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公开(公告)号：CN104003350A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410205595.4
申请日：2014-05-15
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于体硅谐振式压力传感器的圆片级封装方法，其步骤包括：1)根据谐振式压力传感器的结构选取合适的SOI硅片和进行阳极键合的玻璃片；2)对SOI硅片的器件层进行台阶刻蚀，形成器件结构；3)去除部分埋氧层，释放器件结构；4)将SOI片和玻璃片进行真空阳极键合；5)对硅片进行减薄；6)通过光刻定义引线窗口，然后刻蚀硅，露出埋氧层；7)去除引线窗口内的埋氧层；8)在硅片表面淀积二氧化硅，形成电学隔离；9)对淀积的二氧化硅进行刻蚀，形成pad孔；10)淀积金属pad。本发明采用圆片级封装，工艺流程简单，能够大大降低体硅谐振式压力传感器的真空封装成本。
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公开(公告)号：CN102289148B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201110247840.4
申请日：2011-08-24
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种植入式微针尖电极及其制作方法，涉及微电子机械系统和植入式微电极技术领域，所述方法包括以下步骤：A：在镀有铝膜(1)的硅片(2)上制作聚对二甲苯-金属合金-聚对二甲苯结构的金属电极层，包括：刺激点(3)、互连线(4)和引线接点(5)；B：通过光刻、电镀制作金属镍或镍合金机械支撑层，包括金属镍或镍合金微针尖(6)和引线接点底座支撑体(7)；C：湿法腐蚀铝膜牺牲层，正面键合干膜(8)，背面氧等离子体刻蚀，直至暴露出刺激点和引线接点；D：湿法腐蚀所述干膜，并用去离子水清洗，得到微针尖电极。本发明具有机械性能高、生物兼容性好、植入方便、对组织损伤轻微、尺寸精确可控、灵敏度高、可靠性高的特点。
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公开(公告)号：CN103207545A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201310097604.8
申请日：2013-03-25
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种采用紫外线固胶的电子束曝光方法，其步骤包括：1）清洗基片，并在基片上涂敷黏附层；2）在黏附层上旋涂剥离层光刻胶；3）对基片进行烘烤；4）在剥离层光刻胶上旋涂具有紫外敏感特性的电子束光刻胶；5）对基片进行烘烤；6）对电子束光刻胶进行电子束曝光；7）显影电子束光刻胶；8）采用紫外线照射显影后的电子束光刻胶图形，使其交联固化；9）显影剥离层光刻胶。本发明利用电子束光刻胶本身的紫外敏感特性，通过紫外线固胶的方式提高LOL剥离层和电子束光刻胶显影速度之比，解决双层胶的工艺兼容性问题，得到陡直的光刻胶侧壁。
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公开(公告)号：CN103058123A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201310012806.8
申请日：2013-01-14
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开一种基于表面牺牲层工艺制作的自封装的MEMS器件以及及采用该器件结构的红外传感器。该MEMS器件包括基片、衬底保护层、下电极、下电极保护层、结构层、金属层以及封装层，所述结构层和所述金属层位于由所述封装层形成的封装腔室内，所述封装腔室通过在释放MEMS器件结构时利用粘附效应将封装层粘附在下电极保护层上而形成。本发明适用于红外传感器等具有可动结构的MEMS器件，MEMS器件本身和封装一起完成，封装周期短，工艺质量和成品率高，适于批量大规模生产。
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公开(公告)号：CN103014168A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210591068.2
申请日：2012-12-28
Applicant: 北京大学
IPC: C12Q1/68
Abstract: 本发明提供了一种基于DNA hairpin和RCA的核酸检测方法。该检测方法通过将环部与目标DNA互补，茎部与环状DNA部分互补的DNA hairpin修饰到固体载体上；再加入环状DNA、酶、扩增原料等；当检测体系中加入目标核酸分子时，目标核酸分子与DNA hairpin的环部互补配对，茎-环结构打开，茎部的碱基与环状DNA杂交结合，RCA发生，目标核酸分子的量不同，打开的茎-环结构就不同，进而利用光学或电学的方法实现目标核酸分子定量。该方法以DNAhairpin作为RCA的检测探针，简化了用RCA检测分子的流程，降低了检测成本，同时保留了RCA用于核酸检测高灵敏度等优点，适于推广使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102944339A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201210404856.6
申请日：2012-10-22
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法，该MEMS压阻式压力传感器包括应变膜和压敏电阻，应变膜的正面边缘分布有岛结构，压敏电阻位于所述岛结构上。在制备时基片正面岛结构的制作在背腔各向异性腐蚀之前，避免正面制作岛结构时应变膜出现崩裂。本发明的压力传感器同时具有高灵敏度和高线性度，其制备方法与传统工艺兼容，成品率高。
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公开(公告)号：CN102716771A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210186933.5
申请日：2012-06-07
Applicant: 北京大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种实现高温高压的连续流动型微流控芯片及其制备方法。该微流控芯片包括入口、混合区、加热区、增压区和出口；混合区实现反应物的混合，加热区提供高温的反应环境，增压区为加热区提供高压环境；加热区和和增压区设有测温传感电阻。该方法首先通过光刻和DRIE定义微流体通道图形；然后通过硅-玻璃阳极键合制作微流体通道；再采用PECVD淀积SiO2并剥离制作传感电阻和加热电阻；最后通过光刻和DRIE制作入口和出口。本发明可高效、安全地实现各类需要在高温高压下进行的化学、生物反应。
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公开(公告)号：CN102162815B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201110002620.5
申请日：2011-01-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种血浆分离芯片，属于微机电系统领域。本发明芯片上设有一微型螺旋流体通道，该微流体通道绕行的中心处为进样口，在上述微流体通道的某一位置内侧连接另一同心的微型螺旋流体通道，在两个微型螺旋流体通道之间设有多个渐变通道，上述两个微型螺旋流体通道分别连接两个不同的出样口。用微型泵或注射泵将混有不同大小的细胞或微粒从本发明血浆分离芯片的进样口注入，利用流体的惯性特点和内外通道内压差将血液中的细胞与血浆分离到两个不同的流通通道。本发明结构紧凑，芯片的总面积减小，分离效率提高，且该芯片的分离过程耗时短。
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公开(公告)号：CN102162815A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110002620.5
申请日：2011-01-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种血浆分离芯片，属于微机电系统领域。本发明芯片上设有一微型螺旋流体通道，该微流体通道绕行的中心处为进样口，在上述微流体通道的某一位置内侧连接另一同心的微型螺旋流体通道，在两个微型螺旋流体通道之间设有多个渐变通道，上述两个微型螺旋流体通道分别连接两个不同的出样口。用微型泵或注射泵将混有不同大小的细胞或微粒从本发明血浆分离芯片的进样口注入，利用流体的惯性特点和内外通道内压差将血液中的细胞与血浆分离到两个不同的流通通道。本发明结构紧凑，芯片的总面积减小，分离效率提高，且该芯片的分离过程耗时短。
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公开(公告)号：CN101692152A
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：CN200910235550.0
申请日：2009-10-19
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于聚合物激光烧蚀的三维光刻方法，其包括如下步骤：S1，在三维结构的衬底上制备聚合物；S2，采用激光对所述聚合物进行烧蚀。本发明的技术方案实现了在复杂的三维结构的衬底上完成高性能的光刻，该工艺可以在不同的微加工工艺中应用，尤其适用于需要具有密度、高深宽比的复杂三维结构的人体功能修复器件的制备中应用。
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