公开(公告)号：CN103094031B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201210438995.0

申请日：2012-11-06

Applicant: FEI 公司

Inventor： N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特 ,  D.塔格尔 ,  J.格雷厄姆

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J9/00

CPC classification number: G21K1/00 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/0453

Abstract: 实现一种改进的限束孔阑结构及制作的方法。在位于支撑衬底中的空腔上方的薄的导电膜中制作孔阑开口，其中孔阑的尺寸和形状由导电膜中的开口确定，而不是由衬底确定。

公开(公告)号：CN102881546B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201210240654.2

申请日：2012-07-12

Applicant: FEI公司

Inventor： A.格劳佩拉 ,  S.克罗格 ,  M.W.乌特劳特 ,  N.W.帕克

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/3002 ,  H01J37/08 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/0827

Abstract: 本发明涉及电感耦合等离子体（ICP）离子源中不同处理气体之间快速切换的方法和结构。可打开的气体通道实现在带电粒子束系统中的电感耦合等离子体源中的处理气体或热烘气体的快速泵出。阀，通常定位在源电极中或形成为气体入口的一部分，在打开以泵空等离子体腔时增加气体流导并且在操作等离子体源期间关闭。

公开(公告)号：CN103621187B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201280030726.9

申请日：2012-06-21

Applicant: FEI公司

Inventor： S.克罗格 ,  A.格劳佩拉 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特 ,  A.B.威尔斯 ,  J.B.麦金

IPC: H05H1/00

CPC classification number: H01J27/16 ,  H01J37/08 ,  H01J37/321 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/31749 ,  H05H1/28 ,  H05H1/30 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4652 ,  H05H2001/4682

Abstract: 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括提供改进的电隔离与减少后的电容RF耦合的导电屏蔽以及使等离子体绝缘并且对其进行冷却的介电流体。可以将导电屏蔽封闭在固体介电介质内。可以通过泵使介电流体循环或不可以通过泵使其循环。热管可以用于对介电流体进行冷却。

公开(公告)号：CN102737932B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201210107940.1

申请日：2012-04-13

Applicant: FEI公司

Inventor： D.塔格尔 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特

IPC: H01J37/10

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及从射束中去除了中性粒子的像差校正维恩ExB滤质器。一种用于离子束系统的滤质器包括至少两级并且降低色像差。一个实施例包括两个对称滤质器级，所述两个对称滤质器级的结合降低或者消除了色像差以及入口和出口边缘场误差。实施例也可以防止中性粒子抵达样本表面以及避免射束路径中的交叉。在一个实施例中，所述过滤器能够使来自生成多个种类的源的单一离子种类通过。在其他实施例中，所述过滤器能够使具有一定能量范围的单一离子种类通过并将所述多能量离子聚焦到衬底表面上的同一点。

公开(公告)号：CN102812533B

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201180016692.3

申请日：2011-04-07

Applicant: FEI公司

Inventor： M.斯特劳 ,  M.W.乌特劳特 ,  N.W.帕克

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/06 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2815 ,  H01J2237/2855 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。

公开(公告)号：CN103621187A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280030726.9

申请日：2012-06-21

Applicant: FEI公司

Inventor： S.克罗格 ,  A.格劳佩拉 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特 ,  A.B.威尔斯 ,  J.B.麦金

IPC: H05H1/00

CPC classification number: H01J27/16 ,  H01J37/08 ,  H01J37/321 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/31749 ,  H05H1/28 ,  H05H1/30 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4652 ,  H05H2001/4682

Abstract: 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括提供改进的电隔离与减少后的电容RF耦合的导电屏蔽以及使等离子体绝缘并且对其进行冷却的介电流体。可以将导电屏蔽封闭在固体介电介质内。可以通过泵使介电流体循环或不可以通过泵使其循环。热管可以用于对介电流体进行冷却。

公开(公告)号：CN102737932A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210107940.1

申请日：2012-04-13

Applicant: FEI公司

Inventor： D.塔格尔 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特

IPC: H01J37/10

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及从射束中去除了中性粒子的像差校正维恩ExB滤质器。一种用于离子束系统的滤质器包括至少两级并且降低色像差。一个实施例包括两个对称滤质器级，所述两个对称滤质器级的结合降低或者消除了色像差以及入口和出口边缘场误差。实施例也可以防止中性粒子抵达样本表面以及避免射束路径中的交叉。在一个实施例中，所述过滤器能够使来自生成多个种类的源的单一离子种类通过。在其他实施例中，所述过滤器能够使具有一定能量范围的单一离子种类通过并将所述多能量离子聚焦到衬底表面上的同一点。

公开(公告)号：CN103843107B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201280030689.1

申请日：2012-06-21

Applicant: FEI 公司

Inventor： S.克罗格 ,  A.B.威尔斯 ,  J.B.麦金 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/08 ,  H01J37/10

CPC classification number: H05H1/24 ,  H01J27/16 ,  H01J37/08 ,  H01J37/321 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/31749 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4652

Abstract: 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室和和流体，不主动地对该流体进行泵送，该流体包围等离子体室以便在等离子体室与在接地电势下的附近部件之间提供高压隔离，如导电屏蔽。一个或多个冷却装置通过使用蒸发冷却和热管将来自等离子体室的热量消散到周围环境中来对等离子体室进行冷却。

公开(公告)号：CN105321787A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510365464.7

申请日：2015-06-29

Applicant: FEI公司

Inventor： N.W.帕克 ,  M.斯特劳 ,  J.菲列维奇 ,  A.P.J.麦克洛波特曼 ,  M.W.乌特劳特 ,  S.兰多尔夫 ,  C.D.钱德勒

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/12 ,  H01J37/228 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31749

Abstract: 带电粒子透镜中的集成光学件和气体输送。一种用于将光或气体或两者指引到离带电粒子束柱的下端约2mm内安置的样品的方法和装置。该带电粒子束柱组件包括定义样品保持位置的平台，并且具有每个包括一组电极的一组静电透镜。该组件包括最后静电透镜，其包括最接近于样品保持位置的最后电极。此最后电极定义至少一个内部通路，其具有接近于且指向样品保持位置的终点。

公开(公告)号：CN103325650A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201310087623.2

申请日：2013-03-19

Applicant: FEI公司

Inventor： M.W.乌特劳特 ,  S.克罗格 ,  N.W.帕克 ,  A.格劳佩拉 ,  S.张 ,  P.布伦达奇 ,  D.基尼安

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/0225 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及用于主动地监测电感耦合等离子体离子源的方法和设备。一种用于主动地监测等离子体源的状况以实现源的调整和控制以及检测等离子体反应室中的不需要的污染物种类的存在的方法和设备。优选实施例包括用于量化等离子体的成分的光谱仪。提供系统控制器，系统控制器基于等离子体的光谱分析来使用反馈控制回路以调节等离子体源的离子组成。该系统还提供基于光谱分析的用于确定等离子体源的清洁何时完成的终点装置。