公开(公告)号：CN102300720A

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN201080005807.4

申请日：2010-01-29

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 高冈启吾 ,  吉川一男 ,  古保里隆

IPC: B41N1/24 ,  H05K3/12

CPC classification number: B41N1/247

Abstract: 本发明提供一种能够消除由于容易卡住刮浆板而成为难以均匀地涂抹糊剂的原因的刮浆板接触面上的凹凸部，具有作为网状部件所需的均匀的强度，且具有高精细印刷所需的网眼数的网板印刷用网状部件。本发明的网板印刷用网状部件中，通过在轧制金属箔上开设多个孔而制作多个开口部及线部，且构成所述线部的至少单方的面平坦，厚度为5μm以上且25μm以下，并且进行拉伸试验时的断裂载荷(N)换算成拉伸试验片的单位宽度1cm后的拉伸强度为20N/cm以上，网眼数为250(个/英寸)以上。

公开(公告)号：CN101376962B

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN200810145432.6

申请日：2008-08-05

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 高木胜寿 ,  森元荣一 ,  松崎均 ,  田内裕基

IPC: C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  B22F3/02

CPC classification number: C23C14/3414 ,  B22F3/15 ,  C22C5/06 ,  G11B7/259

Abstract: 本发明提供一种能够在膜面方向(膜面内)稳定地形成成分均匀性优异的薄膜的Ag-Ta-Cu合金溅射靶。该溅射靶由Ta含量为0.6～10.5原子％、Cu含量为2～13原子％的Ag基合金构成，对溅射靶的溅射面进行图像分析时，(1)相对于Ta粒子的整个面积，当量圆直径为10～50μm的Ta粒子的合计面积为60面积％以上，且，Ta粒子的平均重心间距离为10～50μm；(2)相对于Cu粒子的整个面积，当量圆直径为10μm～50μm的Cu粒子的合计面积为70面积％以上，且，Cu粒子的平均重心间距离为60μm～120μm。

公开(公告)号：CN101691657A

公开(公告)日：2010-04-07

申请号：CN200910132939.2

申请日：2009-03-31

Applicant: 株式会社钢臂功科研 ,  株式会社神户制钢所

Inventor： 高木胜寿 ,  岩崎祐纪 ,  得平雅也 ,  后藤裕史 ,  三木绫 ,  奥野博行 ,  越智元隆 ,  岸智弥

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C22C21/00 ,  C22C21/12 ,  C22C1/02 ,  C22F1/04 ,  C22F1/057

CPC classification number: C23C14/3414 ,  C22C21/00 ,  C22F1/04

Abstract: 本发明提供一种能减少溅射靶在使用初始阶段产生的飞溅，由此防止配线膜等中产生的缺陷，提高FPD的成品率和动作性能的Al-(Ni，Co)-(Cu，Ge)-(La，Gd，Nd)系合金溅射靶及其制造方法。本发明涉及构成分别含有选自A组(Ni，Co)中的至少一种、选自B组(Cu，Ge)中的至少一种和选自C组(La，Gd，Nd)中的至少一种的Al-(Ni，Co)-(Cu，Ge)-(La，Gd，Nd)系合金溅射靶，并且其维氏硬度(HV)为35以上的Al-基合金溅射靶。

公开(公告)号：CN100575542C

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200710192798.4

申请日：2007-11-20

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 得平雅也 ,  高木胜寿 ,  钉宫敏洋 ,  米田阳一郎 ,  后藤裕史

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C22C21/00 ,  C22C1/02 ,  B22D17/00 ,  C22F1/04

CPC classification number: C23C14/3414 ,  B22F3/115 ,  B22F3/15 ,  B22F3/17 ,  B22F3/18 ,  B22F9/082 ,  B22F2998/10 ,  C22C21/00 ,  C23C4/08 ,  C23C4/123 ,  H01J37/3426 ,  H01J37/3429

Abstract: 本发明涉及一种含有Ni和La的Al-Ni-La体系Al-基合金溅射靶，其中，当通过扫描电子显微镜在2000倍的放大倍数观察垂直于溅射靶平面的横截面中从(1/4)t至(3/4)t(t：厚度)的截面时，(1)按面积分数计，平均粒径为0.3μm至3μm的Al-Ni体系金属间化合物的总面积相对于全部Al-Ni体系金属间化合物的总面积为70%以上，所述Al-Ni体系金属间化合物主要由Al和Ni组成；和(2)按面积分数计，平均粒径为0.2μm至2μm的Al-La体系金属间化合物的总面积相对于全部Al-La体系金属间化合物的总面积为70%以上，所述Al-La体系金属间化合物主要由Al和La组成。

