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公开(公告)号：CN101806812A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010117435.6
申请日：2010-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 押尾政宏
IPC: G01P15/125 , G01P9/04
CPC classification number: G01P1/023 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81C1/00293 , G01C19/56 , G01P2015/0814
Abstract: 本发明提供一种能够发挥各传感器元件的特性且抑制长期的特性变动的小型的复合传感器及电子设备。所述复合传感器在封装件(30)形成有压力高的空间(90)与压力低的空间(80)，在压力高的空间(90)配置有加速度传感元件(40)，因此，获得低的Q值，在压力低的空间(80)配置有振动型角速度传感器元件(50)、(60)，因此，获得高的Q值，从而能够充分发挥加速度传感元件(40)及振动型角速度传感器元件(50)、(60)的特性。
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公开(公告)号：CN110323328A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910243170.5
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/113 , H01L41/04 , H01L41/253 , G01D21/02
Abstract: 本发明提供振动元件及其频率调整方法和制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备和移动体，该振动元件的频率调整方法的特征在于，该振动元件具有振动臂，该振动臂具有互相处于正反关系的第1主面和第2主面，该振动元件的频率调整方法具有如下的工序：通过对该振动元件照射能量线而将振动臂的所述第1主面侧的一部分去除，从而对所述振动元件的谐振频率进行调整，所述振动臂的所述第2主面侧被所述能量线激活的激活量比所述振动臂的所述第1主面侧被所述能量线激活的激活量小。
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公开(公告)号：CN104075737A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410116312.9
申请日：2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01D5/14
CPC classification number: G01P3/14 , G01C19/5776 , G01P15/08 , G01P15/097
Abstract: 本发明提供一种通过使传感器元件的过驱动能够实施从而可缩短老化试验的时间的物理量传感器、以及使用了该物理量传感器的电子设备及移动体。物理量传感器（1）包括：传感器元件（20），其对预定的物理量进行检测；驱动电路（111），其生成传感器元件（20）的驱动信号；AGC电路（112），其基于传感器元件（20）的输出信号，而将驱动信号控制为与基准电压相对应的恒定电平，该基准电压是可变的。
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公开(公告)号：CN100576729C
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200310121464.X
申请日：2003-12-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 押尾政宏
CPC classification number: H03H9/059 , H01L2224/14 , H01L2224/16225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2924/10158 , H03H3/10 , H03H9/02622 , H03H9/0547 , H03H9/0585 , H03H9/1071 , H03H9/25 , Y10T29/42 , H01L2924/00 , H01L2224/0401
Abstract: 本发明实现一种表面声波装置，能高精度调整频率而且使调整后的中心频率的随时间变化很小，并可以长期稳定动作。把形成于石英基板1上的IDT电极2的厚度h设定为只比目标厚度稍厚一些，使中心频率只比目标值稍低一些(S1)。其次，在IDT电极2上施加电压，开始中心频率的测定(S2)。此时，所测定的中心频率稍低于目标值。因此，一边确认测定频率，一边进行石英基板1的背面1b的蚀刻(S3)。于是，通过该蚀刻所测定的中心频率缓慢上升并接近目标值。进而，继续该蚀刻，直到中心频率变为目标值为止(S3、S4)，在其变为目标值时，停止蚀刻(S5)。
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公开(公告)号：CN100477516C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200410058248.X
申请日：2004-08-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 押尾政宏
CPC classification number: H03H9/02551 , H03H9/02834 , H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种可实现高频率化且能发挥优良温度特性的新型表面声波器件及其制造方法。该表面声波器件是利用高速SH型表面波的器件，其在欧拉角由(0°，θ(其中，θ为125°～142°)，90°)表示的石英基板上形成IDT电极时，调整该IDT电极的膜厚，使该石英基板在规定温度时的频率温度系数TCF为负数，之后，用在该规定温度时具有正的频率温度系数的薄膜覆盖在该IDT电极上。这样，由于可使器件整体的频率温度系数TCF为零，并且可改善二次温度系数β，因而可提供容易实现高频率化且具有优良温度特性的表面声波器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116707476A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310703026.1
申请日：2019-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02 , H03H9/13 , G01C19/5663 , G01C19/5628 , G01C19/5621 , G01C19/5656
Abstract: 提供振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置。该振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有臂部和施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，所述施重部具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述中心面靠所述第2主面侧的位置。
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公开(公告)号：CN116685190A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310878492.3
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件及其频率调整方法和制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备和移动体，该振动元件的频率调整方法的特征在于，该振动元件具有振动臂，该振动臂具有互相处于正反关系的第1主面和第2主面，该振动元件的频率调整方法具有如下的工序：通过对该振动元件照射能量线而将振动臂的所述第1主面侧的一部分去除，从而对所述振动元件的谐振频率进行调整，所述振动臂的所述第2主面侧被所述能量线激活的激活量比所述振动臂的所述第1主面侧被所述能量线激活的激活量小。
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公开(公告)号：CN110323326A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910241056.9
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/04 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/253 , G01C21/16 , G01C19/5628 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，振动元件具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有位于所述基部侧并配置有电极膜的臂部和比所述臂部靠末端侧的施重部；以及施重膜，其配置在所述施重部上，所述振动臂具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述电极膜和所述施重膜配置在所述第1主面和所述第2主面上，配置在所述第1主面上的所述电极膜的厚度、配置在所述第1主面上的所述施重膜的厚度、配置在所述第2主面上的所述电极膜的厚度以及配置在所述第2主面上的所述施重膜的厚度分别为50nm以上且500nm以下。
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公开(公告)号：CN102121826B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201010590043.1
申请日：2010-12-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 押尾政宏
IPC: G01C19/5642
CPC classification number: G01C19/5642
Abstract: 振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。本发明的目的是提供一种具有进行扭转振动的振动片的高精度的物理量传感器。作为解决手段，振动片具有：第1驱动梁及第2驱动梁，其以扭转振动模式振动，且相互并列地在X轴方向上延伸；支撑部，其结合第1驱动梁及第2驱动梁的一端彼此及另一端彼此；以及第1检测臂及第2检测臂，其在相对于X轴方向垂直的Y轴方向上，分别从第1驱动梁及第2驱动梁延伸，在驱动模式中，第1驱动梁及第2驱动梁在相反的方向上扭转振动，第1检测臂及第2检测臂在Z轴方向上振动，并且，第1检测臂及第2检测臂在相同的方向上振动，在检测模式中，在绕Y轴方向施加了角速度时，第1检测臂及第2检测臂在X轴方向上振动。
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公开(公告)号：CN1585266A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200410058248.X
申请日：2004-08-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 押尾政宏
CPC classification number: H03H9/02551 , H03H9/02834 , H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种可实现高频率化且能发挥优良温度特性的新型表面声波器件及其制造方法。该表面声波器件是利用高速SH型表面波的器件，其在欧拉角由(0°，θ(其中，θ为125°～142°)，90°)表示的石英基板上形成IDT电极时，调整该IDT电极的膜厚，使该石英基板在规定温度时的频率温度系数TCF为负数，之后，用在该规定温度时具有正的频率温度系数的薄膜覆盖在该IDT电极上。这样，由于可使器件整体的频率温度系数TCF为零，并且可改善二次温度系数β，因而可提供容易实现高频率化且具有优良温度特性的表面声波器件。
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