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公开(公告)号：CN113551591A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110430016.6
申请日：2021-04-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松下友纪
Abstract: 本发明涉及测定装置以及测定方法。在基于干涉光对测定对象的形状进行测定且测定对象的凹凸尺寸大于波长的情况下，无法实施高精度的形状测定。测定装置具备：光源部，射出光；分光元件，使从所述光源部射出的光中预定波长的光透射，且能够变更在预定的波长范围内透射的所述光的波长；干涉光学系统，将从所述分光元件射出的光分离为照射到测定对象的测定光和由参照体反射的参照光，并生成将由所述测定对象反射后的所述测定光和由所述参照体反射后的所述参照光合成而得的干涉光；受光部，接收所述干涉光；以及位置计算部，基于光谱信息计算所述测定对象的位置，所述光谱信息是使从所述分光元件透射的光的波长变化时在所述受光部的受光量的变化。
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公开(公告)号：CN102628987B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210024540.4
申请日：2012-02-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松下友纪
CPC classification number: G02B26/02 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01N21/251 , G02B5/28
Abstract: 本发明提供了一种滤光器、滤光器模块、分析设备及光学设备。该滤光器包括：第一基板；第二基板；第一反射膜，设置在第一基板上；第二反射膜，设置在第二基板上；第一固定电极及第二固定电极，设置在第一基板上，在俯视图中位于第一反射膜的周围；以及第一可变电极和第二可变电极，设置在第二基板上，与第一固定电极及第二固定电极相向，其中，第一可变电极和第二可变电极以成为以反射膜为中心的中心对称构造的方式形成有第二可变电极的狭缝部。
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公开(公告)号：CN105093518A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510474368.6
申请日：2011-08-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 一种滤光器、滤光器模块、光谱测量仪及光设备，该滤光器包括：第一基板；第二基板，配置为与所述第一基板相对；第一反射镜构造，配置于所述第一基板和所述第二基板之间；以及第二反射镜构造，配置于所述第一基板和所述第二基板之间，在将所述第一反射镜构造的光的反射率的峰值对应的光的波长设为λ1、将所述第二反射镜构造的光的反射率的峰值对应的光的波长设为λ2、将透过所述第一反射镜构造和所述第二反射镜构造的光的透过率的峰值对应的光的波长设为λ3时，λ1
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公开(公告)号：CN102375172B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201110231454.6
申请日：2011-08-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 一种滤光器、滤光器模块、光谱测量仪及光设备，该标准具滤光器包括：第一基板；第二基板，与第一基板相对；第一光学膜，设置于第一基板；以及第二光学膜，设置于第二基板，第二光学膜与第一光学膜相对，其中，第一光学膜的根据光的反射波段中的各波长的光的反射率而确定的反射特性、和第二光学膜的根据反射波段中的各波长的光的反射率而确定的反射特性不同。第一光学膜可以具有将第一波长λ1作为中心波长的反射特性，第二光学膜可以具有将与第一波长λ1不同的第二波长λ2作为中心波长的反射特性。在将标准滤光器的光谱带中的中心波长视为λ3时，以成为λ1＜λ3＜λ2的方式设计各光学膜。
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公开(公告)号：CN104049293A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410090778.6
申请日：2014-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松下友纪
IPC: G02B5/28 , G02B26/00 , G01J3/46 , G01N21/65 , G01N21/359
CPC classification number: G02B5/284 , G01J3/0229 , G01J3/0262 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种光学滤波器装置、光学模块以及电子设备。该光学滤波器装置具备：壳体，具有能使光射入内侧的光通过孔；光圈，设置于壳体的外侧，用于限制向光通过孔射入的光；以及干涉滤波器，设置于壳体的内侧，具备固定反射膜以及与固定反射膜相对的可动反射膜，其中，在从膜厚方向观察固定反射膜以及可动反射膜的俯视观察中，光圈的开口、光通过孔和固定反射膜以及可动反射膜被设置为重叠，在将靠近光通过孔的固定反射膜的直径设为Φm、将光通过孔的口径设为Φp、将光圈的开口直径设为Φa时，满足Φa
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103675977A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310404583.X
申请日：2013-09-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/0291 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/2823 , G01J3/32 , G01J3/42 , G01J3/50
Abstract: 本发明提供光学模块、电子设备以及驱动方法。其中，光学模块10具备波长可变干涉滤波器5以及控制静电致动器的间隙控制部15，上述波长可变干涉滤波器5具有固定反射膜、隔着反射膜间间隙与固定反射膜相对的可动反射膜以及改变反射膜间间隙的静电致动器。而且，间隙控制部15基于根据测定对象波长设定的次数控制静电致动器，改变反射膜间间隙。
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公开(公告)号：CN110873913A
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201910803084.5
申请日：2019-08-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B5/28
Abstract: 本发明公开了能够得到对应于作为目标波长的光学特性的光学装置及电子设备。光学装置具备：光学部件，具有多个第一光学层以及折射率与所述第一光学层不同的多个第二光学层，且所述第一光学层及所述第二光学层层叠；以及层厚变更部，在所述第一光学层及所述第二光学层的层叠方向上使所述第一光学层的厚度变化，设有一对所述光学部件，一对所述光学部件隔着间隙而相对配置，所述光学装置具备变更所述间隙的尺寸的间隙变更部。
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公开(公告)号：CN108955877A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810768082.2
申请日：2013-09-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01J3/02 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/32 , G01J3/42 , G01J3/50 , G02B26/00
Abstract: 本发明提供了驱动方法以及分光测定方法，该驱动方法用于驱动波长可变滤波器，所述驱动方法包括：向致动器施加与作为m+1次光的第一测定光的波长对应的第一电压，m是自然数；获取所述第一测定光的光量；在获取到所述第一测定光的光量后，向所述致动器施加与作为m次光的第二测定光的波长对应的第二电压；以及获取所述第二测定光的光量，所述第一电压小于所述第二电压。
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公开(公告)号：CN105093518B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201510474368.6
申请日：2011-08-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 一种滤光器、滤光器模块、光谱测量仪及光设备，该滤光器包括：第一基板；第二基板，配置为与所述第一基板相对；第一反射镜构造，配置于所述第一基板和所述第二基板之间；以及第二反射镜构造，配置于所述第一基板和所述第二基板之间，在将所述第一反射镜构造的光的反射率的峰值对应的光的波长设为λ1、将所述第二反射镜构造的光的反射率的峰值对应的光的波长设为λ2、将透过所述第一反射镜构造和所述第二反射镜构造的光的透过率的峰值对应的光的波长设为λ3时，λ1
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公开(公告)号：CN103676136B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201310407083.1
申请日：2013-09-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B5/28 , G02B5/284 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供分光装置、波长可变干涉滤波器、光学模块及电子设备。其中，分光装置具备：第一反射膜；隔着间隙与上述第一反射膜相对的第二反射膜；间隙变更部，通过改变上述第二反射膜相对于上述第一反射膜的相对位置来变更上述间隙的间隙量；以及处理部，根据通过由上述间隙变更部变更上述间隙量而由上述第一反射膜和上述第二反射膜取出的多个上述测定对象波长的光，以规定的第一波长间隔输出光学特性数据，由上述第一反射膜和上述第二反射膜取出的上述多个测定对象波长的光中的至少一个光的光谱半高宽比上述第一波长间隔大。
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