公开(公告)号：CN1768157A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：CN200480009107.7

申请日：2004-03-22

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 松村仁实 ,  米田阳一郎

IPC: C23C14/34 ,  B23K20/12

CPC classification number: B23K20/22 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/3414

Abstract: 一种由相同材料制成的金属薄片的对接制成的溅射靶被提供，其中连接部分中的金属互化物具有的平均颗粒直径是非连接部分中的金属互化物平均颗粒直径的60％至130％。在溅射靶中，连接部分中的金属互化物的平均颗粒直径与非连接部分中的近似相同。

公开(公告)号：CN1550573A

公开(公告)日：2004-12-01

申请号：CN200410044707.9

申请日：2004-05-17

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 高木胜寿 ,  中井淳一 ,  田内裕基 ,  佐藤俊树 ,  松崎均 ,  藤井秀夫

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C22C5/06 ,  C22C12/00

CPC classification number: C22C5/06 ,  C23C14/3414

Abstract: 一种Ag－Bi基合金溅射靶以及该溅射靶的制备方法，其特征在于，溅射靶的析出Bi强度为0.01原子％－1或以下，其是根据下式，基于X－射线衍射的分析结果计算出来的。析出Bi强度＝[IBi(102)/(IAg(111)+IAg(200)+IAg(220)+IAg(311))]/[Bi]该溅射靶的Bi固溶于Ag中。根据本发明，在使用该溅射靶形成薄膜时，可以抑制其薄膜之中Bi含量相对于溅射靶Bi含量的显著降低。

公开(公告)号：CN111465713B

公开(公告)日：2022-05-03

申请号：CN201980006346.3

申请日：2019-02-12

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  畠英雄

IPC: C23C14/34 ,  C01G25/00 ,  C04B35/457 ,  G11B7/2578 ,  G11B7/26

Abstract: 本发明提供一种溅镀靶材和溅镀靶。溅镀靶材包含锌(Zn)的氧化物、锡(Sn)的氧化物及锆(Zr)的氧化物，其中相对于氧(O)以外的所有元素，锌的含量AZn为超过0at％且50at％以下，锡的含量ASn为20at％以上且80at％以下，及锆的含量AZr为超过0at％且40at％以下，而且Zn的含量AZn满足下述式(1)；经测定的多个比电阻值中最大值相对于最小值的比为3以下，及所述比电阻值为5×10‑1[Ω·cm]以下；而且所述溅镀靶材不含有铟(In)。AZn/(AZn+ASn)≦0.6·····(1)。

公开(公告)号：CN107636194A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680031260.2

申请日：2016-05-02

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 高木胜寿 ,  金丸守贺 ,  广瀬研太 ,  岩崎祐纪

IPC: C23C14/34 ,  H01L21/203

CPC classification number: C23C14/34 ,  H01L21/203

Abstract: 本发明为一种溅射靶材组装体，其含有多个载置部，所述多个载置部是配置于底板上，且彼此空开间隔而配置，在各载置部上经由接合材料而配置有一个以上的溅射靶材构件，并且在相邻的所述载置部之间的间隙部中具有Ni基材料的涂层。

公开(公告)号：CN104260215B

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201410436912.3

申请日：2011-02-23

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 吉川一男 ,  浦塚昭典 ,  家口浩 ,  古保里隆 ,  松岛义武

IPC: B28D5/04

CPC classification number: B23D61/185 ,  B23D65/00

Abstract: 本发明提供一种在钢丝的表面被覆有树脂的树脂被覆锯丝切断工件时，加工变质层深度浅，能够得到平滑的表面的切断体的树脂被覆锯丝的设计方法。(1)以规定的硬度的树脂被覆钢丝，(2)以所得到的树脂被覆锯丝切断工件，(3)调查工件的切断面的加工变质层深度，(4)确认加工变质层深度的合格与否，(5)不合格时，以更硬的树脂被覆钢丝，通过反复进行上述(2)～(4)，以使工件的切断面的加工变质层深度达到合格的方式调节树脂的硬度。

公开(公告)号：CN104619674B

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201380047358.3

申请日：2013-09-10

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  畠英雄 ,  南部旭 ,  金丸守贺

IPC: C04B35/453 ,  C04B35/00 ,  C23C14/34 ,  H01L21/363

CPC classification number: H01J37/3429 ,  C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B35/457 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/66 ,  C04B2235/763 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  C23C14/08 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/3491 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02631

Abstract: 一种将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体。所述氧化物烧结体的相对密度为85％以上，在所述氧化物烧结体的表面观察到的晶粒的平均晶粒直径小于10μm。对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时，Zn2SnO4相和InGaZnO4相为主相，InGaZn2O5相为3体积％以下。