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公开(公告)号：CN108680246B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201810456008.7
申请日：2018-05-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于阈值驱动能量采集器的振动模式识别装置及识别方法，所述振动模式识别装置包括：固定架，以及固定于所述固定架内的至少两个阈值驱动能量采集器；其中，各所述阈值驱动能量采集器通过设置不同的谐振频率和对外界振动幅度的感应阈值来识别待测环境中不同的振动模式。通过本发明提供的基于阈值驱动能量采集器的振动模式识别装置及识别方法，解决了现有技术中无线传感节点供电不便的问题。
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公开(公告)号：CN111722707A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010337982.9
申请日：2020-04-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G06F3/01
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种背接触触觉传感器的制作方法及背接触触觉传感器，该传感器的制作方法包括以下步骤：通过将圆片级未释放传感芯片正面的第一导电件和圆片级待键合封装基板正面的第二导电件键合；利用封装基板的力学支撑作用，对上述封装后待释放触觉传感器进行释放，能够实现超薄传感芯片的转移，在上述释放过程后，超薄传感芯片背面能够自发形成连续的硅膜结构，再将上述触觉传感器经过临时键合工艺、基板背面减薄工艺和划片工艺，得到分立的封装后背接触式触觉传感器，从而使得到的传感器能够通过组装工艺设于柔性基板上。本发明提供的触觉传感器具有尺寸小、封装成本低和大面积可扩展的特点。
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公开(公告)号：CN111351733A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN202010171514.9
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/04
Abstract: 本发明涉及测量仪器领域，本发明公开了一种高精度热重分析仪，其包括集成式谐振悬臂梁、样品测试腔、气体仓和数据采集系统；该集成式谐振悬臂梁设于该样品测试腔内，该集成式谐振悬臂梁与该样品测试腔的内壁、该数据采集系统连接，该集成式谐振悬臂梁用于对待测样品称重和加热；该集成式谐振悬臂梁包括谐振悬臂梁和加热元件；该谐振悬臂梁包括第一端；该第一端设有该加热元件，该加热元件用于加热该待测样品；该气体仓位于该样品测试腔的外部，该气体仓用于给该样品测试腔提供气体氛围。本发明提供的高精度热重分析仪具有结构简单和测量精度高的特点。
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公开(公告)号：CN111039251A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201811197406.8
申请日：2018-10-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种压电微型超声换能器及其制备方法，所述超声换能器包括单晶硅片和阵列排列在所述单晶硅片单面的多个超声换能器单元，所述超声换能器单元至少包括腔体结构以及悬空支撑在所述腔体结构上方的多层复合膜结构，各个超声换能器单元的腔体结构之间通过至少一条腐蚀通道连通，所述多层复合膜结构自下而上依次包括弹性层、绝缘层以及压电敏感层，所述腐蚀通道可以加快芯片的结构释放速率，提高器件敏感结构的占空比。本发明的超声换能器是通过在一块单晶硅片的同一面进行表面硅微机械工艺制作而成，另一面并不参与工艺制作，避免了传统双面对准/曝光和键合工艺，大大降低芯片尺寸，减少制作成本，且与IC工艺兼容，可实现大批量制作。
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公开(公告)号：CN106895777B
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201510954769.1
申请日：2015-12-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01B7/16
Abstract: 本发明提供一种基于量程拓展的谐振式应变结构、应变传感器及制备方法，所述基于量程拓展的谐振式应变结构包括：双端固支音叉及量程拓展梁；所述量程拓展梁位于所述双端固支音叉的两端，且与所述双端固支音叉的两端相连接。本发明中，量程拓展梁可以降低双端固支音叉的应变量，从而实现谐振式应变传感器量程的拓展；通过设计量程拓展梁与双端固支音叉的尺寸，可以设定双端固支音叉上的应变与实际应变的比例；整个结构为一体化结构，制作工艺简单，便于实现工业化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110568222A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910761795.0
