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公开(公告)号:CN1826432B
公开(公告)日:2012-03-07
申请号:CN200480020892.6
申请日:2004-07-07
Applicant: 株式会社藤仓
IPC: C23C26/00
CPC classification number: C23C2/34 , C23C2/00 , H01L21/76898 , H05K3/4038 , H05K2203/0285 , H05K2203/128 , H05K2203/1527
Abstract: 一种金属填充方法,是通过将工件插入熔融金属中而将工件浸渍于熔融金属中,其后将工件从熔融金属中取出,从而在形成于工件上的微细孔中填充金属的金属填充方法,其特征是,在将工件插入熔融金属中时,使工件下面相对于熔融金属液面形成0.5°以上的倾斜地进行,在将工件从熔融金属中取出时,使工件上面相对于熔融金属液面形成0.5°以上而小于85°的倾斜地进行。可以防止在将工件插入熔融金属中时,或将工件从熔融金属中取出时,工件破裂的问题,另外,可以防止在将工件从熔融金属中取出后,金属残留于工件表面的问题。
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公开(公告)号:CN1671273B
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN200510055503.X
申请日:2005-03-14
Applicant: 株式会社藤仓
IPC: H01L21/768 , H01L27/146 , H05K3/40 , H05K1/11
CPC classification number: H01L21/76898 , H01L27/14634 , H01L27/14636 , H01L2224/02372 , H01L2224/05001 , H01L2224/05008 , H01L2224/05009 , H01L2224/05024 , H01L2224/05111 , H01L2224/05124 , H01L2224/05144 , H01L2224/05147 , H01L2224/05155 , H01L2224/05166 , H01L2224/05171 , H01L2224/05548 , H01L2224/05569 , H01L2224/11 , H01L2924/00014 , H05K1/0306 , H05K3/388 , H05K3/4038 , H05K2201/0394 , H05K2201/09572 , H01L2224/05599
Abstract: 一种具有改进的电连接的装置,包括导电的第一基板,其包括第一侧和第二侧;功能元件,其在所述第一基板的第一侧;被电连接到所述功能元件的垫;通孔互连,其被提供在从第一侧延伸通过所述第一基板到第二侧的孔中,所述通孔互连包括:第一导电材料,其被电连接到所述垫,以及导电区,其被沿着所述第一导电材料与所述第一基板之间的孔的内表面提供,包括不同于第一导电材料的第二导电材料;以及绝缘的第二基板,其被接合到所述第一基板的所述第一侧的一部分,其中,第一导电材料为金锡合金、锡铅合金、金属锡、金属铟、锡基焊料、铅基焊料、金基焊料、铟基焊料或铝基焊料,并且其中,导电区为溅射层、镀层或化学气相沉积层。
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公开(公告)号:CN1839473A
公开(公告)日:2006-09-27
申请号:CN200480024004.8
申请日:2004-08-25
IPC: H01L23/12
CPC classification number: H01L24/94 , H01L2924/01322 , H01L2924/14 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的半导体封装体具有:半导体元件,其在半导体基片的一个面设有电路元件;外部布线区,其设于上述半导体基片的另一个面;支撑基片,其配置于上述半导体基片的一个面;电极焊盘,其配置于上述半导体基片的一个面;以及贯通电极,其从上述电极焊盘到达上述半导体基片的另一个面。
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