-
公开(公告)号:CN101313247A
公开(公告)日:2008-11-26
申请号:CN200680043327.0
申请日:2006-11-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/2041 , G03F7/0397
Abstract: 本发明是提供感辐射线性树脂组合物,其能使液浸曝光方法所得的图案形状良好,且具有优良解像度及焦点深度充裕性,且对液浸曝光时所接触的折射率液体(浸渍液)的溶出物量较少,可形成在透镜及抗蚀膜之间介由波长193nm的折射率超过1.44但不足1.85的液浸曝光用液体照射辐射线的液浸曝光微影蚀刻法中所使用的抗蚀膜。该感辐射线性树脂组合物含有;含具有内酯结构的重复单元的碱不溶性或碱难溶性但在酸作用下可成为碱易溶性的树脂,及感辐射线性酸发生剂。
-
公开(公告)号:CN1965034A
公开(公告)日:2007-05-16
申请号:CN200580018977.5
申请日:2005-04-13
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: Y02E10/542
Abstract: 本发明提供新型的染料以及使用该染料的染料敏化太阳能电池,所述染料在用于染料敏化太阳能电池时,显示高转换效率、优异的耐候性、耐热性。该染料如下式(1)所示:ML1L2X1X2…(1),式(1)中,M为元素周期表长表上的8~10族元素,L1和L2分别为含有特定联吡啶的二齿配体,X1和X2为一价原子基团或单齿配体。
-
公开(公告)号:CN1916760A
公开(公告)日:2007-02-21
申请号:CN200610126701.5
申请日:2002-06-28
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , C07D207/40 , C07D209/70 , C07D211/88 , C07D221/14 , C07D491/18
CPC classification number: C07C309/23 , C07C309/17 , C07C309/19 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/86 , C07D333/46 , C07D333/78 , C07D335/02 , C07D347/00 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0757 , Y10S430/114 , Y10S430/115
Abstract: 提供了一种含有下式(2)、(2-A)或(2-B)的结构的新的光致酸发生剂,其中各基团如说明书所定义。当用于化学放大辐射敏感树脂组合物时,光致酸发生剂表现出高透明度、较高的可燃性,和没有生物累积,产生的酸表现出高酸性、高沸点、在树脂涂层中适度的扩散长度以及对掩模图形密度的低依赖性。
-
公开(公告)号:CN114007653A
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN202080022099.9
申请日:2020-04-27
Abstract: 本发明提供了一种药物递送载体,其包含穿膜肽修饰的脂质体和聚合物,其中所述聚合物是带正电的多聚氨基酸。通过使用所述药物递送载体制备了脂质体复合物形式的药物制剂,粒径介于50nm至300nm,其是将带正电的多聚氨基酸和一种或多种药物分子形成的物理复合物与表面修饰有穿膜肽的脂质体混合而制备的,所述药物制剂能够有效地转染细胞,尤其是促进药物经鼻腔吸收入脑,提高药物的疗效。
-
公开(公告)号:CN100457749C
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200480002268.3
申请日:2004-01-09
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07D333/46 , C07D333/78 , C08L33/06
Abstract: 提供一种在波长220nm以下的透明性优良,且作辐射敏感性酸产生剂时其感光度、分辨率、图案形状、LER、保存稳定性等性能优良的锍盐化合物以及以该化合物作为辐射敏感性酸产生剂的正型辐射敏感性树脂组合物。锍盐化合物用通式(1)表示。[R1表示卤素原子、烷基、1价的脂环烃基、烷氧基、-OR3基(R3为1价的脂环烃基。)等,R2表示(取代)烷基,或者2个以上的R2相互结合形成环状结构,p为0~7,q为0~6,n为0~3,X-表示磺酸阴离子。]正型辐射敏感性树脂组合物含有(A)由该锍盐化合物构成的辐射敏感性酸产生剂和(B)含有酸解离性基的树脂。
-
公开(公告)号:CN1943013A
公开(公告)日:2007-04-04
申请号:CN200580005118.2
申请日:2005-05-19
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/38
