公开(公告)号：CN100457749C

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200480002268.3

申请日：2004-01-09

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 宫松隆 ,  庭田弘一 ,  江幡敏 ,  王勇

IPC: C07D333/46 ,  C07D333/78 ,  C08L33/06

Abstract: 提供一种在波长220nm以下的透明性优良，且作辐射敏感性酸产生剂时其感光度、分辨率、图案形状、LER、保存稳定性等性能优良的锍盐化合物以及以该化合物作为辐射敏感性酸产生剂的正型辐射敏感性树脂组合物。锍盐化合物用通式(1)表示。[R1表示卤素原子、烷基、1价的脂环烃基、烷氧基、-OR3基(R3为1价的脂环烃基。)等，R2表示(取代)烷基，或者2个以上的R2相互结合形成环状结构，p为0～7，q为0～6，n为0～3，X-表示磺酸阴离子。]正型辐射敏感性树脂组合物含有(A)由该锍盐化合物构成的辐射敏感性酸产生剂和(B)含有酸解离性基的树脂。

公开(公告)号：CN1738813A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200480002268.3

申请日：2004-01-09

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 宫松隆 ,  庭田弘一 ,  江幡敏 ,  王勇

IPC: C07D333/46 ,  C07D333/78 ,  C08L33/06

Abstract: 提供一种在波长220nm以下的透明性优良，且作辐射敏感性酸产生剂时其感光度、分辨率、图案形状、LER、保存稳定性等性能优良的锍盐化合物以及以该化合物作为辐射敏感性酸产生剂的正型辐射敏感性树脂组合物。锍盐化合物用通式(1)表示。[R1表示卤素原子、烷基、1价的脂环烃基、烷氧基、－OR3基(R3为1价的脂环烃基。)等，R2表示(取代)烷基，或者2个以上的R2相互结合形成环状结构，p为0～7，q为0～6，n为0～3，X－表示磺酸阴离子。]正型辐射敏感性树脂组合物含有(A)由该锍盐化合物构成的辐射敏感性酸产生剂和(B)含有酸解离性基的树脂。