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公开(公告)号：CN106662806A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580046947.9
申请日：2015-09-17
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/64 , G03F7/2008 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：第1框体，该第1框体配置有防护膜；第2框体，该第2框体具有厚部和第2面，并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围，所述厚部包含第1面，所述第1面承接与上述第1框体的配置有上述防护膜的面相反侧的面，所述第2面与上述第1面连接并承接上述第1框体的侧面；贯通孔，该贯通孔配置在上述第2框体的上述厚部；以及过滤器，该过滤器配置在与配置有上述防护膜的上述第1框体的面交叉的上述第2框体的外侧的侧面，并覆盖上述贯通孔。
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公开(公告)号：CN105143310A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480022641.5
申请日：2014-04-23
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08G73/10 , B32B15/088 , C08J5/18 , C09D179/08 , G02B1/04 , G03F7/037 , H01B3/30 , H05K1/03
CPC classification number: C08G73/1042 , B32B15/08 , B32B15/088 , B32B27/281 , B32B2307/206 , B32B2307/412 , B32B2457/08 , B32B2457/20 , B32B2551/00 , C08G73/10 , C08G73/1082 , C08J5/18 , C08J2379/08 , C08L79/08 , C09D179/08 , G03F7/037 , G03F7/11 , G03F7/20 , G03F7/322 , H01B3/306 , H05K1/0296 , H05K1/0346 , H05K1/0353 , H05K1/0393 , H05K3/0017 , H05K3/281 , H05K2201/0154
Abstract: 本发明的目的在于提供一种具有对于碱性水溶液的适度溶解性的嵌段聚酰胺酸酰亚胺、以及使用该嵌段聚酰胺酸酰亚胺所获得的具有高透明性和低热膨胀系数(低CTE)的嵌段聚酰亚胺。本发明的嵌段聚酰亚胺包括：由下述式(1A)所表示的重复结构单元构成的嵌段和由下述式(1B)所表示的重复结构单元构成的嵌段。
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公开(公告)号：CN118974649A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202380027548.2
申请日：2023-03-03
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64
Abstract: 本发明的目的在于提供可抑制由防护膜的张力引起的应变并且能够抑制由防护膜组件框的变形引起的原版的应变的防护膜组件框、防护膜组件以及防护膜组件的制造方法。防护膜组件框具备用于支撑防护膜的硬质框构件(12A)和用于与具有图案的原版连接的软质框构件(11X)。软质框构件(11X)与前述硬质框构件(12A)连接。前述软质框构件(11X)是由基材层(112)和粘着层(111)在与前述防护膜的面方向正交的厚度方向上以前述粘着层(111)配置于两端的方式交替层叠而成的。前述硬质框构件(12A)的杨氏模量高于前述软质框构件(11X)的表观杨氏模量。前述硬质框构件(12A)的杨氏模量为25GPa以上。
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公开(公告)号：CN112088334B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN201980017088.9
申请日：2019-03-01
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供抑制了从粘接层产生释气的防护膜组件。防护膜组件(100)具有：防护膜(101)；支撑上述防护膜的支撑框(103)；设置于上述支撑框的突起部(105)；设置于上述突起部的第1粘接层(107)；以及无机物层，上述无机物层与上述第1粘接层相比设置在上述防护膜所处的一侧。上述无机物层可以包含第1无机物层(109)，上述第1无机物层(109)设置于上述第1粘接层中作为与上述防护膜交叉的方向的侧面的、上述防护膜所处一侧的第1侧面(121)。
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公开(公告)号：CN111919171B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN201980022551.9
申请日：2019-03-15
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供一种支撑框，其能够设置能够装卸地设置了过滤器的通气孔，粘贴极端紫外光光刻用的防护膜。本发明的一实施方式的支撑框是用于配置防护膜的支撑框，具备：贯通孔，其具有在与上述防护膜的面方向大致平行的第一方向上延伸的孔以及在与上述第一方向相交的第二方向上延伸的孔；以及过滤器，其设于上述贯通孔的内部或上述贯通孔的端部，并且从上述防护膜离开地配置。
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公开(公告)号：CN117270313A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311217869.7
申请日：2021-04-02
Applicant: 三井化学株式会社 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: G03F1/62 , C01B32/168 , C01B32/17 , B82Y40/00 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供曝光用防护膜、防护膜组件、曝光原版、曝光装置及曝光用防护膜的制造方法。一种曝光用防护膜，其包含碳纳米管膜，碳纳米管膜含有碳纳米管，碳纳米管膜在波长13.5nm时的EUV光的透射率为80％以上，碳纳米管膜的厚度为1nm以上50nm以下，将碳纳米管膜配置于硅基板上，对于配置后的碳纳米管膜，使用反射分光膜厚度计，以下述条件测定反射率时，反射率的3σ为15％以下。＜条件＞测定点的直径：20μm，基准测定波长：波长285nm，测定点数：121点，相邻的测定点的中心点间距离：40μm。
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公开(公告)号：CN109416503B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201780038819.9
申请日：2017-07-03
Applicant: 三井化学株式会社 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: G03F1/62 , C01B32/162
Abstract: 本发明提供EUV透射性进一步高的防护膜、防护膜组件框体、防护膜组件。此外，提供能够以此进行高精度的EUV光刻的、曝光原版、半导体装置的制造方法。一种曝光用防护膜，是铺设在支撑框的开口部的曝光用防护膜，上述防护膜的厚度为200nm以下，上述防护膜包含碳纳米管片，上述碳纳米管片具备由多个碳纳米管形成的捆，上述捆的直径为100nm以下，上述捆在上述碳纳米管片中进行面内取向。
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公开(公告)号：CN110325908A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201880012953.6
申请日：2018-02-09
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供EUV透射性高、释气少、污染少的EUV用防护膜组件及其制造方法。防护膜组件(100)的特征在于，具有防护膜(101)、支撑框(103)以及第1粘接层(109)，所述第1粘接层(109)设置于支撑框的与吊挂有防护膜的端部相反一侧的端部，在第1粘接层的沿与防护膜面交叉的方向且处于吊挂防护膜一侧的侧面具有无机物层(111)，上述无机物层的质量吸收系数(μm)为5×103cm2/g～2×105cm2/g的范围。
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公开(公告)号：CN105143309A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480022616.7
申请日：2014-05-09
Applicant: 三井化学株式会社
CPC classification number: C08G69/26 , C08G69/48 , C08G73/1042 , C08G73/1053 , C08G73/1064 , C08G73/1082 , C08J5/18 , C08J2377/06 , C08J2379/08 , C08K3/013 , C08L77/06 , C09D177/06 , C09D179/08 , C08K3/0033 , C08L79/08
Abstract: 本发明的目的在于提供一种耐热性和无色透明性优异，柔软性和紫外线透过性也优异的聚酰亚胺。制作的聚酰亚胺包含R为特定的芳香族基团的下述式(1a)所表示的结构单元和下述式(1b)所表示的结构单元。
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