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公开(公告)号：CN102840858A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201210212645.2
申请日：2012-06-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种弯曲振动片以及电子设备，所述弯曲振动片能够有效地抑制驱动模式下的错误检测信号的产生。双侧音叉型弯曲振动片(11)具有：与支承部(12)相连接的一对的驱动用振动臂(13)以及朝向与所述驱动用振动臂(13)相反的一对的检测用振动臂(14)。支承部具有：在宽度方向上的两侧部处形成的细槽状的凹部(17a、17b)、以及在所述支承部的平面部的大致中央且凹部的驱动用振动臂侧形成的贯穿孔(18)。在支承部的表面上，以通过支承部的两侧部处的凹部与平面部上的贯穿孔而在长度方向上被隔开的方式，从驱动用振动臂的驱动电极引出的驱动用电极衬垫被配置在驱动用振动臂侧，而从检测用振动臂的检测电极引出的检测用电极衬垫被配置在检测用振动臂侧。
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公开(公告)号：CN117650764A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311797521.X
申请日：2018-11-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动器件、电子设备以及移动体，能够抑制在振动元件上产生应力，并且不使用树脂材料即可将振动元件和电路元件安装于封装体。一种振动器件，其特征在于，该振动器件具有：振动元件；电路元件；中继基板，其配置在所述振动元件与所述电路元件之间；封装体，其收纳所述振动元件、所述电路元件以及所述中继基板；第1金属体，其将所述封装体与所述电路元件接合起来；第2金属体，其将所述电路元件与所述中继基板接合起来；以及第3金属体，其将所述中继基板与所述振动元件接合起来。
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公开(公告)号：CN116685190A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310878492.3
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件及其频率调整方法和制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备和移动体，该振动元件的频率调整方法的特征在于，该振动元件具有振动臂，该振动臂具有互相处于正反关系的第1主面和第2主面，该振动元件的频率调整方法具有如下的工序：通过对该振动元件照射能量线而将振动臂的所述第1主面侧的一部分去除，从而对所述振动元件的谐振频率进行调整，所述振动臂的所述第2主面侧被所述能量线激活的激活量比所述振动臂的所述第1主面侧被所述能量线激活的激活量小。
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公开(公告)号：CN109842394B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN201811416488.0
申请日：2018-11-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动器件、振动器件的制造方法、电子设备以及移动体，能够在配置到封装体中之前对振动元件的谐振频率进行调整，并且能够实现制造成本的降低。振动器件具有：基座；电路元件，其安装于所述基座；以及振动元件，其安装于所述电路元件且位于所述电路元件的有源面侧，所述电路元件具有频率调整用端子，该频率调整用端子用于调整所述振动元件的频率，在俯视观察所述有源面时，该频率调整用端子配置在所述有源面的不与所述振动元件重叠的区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110323326A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910241056.9
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/04 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/253 , G01C21/16 , G01C19/5628 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，振动元件具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有位于所述基部侧并配置有电极膜的臂部和比所述臂部靠末端侧的施重部；以及施重膜，其配置在所述施重部上，所述振动臂具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述电极膜和所述施重膜配置在所述第1主面和所述第2主面上，配置在所述第1主面上的所述电极膜的厚度、配置在所述第1主面上的所述施重膜的厚度、配置在所述第2主面上的所述电极膜的厚度以及配置在所述第2主面上的所述施重膜的厚度分别为50nm以上且500nm以下。
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公开(公告)号：CN110034743A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201811598539.6
申请日：2018-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、振动器件的制造方法、电子设备以及移动体，在进行了振动元件的频率调整之后安装于封装的情况下，能够减轻施加给振动元件的安装应力，并且能够减轻由于安装应力而引起的振动元件的频率变动。振动器件具有：基座；第1中继基板，其安装于所述基座；第2中继基板，其安装于所述第1中继基板；以及振动元件，其配置成与所述第1中继基板之间隔着所述第2中继基板，且安装于所述第2中继基板，所述第2中继基板具有如下的端子：所述端子与所述振动元件电连接，并且位于在平面观察时与所述第1中继基板重叠而不与所述振动元件重叠的区域。
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公开(公告)号：CN102857190B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201210215200.X
申请日：2012-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/21 , H03H2003/026 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种弯曲振动片、及其制造方法以及电子设备，所述弯曲振动片即使小型化也能够有效地去除由振动臂的面外振动而产生的振动泄漏。具备基部(2)、一对驱动用振动臂(3a、3b)、一对检测用振动臂(4a、4b)、驱动电极及检测电极的双侧音叉型弯曲振动片(1)具有，被形成在振动臂与基部之间的结合区域上的金属材料等的调节膜(6a、6b)。调节膜被形成为，包括：被形成在驱动用振动臂与基部之间的结合部上的锥形部(5a、5b)的区域(S1)；靠近锥形部的、基部的区域(S2)以及驱动用振动臂的区域(S3)。在对当在驱动模式下激励了驱动用振动臂时由检测电极输出的检测电流进行监控的同时，所述调节膜通过激光照射等而被部分削除，从使该检测电流成为零。
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公开(公告)号：CN103837145A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201310589072.X
申请日：2013-11-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: H03H9/1014 , B23K26/21 , B23K26/211 , B23K26/22 , H01L2224/16 , H01L2924/1461 , H01L2924/16195 , H03H9/1057 , H03H9/1071 , H01L2924/00 , G01C19/5628
Abstract: 电子器件及其制造方法、盖体、电子设备以及移动体。本发明提供能够容易地进行腔体内的脱气和密封的电子器件的制造方法。该制造方法在底座（91）与作为盖体的盖（92）之间形成内部空间（14）的同时，接合底座和盖，该制造方法具有以下工序：准备盖的工序，其中，盖的背面（92b）具有将内部空间与外部连通的槽（94）；在内部空间（14）内收纳作为电子部件的陀螺元件（2）的工序；第1接合工序，通过缝焊来接合底座与盖的接合预定部位的除了与槽对应的部分以外的部位；以及第2接合工序，通过激光（98）的焊接来接合该接合预定部位的包含槽的外部侧的端部在内的部位，封闭槽。
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公开(公告)号：CN102889888A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251384.5
申请日：2012-07-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5705
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种振动陀螺元件、陀螺传感器及电子设备，其提高了振动陀螺元件的检测灵敏度。振动陀螺元件(1)具备从支承部(2)延伸的一对驱动用振动臂(3a、3b)和其相反侧的一对检测用振动臂(4a、4b)，并具有：驱动模式，驱动用振动臂在面内方向反向地弯曲振动；第一检测模式，驱动用振动臂在面外方向以相互反向且与哥氏力的作用方向反相的方式弯曲振动，检测用振动臂在面外方向以相互反向且与驱动用振动臂反相的方式弯曲振动；第二检测模式，驱动用振动臂在面外方向以相互反向且与哥氏力的作用方向同相的方式弯曲振动，检测用振动臂在面外方向以相互反向且与驱动用振动臂同相的方式弯曲振动，各个检测用振动臂在第一检测模式和第二检测模式中以同相弯曲振动。
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