Abstract: 本发明的目的在于提供一种在浸液曝光方法中,折射率大于纯水,防止光致抗蚀膜或其上层膜成分的洗脱或溶解,能够抑制抗蚀图案生成时的缺陷的浸液曝光用液体、以及利用该液体的浸液曝光方法。一种浸液用曝光液体,其在通过投影光学系统的透镜和基板之间充满的液体进行曝光的浸液曝光装置或浸液曝光方法中使用,在浸液曝光装置工作的温度区域内是液体,是包含脂环烃化合物或在环结构中含有硅原子的环烃化合物。
-
公开(公告)号:CN1276303C
公开(公告)日:2006-09-20
申请号:CN02160643.9
申请日:2002-06-28
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004
CPC classification number: C07C309/23 , C07C309/17 , C07C309/19 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/86 , C07D333/46 , C07D333/78 , C07D335/02 , C07D347/00 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0757 , Y10S430/114 , Y10S430/115
Abstract: 提供了一种含有下式(I)的结构的新的光致酸发生剂,其中R表示具有小于或等于50%的氟含量的一价有机基团、硝基、氰基或氢原子,Z1和Z2各自是氟原子或直链或支链有1-10个碳原子的全氟烷基。当用于化学放大辐射敏感树脂组合物时,光致酸发生剂表现出高透明度、较高的可燃性,和没有生物累积,产生的酸表现出高酸性、高沸点、在树脂涂层中适度的扩散长度以及对掩模图形密度的低依赖性。
-
公开(公告)号:CN1738813A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN200480002268.3
申请日:2004-01-09
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07D333/46 , C07D333/78 , C08L33/06
Abstract: 提供一种在波长220nm以下的透明性优良,且作辐射敏感性酸产生剂时其感光度、分辨率、图案形状、LER、保存稳定性等性能优良的锍盐化合物以及以该化合物作为辐射敏感性酸产生剂的正型辐射敏感性树脂组合物。锍盐化合物用通式(1)表示。[R1表示卤素原子、烷基、1价的脂环烃基、烷氧基、-OR3基(R3为1价的脂环烃基。)等,R2表示(取代)烷基,或者2个以上的R2相互结合形成环状结构,p为0~7,q为0~6,n为0~3,X-表示磺酸阴离子。]正型辐射敏感性树脂组合物含有(A)由该锍盐化合物构成的辐射敏感性酸产生剂和(B)含有酸解离性基的树脂。
-
公开(公告)号:CN102165312B
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN200980137428.8
申请日:2009-09-24
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07K1/22 , B01D15/08 , B01J20/281 , C07K14/31
CPC classification number: C07K1/22 , B01J20/286 , B01J20/321 , B01J20/3219 , B01J20/3274 , Y10T428/29
Abstract: 亲合层析用填充剂是含有包含交联性乙烯基单体和含环氧基的乙烯基单体的单体混合物的共聚物的多孔性母粒子,配体结合在所述多孔性母粒子上,所述多孔性母粒子具有使该多孔性母粒子所含的环氧基开环而得到的开环环氧基。
-
公开(公告)号:CN102834415A
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201180014566.4
申请日:2011-03-23
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C07K1/22 , B01D15/3804 , B01J20/286 , B01J20/288 , B01J20/3219 , B01J20/3274 , C07K2317/10
Abstract: 本发明提供耐碱性优异的亲和色谱用填充剂以及离析免疫球蛋白的方法。本发明的亲和色谱用填充剂是由下述通式(1)表示的蛋白质固定于载体的填充剂。R-R2·····(1)(式中,R表示由含有4~20个组氨酸连续的部位的4~300个氨基酸残基构成的氨基酸序列,R2表示由含有蛋白A的Z区域或其片段或者它们的变异体的50~500个氨基酸残基构成的、可与免疫球蛋白结合的氨基酸序列。这里,R与R2的C末端或N末端结合)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-