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公开(公告)号：CN1313191A
公开(公告)日：2001-09-19
申请号：CN01117221.5
申请日：2001-02-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2002/14403 , B41J2002/14419 , B41J2202/21
Abstract: 静电驱动式喷墨头1,具有电极玻璃基板11、模腔基板12和喷嘴基板13三层结构,在模腔基板12上形成油墨压力室用凹部21,在层叠于其上的喷嘴基板12上,形成油墨喷嘴用喷嘴槽22和公共油墨室用凹部24,以及作为将公共油墨室6与各油墨压力室4连通的油墨供应孔的贯通孔23。因此,由于在与各油墨压力室4相对的喷墨头厚度方向上层叠配置公共油墨室6,所以可减小喷墨头长度方向Y的尺寸。并且,由于在喷嘴基板12上形成公共油墨室用凹部,所以可以不附加另外的基板等即可层叠公共油墨室,因而,可抑制喷墨头厚度方向的尺寸的增加,获得整体上小型化的喷墨头。
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公开(公告)号：CN1269289A
公开(公告)日：2000-10-11
申请号：CN00104971.2
申请日：2000-04-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
CPC classification number: B41J2/155 , B41J2/14314 , B41J2202/19 , B41J2202/20
Abstract: 在通过孤立地配置喷墨头单元构成的行喷墨头中,根据简单的作业高精度地进行孤立配置的喷墨头单元相互的对位。行喷墨头在形成于头单元安装基板2两侧的头单元安装面103、104上,交互地配置喷墨头单元105(1)～105(4)使得成为孤立形。如果高精度地形成头单元安装面,则由于在其上面仅粘接固定各喷墨头单元,因此使得孤立配置的喷墨头相互高精度地进行对位。
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公开(公告)号：CN116647203A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310154710.9
申请日：2023-02-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动器件以及振动器件的制造方法。能够抑制振动特性的劣化。振动器件具有：元件基板，其具有框部和振动元件，框部具有处于正反关系的第1面和第2面，振动元件与框部连接，配置于框部的内侧；第1基板，其配置在第1面侧，具有与第1面相对的第3面；第1接合层，其配置在元件基板与第1基板之间，接合第1面与第3面；第2基板，其配置在第2面侧，具有与第2面相对的第4面；第2接合层，其配置在元件基板与第2基板之间，接合第2面与第4面；收纳部，其由框部、第1基板和第2基板包围，收纳振动元件；吸气层，其配置在第4面，露出于收纳部，具有气体吸附性。
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公开(公告)号：CN116633306A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310141365.5
申请日：2023-02-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动器件以及振动器件的制造方法，抑制大型化并且具有优异的气体吸附性。振动器件具有：硅的基座，其具有处于正反关系的第一面和第二面；振动元件，其被配置于所述第一面；硅的盖，其被配置于所述第一面侧，具有与所述第一面面对的第三面和朝所述第三面开口的有底的凹部，所述第三面与所述第一面接合；以及吸气层，其被配置于所述凹部的底面，具有气体吸附性，所述凹部的底面的表面粗糙度Ra大于所述第三面的表面粗糙度Ra。
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公开(公告)号：CN115694406A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202210877948.X
申请日：2022-07-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动器件以及振动器件的制造方法，检查方法低成本，且能够在制造中途以及安装后进行泄漏检查。振动器件具有：基座，其包含半导体基板；振动元件；以及盖，其与基座接合，由该盖与基座构成收纳振动元件的腔室，半导体基板配置有集成电路，该集成电路包含：振荡电路，其与振动元件电连接；存储电路，其存储振动元件的输出特性的基准值；以及判定电路，其对振动元件的输出特性的检测值和基准值进行比较，根据比较结果对腔室内的气密状态进行判定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114389564A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111215410.4