申请日：2019-08-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种冲击型加速度计灵敏度的测试装置，包括：一金属框架，其顶端设有一固定滑环，一细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的顶端加工有第一凹口，第一凹口上安装有一待测加速度计，所述金属杆上还设有与该第一凹口间隔开的第二凹口，该第二凹口上安装有一应变计，所述待测加速度计和应变计与一放大器相连，该放大器通过信号线与一计算机相连。本发明还提供一种测试方法。本发明的冲击型加速度计灵敏度的测试装置结合应变计提取金属杆中的应变及该位置处质点的粒子速度或加速度，并以该粒子速度作为依据用以计算待测试加速度计的灵敏度，简洁、高效并具有较高的准确性。
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公开(公告)号：CN110208345A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910511358.3
申请日：2019-06-13
Applicant: 上海理工大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明属于半导体传感技术领域，具体涉及到一种针对苯系物气体检测的敏感材料、敏感元件及其制备方法。所述敏感元件为双层结构，其包括位于上层的敏感材料层和位于下层的催化材料层。该制备方法包括：通过水热法获得ZnO纳米片后进一步通过丝网印刷或者旋涂工艺涂覆到印刷有加热电极和叉指电极的平板式陶瓷基片上获得底层气敏材料；进一步通过水热法在其表面均匀生长CeO2纳米片薄膜即得到敏感元件，对其进行焊接、老化、封装后制得苯系物检测气敏元件。本发明所制得的气敏元件具有对苯系物如甲苯，二甲苯等污染气体灵敏度较高、检测下限低、选择性好、工作温度低、具有长期稳定性等优点，可用于室内苯系物污染气体的检测，对于人类身体健康的保护及室内污染物监控等方面具有重要意义。
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公开(公告)号：CN110182753A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201910317690.6
申请日：2019-04-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种高灵敏度加速度传感器结构的制作方法,包括：提供衬底；于衬底的正面及背面形成钝化层；于衬底的正面形成释放窗口；形成深槽；形成内部刻蚀缓冲腔体；去除钝化层；于释放窗口的侧壁、内部刻蚀缓冲腔体的侧壁及内部刻蚀缓冲腔体的上下表面形成低应力多晶硅层；于低应力多晶硅层表面形成氧化硅钝化层；于衬底正面进行硼离子注入；于衬底的背面形成沟槽；去除位于内部刻蚀缓冲腔体底部的氧化硅钝化层，并将进行高温退火形成压敏电阻；于衬底的正面制作引线孔、金属引线及焊盘；提供键合衬底，将键合衬底键合于所述衬底的背面；释放悬臂梁及质量块。本发明可以避免对悬臂梁过刻蚀，从而可以确保任意尺寸悬臂梁的厚度的可控性及均匀性。
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公开(公告)号：CN106841396B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201510881188.X
申请日：2015-12-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N29/14
Abstract: 本发明提供一种硅基电容式声发射传感器及其制备方法，包括：声发射敏感膜；停靠环，位于声发射敏感膜的下表面；边框，位于声发射敏感膜外围，且与声发射敏感膜相隔一定的间距；边框的上表面设有上电极，下表面设有第一绝缘层；支撑膜，位于声发射敏感膜与边框之间；下电极硅片，下表面设有下电极，上表面设有第二绝缘层；第二绝缘层与第一绝缘层上下对应，且通过焊料层焊接在一起。支撑膜在大气压作用下变形，使得停靠环贴置于下电极硅片的上表面，声发射信号可以较好地耦合到声发射敏感膜上；在大气压作用下停靠环贴置于下电极硅片的上表面之后，声发射敏感膜与下电极硅片之间形成亚微米/纳米间隙，可极大地提高传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN106298639B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201510323889.1
申请日：2015-06-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 湖州中微科技有限公司
IPC: H01L21/768
Abstract: 本发明提供一种微孔金属填充结构及填充方法，所述方法包括：提供一液态金属槽并在其上水平放置由喷嘴片、填充片及盖片叠加而成的三明治结构；其中，喷嘴片下表面紧贴液态金属的上表面，喷嘴片与填充片之间设有第一间隙，填充片与盖片之间设有第二间隙；所述填充片中具有填充微孔，所述喷嘴片中设有与所述填充微孔垂直对应的喷嘴孔结构；通过调整所述三明治结构的内部气压P1及所述液态金属的表面气压P2，实现所述填充微孔的金属填充及切割。本发明填充速度极快，准确度高、切割效果好，并可同时实现不同孔径微孔的填充。本发明不仅可以实现通孔的填充，还可以实现盲孔的填充；同时，填充微孔与待填充的液态金属可以浸润，也可以不浸润。
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