自适应和上下文感知的微机电系统(MEMS)镜控制

    公开(公告)号:CN111198441B

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN201911086767.X

    申请日:2019-11-08

    Abstract: 本公开涉及自适应和上下文感知的微机电系统(MEMS)镜控制。一种系统可以包括微机电系统(MEMS)镜和MEMS驱动电路。MEMS驱动电路可以获取与MEMS镜相关联的多项监测信息。多项监测信息可以包括以下各项中的至少一项:从与MEMS镜相关联的一个或多个传感器接收的传感器信息,或者从与系统相关联的控制器接收的操作信息。MEMS驱动电路可以基于多项监测信息,确定MEMS镜的状态。MEMS驱动电路可以基于MEMS镜的状态,适配与控制MEMS镜相关联的镜控制参数。

    MEMS振荡结构不对称和周期性抖动的检测和补偿

    公开(公告)号:CN110687520A

    公开(公告)日:2020-01-14

    申请号:CN201910602313.7

    申请日:2019-07-05

    Abstract: 本公开涉及MEMS振荡结构不对称和周期性抖动的检测和补偿,提供了用于补偿误差的系统和方法。一种系统包括:微机电系统(MEMS)振荡结构,被配置为围绕旋转轴振荡;相位误差检测器,被配置为基于围绕旋转轴振荡的MEMS振荡结构的测量事件时间和期望事件时间来生成相位误差信号;以及补偿电路,被配置为接收相位误差信号,去除相位误差信号中的周期性抖动分量以生成补偿相位误差信号,并输出补偿相位误差信号。

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