申请日：2021-10-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动器件。能够在俯视时实现小型化。振动器件(1)包括：半导体基板(4)，其具有设有集成电路(41)的第1面(4h)以及与第1面(4h)处于正反关系的第2面(4r)；振动元件(5)，其配置在第1面(4h)；盖(3)，其具有在第1面(4h)侧开口的凹部(32)和与第1面(4h)抵接的抵接面(31)，在抵接面(31)处与第1面(4h)接合；以及金属层(6)，其配置在第1面(4h)与抵接面(31)之间，在从第1面(4h)的法线方向俯视时，集成电路(41)的至少一部分与金属层(6)重叠。
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公开(公告)号：CN108622844A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810154910.3
申请日：2018-02-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L9/0054 , G01L9/0048 , H01L29/84 , B81B3/0027 , B81B2201/0264
Abstract: 本发明提供一种能够同时实现压力检测灵敏度和机械性强度的压力传感器、压力传感器模块、电子设备及移动体。压力传感器具有：基板，其具备通过受压而发生挠曲变形的隔膜；压电电阻元件，其被设置在所述隔膜上；保护膜，其被设置在所述隔膜的一面侧。此外，所述保护膜具有薄壁部和与所述薄壁部相比而较厚的厚壁部。此外，在俯视观察所述基板时，所述薄壁部与所述压电电阻元件重叠，且所述厚壁部与所述隔膜的至少一部分重叠。
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公开(公告)号：CN100420575C
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200510138117.7
申请日：2005-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种可以实现设备的小型化，并可以有效地防止水分等进入到间隙内的静电驱动器等。其具备：具有固定电极的第1基板、具有与固定电极隔开距离地相对并利用在与固定电极之间产生的静电力动作的可动电极的第2基板的第2基板、堵塞密封部的第3基板。在第1基板或第2基板的一方上设置有贯通槽孔，该贯通槽孔用于将在固定电极和可动电极之间形成的空间与外界气体遮断的密封材形成在需要范围内，从贯通槽孔封入密封材而形成密封部，在第3基板的堵塞密封部的面上形成有基于密封部的大小的密封材避让槽，以使从贯通槽孔溢出的上述密封材和第3基板不接触。
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公开(公告)号：CN1297421A
公开(公告)日：2001-05-30
申请号：CN00800475.7
申请日：2000-03-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B81B1/00 , H01R11/01 , B41J2/045 , G02F1/1345
CPC classification number: H05K3/361 , B41J2/14233 , B41J2/14274 , B41J2/14314 , B41J2002/14491 , G02F1/13452 , H01R12/62 , H01R12/7076 , H01R31/06 , H05K3/323 , H05K2201/09036
Abstract: 电极间的间距即使微细也能适用的狭窄间距用连接器、包括该狭窄间距用连接器的静电传动机构、压电传动机构、微型机、液晶盘、以及使用这些静电传动机构、压电传动机构的喷墨头、安装了这些喷墨头的喷墨打印机、电子机器。一种狭窄间距用连接器(20),它是在基板(22)上形成多个第一端子电极(30)和多个第二端子电极(32),形成导电性地连接上述第一端子电极(30)和上述第二端子电极(32)用的布线(24),上述布线(24)具有变换上述第一端子电极(30)间的间距和上述第二端子电极(32)间的间距的功能,在各第一端子电极(30)之间形成槽部(32A)。
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公开(公告)号：CN1267598A
公开(公告)日：2000-09-27
申请号：CN00108312.0
申请日：2000-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/07
CPC classification number: B41J2/04578 , B41J2/04588 , B41J2/04596 , B41J2/14314 , B41J2/16517 , B41J2/16526 , B41J29/393
Abstract: 本发明提供一种喷墨记录装置的控制方法,该方法不会导致打印速度降低,可进行使各墨喷嘴中的墨微小气泡产生微振动的空载驱动动作,从而防止喷嘴堵塞。在喷墨记录装置中,喷墨头(30)以保持于滑架(302)上的方式移动。在对记录媒体进行打印动作(框B2)之前,在通过滑架(302)使喷墨头(30)移动期间,进行空载驱动动作(方框B31)。因此,由于不必为了进行空载驱动动作而先行进行打印动作,这样可在不使打印速度降低的情况下,通过空载驱动动作而防止墨喷嘴的堵塞。
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