、电磁检测线圈和隔离电极呈圆周分布于基板上并位于圆盘振子下方，同时与圆盘振子平行且有一间隙；隔离电极分布于电磁驱动线圈与电磁检测线圈之间。该陀螺利用非接触式的驱动检测电极对陀螺进行驱动检测，减小了谐振子受外界的影响。该微陀螺采用MEMS加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，适用于批量化生产。
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公开(公告)号：CN102980565B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201210506029.8
申请日：2012-11-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5684 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开一种圆环波动微机械陀螺及其制备方法，包括：基底；金属圆环谐振子；位于所述金属圆环谐振子内的基底上的压电薄膜；两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的检测电极；两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的平衡电极；以及四个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的监测电极；八个电极与金属圆环谐振子形成八个以空气作为介电质的电容。本发明利用圆环的四波腹振动模态进行工作，对压电薄膜层驱动电极施加交流电压，由逆压电效应产生振动，带动圆环谐振子在驱动模态振动。当存在输入角速度时，圆环谐振子的振型向检测模态转变，利用检测电极与谐振子之间的间隙发生变化，经外围电路检测电容变化，处理得到输入角速度信号。
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