一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法

    公开(公告)号:CN104634760B

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201510078340.0

    申请日:2015-02-13

    Abstract: 本发明提出一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法,通过表面声波发生器在所制备的长条样品的正面和背面的特定位置产生频率相同的表面声波,表面声波对入射光而言相当于一个衍射光栅,当没有镀膜时,基底正背面表面声波波长相等形成对称的衍射光栅,衍射零级或±1级光强分布均匀,当镀膜后,应力使基底弯曲,由于两面声波速率变化导致正背面声波波长不同,衍射光栅不再对称,导致零级或±1级衍射光强分布不再均匀,产生光强周期性分布,根据周期的大小换算成基底的弯曲曲率,再根据Stoney公式计算出薄膜的应力。本发明结构简单、制作简便、灵敏度高,消除了传统基底弯曲法的系统误差,可应用于透明基底上制备的所有薄膜应力的检测。

    一种具有高效雷达波屏蔽功能的宽角度激光高强减反射膜的膜系结构

    公开(公告)号:CN109828324B

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201910037528.9

    申请日:2019-01-15

    Abstract: 本发明提出一种具有高效雷达波屏蔽功能的宽角度激光高强减反射膜的膜系结构,由透明基片和五种薄膜材料制备的十二层薄膜叠加构成;从透明基片开始,由内向外第1层为透明导电膜层;第2层为金属电极薄膜,镀制在透明导电膜层的边缘以及透明基底的侧面;第3层至第11层中的奇数层为三氧化二钛膜层、偶数层为二氧化硅膜层,第12层为氮氧化铝膜层。本发明具有对1064nm激光高透过、对频率为2GHz~18GHz的雷达波高效屏蔽功能,且具有很强的环境适应性,能够经受吹尘、淋雨、附着力、湿热、摩擦、盐雾等环境试验,可用于雷达隐身光电系统中的1064nm激光窗口,使具有雷达波高效屏蔽功能的激光窗口能够在0°~80°的宽角度范围内正常使用,在恶劣的环境中能够正常工作并保护系统内部器件。

    一种抗激光损伤的二色性介质立方分光棱镜

    公开(公告)号:CN110361799B

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN201910580498.6

    申请日:2019-06-28

    Abstract: 本发明提供了一种反射1064nm激光、透过700nm‑900nm电视的二色性介质立方分光棱镜,把在斜面上镀有规整膜层与非规整膜层相结合分光膜的直角棱镜与未镀膜的直角棱镜使用某耐高温环氧树脂胶合在一起,得到一种高反1064nm激光、高透过700nm‑900nm电视波段的且具有一定抗激光损伤的二色性介质分光棱镜,规整与非规整膜层相结合的这种膜系,大部分激光优先从M与SiO2的规整膜层反射,减小了整个分光膜系的吸收,其与耐高温的环氧树脂胶结合有利于提高立方分光棱镜的抗激光损伤阈值。它可应用于共光路光电系统中包含电视、激光双波段的探测,且其较高的抗激光损伤阈值有利于应用在激光压制光电设备中。

    一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构

    公开(公告)号:CN109696716B

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN201910037555.6

    申请日:2019-01-15

    Abstract: 本发明提出一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构,由硫化锌基片和减反射膜膜系组成;所述减反射膜膜系由四种薄膜材料制备的膜层叠加构成;膜层层数共计19层,从硫化锌基片开始,由内向外第1层为氧化铪,第2层到第18层中的奇数层为氟化镱膜层、偶数层为硫化锌膜层,第19层为氮化硅膜层;本发明可实现1.064μm激光和7.5μm~10.0μm长波红外在0°~76°超宽角度范围内的高透过,膜层牢固,同时具备高强度,能够通过国军标GJB 150—2009中的风洞、砂尘、淋雨、盐雾、湿热、温度冲击等严酷的环境试验,能够满足雷达隐身高速武器平台的多光谱硫化锌光学窗口的应用需求,能够应用于隐身机载、隐身舰载等高速武器平台多波段共光路光学系统的隐身光学窗口。

    一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法

    公开(公告)号:CN104634760A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201510078340.0

    申请日:2015-02-13

    Abstract: 本发明提出一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法,通过表面声波发生器在所制备的长条样品的正面和背面的特定位置产生频率相同的表面声波,表面声波对入射光而言相当于一个衍射光栅,当没有镀膜时,基底正背面表面声波波长相等形成对称的衍射光栅,衍射零级或±1级光强分布均匀,当镀膜后,应力使基底弯曲,由于两面声波速率变化导致正背面声波波长不同,衍射光栅不再对称,导致零级或±1级衍射光强分布不再均匀,产生光强周期性分布,根据周期的大小换算成基底的弯曲曲率,再根据Stoney公式计算出薄膜的应力。本发明结构简单、制作简便、灵敏度高,消除了传统基底弯曲法的系统误差,可应用于透明基底上制备的所有薄膜应力的检测。

    一种实现均匀加热除冰除霜的圆形光学窗口镀膜方法

    公开(公告)号:CN114635108B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202210231013.4

    申请日:2022-03-10

    Abstract: 本发明属于光学薄膜领域,具体涉及一种实现均匀加热除冰除霜的圆形光学窗口镀膜方法。所述方法通过对圆形光学窗口表面镀制的可加热薄膜厚度分布进行设计,并制作相应的薄膜厚度调控挡板来调控制备的导电加热薄膜厚度,以改善圆形光学窗口表面导电加热薄膜的导电分布均匀性,提高薄膜加热的均匀性和除冰除霜效率。本发明通过提高窗口表面各处产热功率均匀性,从而降低温度梯度,进而降低了热传导效应。因此,通过改善窗口表面的产热功率均匀性,从根本上改善窗口表面的加热温度均匀性。

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