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公开(公告)号：CN101765902A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200780100341.4
申请日：2007-08-31
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H01L21/31 , C23C16/503
CPC classification number: C23C16/505 , H01J37/32009 , H01J37/32348 , H01J37/32724
Abstract: 本发明提供能以高密度且高效率导出高能量的游离基气体、并提供给被处理物质的介质阻挡放电气体的生成装置。为此，将平板状的第一电极与第二电极配置在相对位置，在两个电极间配置介质。另外，在第一电极与介质之间设置放电空间部，在第一电极与介质的间隙内，形成三方被气体密封、且剩余一方在第一电极及介质的各端面侧开口的放电空间部。再有，包括冷却至少第一电极的冷却部、以及向上述放电空间部提供原料气体的气体提供部。然后，向第一电极及第二电极施加交流电压，在放电空间部产生介质阻挡放电。
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公开(公告)号：CN110997556B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN201780093738.9
申请日：2017-08-09
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种能实现系统结构的小型化的臭氧气体利用系统和实现环境负担的降低。并且，本发明具备具有生成臭氧气体(62)的臭氧产生装置(100)的执行臭氧利用处理的小规模的应用装置(200)。臭氧产生装置(100)包括：负载共振型高频升压变压器(13)，得到升压高频电压(72)；以及臭氧气体产生器(11)，接收升压高频电压(72)作为动作电压，从包含氧气的原料气体生成200g/m3以上的臭氧浓度的臭氧气体(62)。应用装置(200)在0.2MPa以上的压力环境下接收臭氧气体(62)。
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公开(公告)号：CN110997556A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201780093738.9
申请日：2017-08-09
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种能实现系统结构的小型化的臭氧气体利用系统和实现环境负担的降低。并且，本发明具备具有生成臭氧气体(62)的臭氧产生装置(100)的执行臭氧利用处理的小规模的应用装置(200)。臭氧产生装置(100)包括：负载共振型高频升压变压器(13)，得到升压高频电压(72)；以及臭氧气体产生器(11)，接收升压高频电压(72)作为动作电压，从包含氧气的原料气体生成200g/m3以上的臭氧浓度的臭氧气体(62)。应用装置(200)在0.2MPa以上的压力环境下接收臭氧气体(62)。
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公开(公告)号：CN108367919A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201580085161.8
申请日：2015-12-08
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11
Abstract: 本发明的目的是提供能够产生更高浓度的臭氧的臭氧产生方法。并且，作为设置于本发明中所使用的臭氧产生器(1)的电介体(1c)、接地电极(1b)间的金属化合物质层(1d)，使用了下述金属化合物质，该金属化合物质满足：条件(1)“不是促进臭氧分解的物质”；条件(2)“不是导电体”；条件(3)“金属化合物质层(1d)的禁带宽度为2.0～4.0(eV)的范围”及条件(4)“金属化合物质层(1d)的在激发状态下所形成的价电子带部的空穴电位大于氧分子的结合电位(1.25(eV))”。进而，在将抑制臭氧的分解量的各种臭氧分解抑制必要条件施加于臭氧产生器(1)的环境下执行作为臭氧产生处理的步骤(a)～(c)。
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公开(公告)号：CN105594307A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201380080010.4
申请日：2013-10-04
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: H05H1/24 , C01B13/11 , H02M7/48 , H02M2007/4818 , H05H1/46 , H05H2001/4682 , Y02B70/1441 , Y02P20/121
Abstract: 本发明提供一种在包含等离子产生装置以及电源装置的系统中自动地决定逆变器的驱动频率的电源装置。本发明所涉及的电源装置(10)具有：在电源装置(10)与等离子产生装置(5)之间创建谐振状态的谐振单元(7)；和进行如下动作的控制部(6)。即，控制部(6)在被指示相对于额定电力为100％的投入电力值(或100％以下且阈值％以上的投入电力值)时，使逆变器频率变化，按照每个逆变器频率分别求取逆变器输出功率因数。然后，控制部(6)基于成为最高的逆变器输出功率因数的逆变器频率来将其决定为逆变器的驱动频率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103459307B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201180069523.6
申请日：2011-03-24
