公开(公告)号：CN113646876A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN201980094857.5

申请日：2019-04-09

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 藤田淳

IPC: H01L21/52 ,  H02M7/48

Abstract: 功率半导体模块(1)具备电路基板(10)、包含半导体基板(20)的功率半导体元件(19)以及至少一个接合部(5)。至少一个接合部(5)包含远离半导体基板(20)的第1金属构件(12)、靠近半导体基板(20)的第2金属构件(23)以及将第1金属构件(12)和第2金属构件(23)互相接合的接合层(15)。在同一温度下，第1金属构件(12)的0.2％屈服强度比第2金属构件(23)的0.2％屈服强度更小，并且比接合层(15)的剪切强度更小。

公开(公告)号：CN111788694A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201880089095.5

申请日：2018-03-08

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 吉田基 ,  藤田淳 ,  佐藤祐司

IPC: H01L29/78

Abstract: 目的在于提供能够抑制第1电极以及第2电极的腐蚀的技术。半导体元件(101)具备半导体基板(1)、Al电极(2)、选择性地配设于Al电极(2)上的聚酰亚胺部件(3)以及Ni电极4。聚酰亚胺部件(3)在聚酰亚胺部件(3)的顶视时的周缘部的至少一部分中的剖面视时的与Al电极(2)相接的下部具有朝向Al电极(2)的上表面的面方向的突出部(3a)。Ni电极(4)配设于Al电极(2)以及突出部(3a)上。

公开(公告)号：CN105934813B

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201580005967.1

申请日：2015-02-16

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 吉田基 ,  远藤加寿代 ,  藤田淳 ,  冈部博明 ,  须贺原和之

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/329 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L23/532 ,  H01L29/41 ,  H01L29/47 ,  H01L29/872

Abstract: 本发明的目的在于提供在高温动作中也抑制Cu布线的氧化的半导体装置。本发明的半导体装置具备：基板(1)，具有主面；Cu电极(8)，选择性地形成于基板(1)的主面一侧；氧化防止膜(14)，形成于Cu电极(8)的上表面的除其端部以外的区域；有机树脂膜(10)，形成于基板(1)的主面上，遮覆Cu电极(8)的侧面以及上表面的端部；以及扩散防止膜(11)，在有机树脂膜(10)与基板(1)的主面之间，与两者相接而形成，并在有机树脂膜(10)与Cu电极(8)的侧面以及上表面的端部之间，与两者相接而形成。

公开(公告)号：CN108350596A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201580084388.0

申请日：2015-11-12

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 佐藤祐司 ,  藤田淳 ,  吉田基 ,  远藤加寿代

IPC: C25D7/12 ,  C25D5/02

Abstract: 本发明涉及Cu镀层的形成方法、带有Cu镀层的基板的制造方法及带有Cu镀层的基板。本发明的Cu镀层的形成方法包含：在基板的一表面以平均结晶粒径成为50nm以上且300nm以下的方式形成Cu种子层的第1工序；在氧气氛中在Cu种子层的表面形成氧化膜的第2工序；将氧化膜的一部分除去的第3工序；对Cu种子层给电、在Cu种子层的氧化膜的表面通过电解镀覆而形成Cu镀层的第4工序。

公开(公告)号：CN103875078B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201280050762.1

申请日：2012-10-17

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 滨口恒夫 ,  薮垣良美 ,  越前谷大介 ,  藤田淳 ,  高山智生 ,  宫本慎介

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/048 ,  H01L31/18 ,  H01L31/05

CPC classification number: H01L31/05 ,  H01L31/0512 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明的太阳能电池模块（100）具备：布线材料（2），将多个太阳能电池元件（1）进行电连接；以及如下构造：使焊料熔融而将集电电极（4）和所述布线材料接合而形成焊料接合部（6），所述集电电极设置于所述太阳能电池元件的受光面上，在与所述布线材料平行的第1方向上延伸，在与所述第1方向垂直的剖面中，所述集电电极（4）的宽度比所述布线材料小，所述焊料接合部的与所述第1方向垂直的剖面形状具有随着从所述布线材料的下表面朝向所述集电电极而逐渐变窄的形状，用热硬化性树脂（7）覆盖所述焊料接合部的侧面和所述布线材料的侧面。

公开(公告)号：CN102630347B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201080049952.2

申请日：2010-10-20

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 远藤加寿代 ,  藤田淳 ,  德永隆志

IPC: H01L31/02 ,  H01L31/048 ,  H01L31/05

CPC classification number: H01L31/0508 ,  H01L31/0201 ,  H01L31/02013 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0465 ,  H01L31/048 ,  Y02E10/50 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49355

Abstract: 为了得到能够避免因布线材料的蛇行的影响引起的发电效率的降低并能够缓和起因于基板材料和布线材料的热膨胀系数之差的应力、且能够抑制基板的翘曲、电极与布线的接合部分的剥落的薄膜太阳能电池模块，具有：薄膜太阳能电池器件(2)，将多个薄膜太阳能电池单元串联连接而构成；以及汇流条布线(3)，设置在薄膜太阳能电池器件(2)的正极侧端部和负极侧端部，其中，汇流条布线(3)是多个导电部件(10)重叠一部分地连结而构成。