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J12/00 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于获得一种臭氧气体供给系统，其搭载有向放电面涂敷用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)，并能够向各臭氧处理装置供给可靠性高的臭氧气体。而且，本发明尤其是在原料气体供给部设置用于去除原料气体所含有的水分的机构(59)，使向臭氧气体供给系统供给的原料气体所含的水分量减少，并且具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个无氮添加臭氧产生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，利用在内部设置的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，以多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合，向多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意臭氧处理装置选择性地输出而能够执行臭氧气体输出流量控制。
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公开(公告)号：CN103857620B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201180073951.6
申请日：2011-10-04
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J19/087 , B01J2219/0803 , B01J2219/0892 , C01B13/11 , C01B2201/20 , C01B2201/32 , C01B2201/70
Abstract: 本发明目的在于得到一种能够更多地输出臭氧气体的未添加氮的臭氧产生单元。并且，在本发明中，未添加氮的臭氧产生单元(7)将包含冷却为低温的未添加氮的臭氧产生器(1)、臭氧电源(2)、MFC(3)、APC(4)、隔热冷却水输入用配管(31I)、及隔热冷却水输出用配管(31O)的多个功能机构汇集而构成1单位的封装单元。并且，未添加氮的臭氧产生器(1)将由绝缘物等隔热材料构成的隔热层(8)覆盖臭氧产生器外框(1x)的大致整面而形成。而且，冷却水系统(30)经由隔热冷却水输入用配管(31I)向未添加氮的臭氧产生器(1)供给的冷却水(33)的温度设定为5℃以下，从而使未添加氮的臭氧产生器(1)本身成为低温化结构。
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公开(公告)号：CN102770369B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201080053584.9
申请日：2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0805 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元，其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外，在本发明中，气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接，从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。
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公开(公告)号：CN104105659A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201280069495.2
申请日：2012-08-30
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , B01J35/004 , B01J35/02 , C01B2201/10 , C01B2201/20 , C01B2201/64 , C01B2201/70 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够抑制副产品的产生且低成本的臭氧生成系统。在本发明中，具备对臭氧产生装置(1)输出原料气体的气体流量调整装置(7)。气体流量调整装置(7)具备多个流量调整部(71、72、73、75)，并将由从第一氧流量调整器(71)输出的氧气和从混合气体流量调整器(75)输出的第一混合气体构成的第二混合气体作为原料气体而对臭氧产生装置(1)输出。在此，在气体流量调整装置(7)中生成的原料气体由氧气和氮气构成，氮相对于氧气的添加率比0ppm大且为100ppm以下。
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公开(公告)号：CN103857620A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201180073951.6
申请日：2011-10-04
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J19/087 , B01J2219/0803 , B01J2219/0892 , C01B13/11 , C01B2201/20 , C01B2201/32 , C01B2201/70
Abstract: 本发明目的在于得到一种能够更多地输出臭氧气体的未添加氮的臭氧产生单元。并且，在本发明中，未添加氮的臭氧产生单元(7)将包含冷却为低温的未添加氮的臭氧产生器(1)、臭氧电源(2)、MFC(3)、APC(4)、隔热冷却水输入用配管(31I)、及隔热冷却水输出用配管(31O)的多个功能机构汇集而构成1单位的封装单元。并且，未添加氮的臭氧产生器(1)将由绝缘物等隔热材料构成的隔热层(8)覆盖臭氧产生器外框(1x)的大致整面而形成。而且，冷却水系统(30)经由隔热冷却水输入用配管(31I)向未添加氮的臭氧产生器(1)供给的冷却水(33)的温度设定为5℃以下，从而使未添加氮的臭氧产生器(1)本身成为低温化结构。
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