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公开(公告)号:CN103913836A
公开(公告)日:2014-07-09
申请号:CN201410001372.6
申请日:2014-01-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , Y10T156/10 , Y10T156/1056
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器及制造方法、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备:变更固定反射膜(54)及可动反射膜(55)之间的间隙尺寸的静电致动器(56);与静电致动器(56)连接的固定引出电极(563)及可动引出电极(564B);及具备顶面部(531)和侧壁部(532)的第三基板(53),接合侧壁部(532)的端面及第一基板(51),由顶面部(531)、侧壁部(532)以及第一基板(51)围成的空间(D1)被气密密封,在空间(D1)中,配置有第二基板(52)及静电致动器(56),固定引出电极(563)及可动引出电极(564B)设置于第一基板(51),跨空间(D1)的内外而延伸。
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公开(公告)号:CN102375173A
公开(公告)日:2012-03-14
申请号:CN201110237058.4
申请日:2011-08-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/28 , G01J3/26 , G01J3/51 , G01N21/251 , G01N21/255
Abstract: 本发明提供一种干涉滤光片、光模块及分析装置。该干涉滤光片的特征在于,包括隔着间隙对置的2个反射膜以及支撑所述反射膜的基板,其中,所述反射膜包含纯银膜及银合金膜,在所述基板上,从所述基板侧开始依次设置所述纯银膜及所述银合金膜,所述银合金膜是含有银(Ag)、钐(Sm)及铜(Cu)的Ag-Sm-Cu合金膜,或者是含有银(Ag)、铋(Bi)及钕(Nd)的Ag-Bi-Nd合金膜。
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公开(公告)号:CN102346271A
公开(公告)日:2012-02-08
申请号:CN201110203270.9
申请日:2011-07-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , C22C5/06 , C22C5/08 , G01J1/0488 , G01J3/46 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供了干涉滤光器、光模块和分析装置。该干涉滤光器的特征在于,该干涉滤光器的固定反射镜以及可动反射镜的合金膜是含有银(Ag)、钐(Sm)以及铜(Cu)的Ag-Sm-Cu合金膜或是含有银(Ag)、铋(Bi)以及铷(Nd)的Ag-Bi-Nd合金膜。
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公开(公告)号:CN101219599A
公开(公告)日:2008-07-16
申请号:CN200810002325.8
申请日:2008-01-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1606 , B41J2/1628 , B41J2002/14411 , B41J2202/03 , C23C16/40 , H02N1/004
Abstract: 本发明提供了一种用于静电驱动方式的喷墨头等的静电执行机构、液滴喷出头、它们的制造方法、以及液滴喷出装置。在静电执行机构的绝缘结构中,可使静电执行机构的产生压力得到提高,并可实现提供驱动的稳定性及驱动耐久性。本发明的静电执行机构包括:固定电极(5),形成在基板上;可动电极(6),隔着规定间隔与该固定电极(5)对置配置;以及驱动单元,使固定电极(5)与可动电极(6)之间产生静电力,并使可动电极(6)发生位移,在静电执行机构中,在固定电极(5)和可动电极(6)中至少一个的对置面上形成有由HfxAlyOz膜构成的绝缘膜(7)。
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公开(公告)号:CN117048204A
公开(公告)日:2023-11-14
申请号:CN202310527629.0
申请日:2023-05-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及单晶硅基板、液体喷头以及单晶硅基板的制造方法,改善形成在硅基板上的贯通孔中的液体的流动。一种单晶硅基板(40),至少一部分构成液体的流路(51),所述单晶硅基板(40)具备贯通孔(N),该贯通孔(N)构成流路(51)的一部分,并且在与单晶硅基板(40)的基板面交叉的方向上贯通单晶硅基板(40),贯通孔(N)具有条纹状部(L),该条纹状部(L)由金属辅助化学蚀刻形成,并且延伸设置有沿着液体的流动方向的凹部及凸部中的至少一方。
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公开(公告)号:CN117048203A
公开(公告)日:2023-11-14
申请号:CN202310524324.4
申请日:2023-05-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及单晶硅基板、液体喷头以及单晶硅基板的制造方法,制造一种小型且高分辨率的液体喷头。一种至少一部分构成液体的流路的单晶硅基板(20),具备:第一贯通孔(21),具有相对于单晶硅基板(20)的基板面(20a)以及(20b)倾斜的倾斜侧壁(21a);以及第二贯通孔(22),构成流路(51),并且由相对于基板面(20a)以及(20b)比倾斜侧壁(21a)更接近垂直的垂直侧壁(22a)构成侧壁,第一贯通孔(21)由结晶各向异性蚀刻形成,第二贯通孔(22)由金属辅助化学蚀刻形成。
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公开(公告)号:CN103217732B
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201310012209.5
申请日:2013-01-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/284 , G01J1/0488 , G02B5/0808 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种干涉滤波器、光学模块以及电子设备。上述干涉滤波器包括:隔着间隙相互面对的第一反射膜和第二反射膜。第一反射膜和第二反射膜包括:Ag‑Sm‑Cu合金膜或Ag‑Bi‑Nd合金膜,其中,按原子数计,Ag‑Sm‑Cu合金膜含有0.1%以上0.5%以下的Sm,含有0.1%以上0.5%以下的Cu,且Sm以及Cu的合计为1.0%以下,Ag‑Bi‑Nd合金膜含有0.1%以上3.0%以下的Bi,含有0.1%以上5.0%以下的Nd,上述Ag‑Sm‑Cu合金膜或Ag‑Bi‑Nd合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。
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公开(公告)号:CN104880817A
公开(公告)日:2015-09-02
申请号:CN201510090065.4
申请日:2015-02-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明提供了滤光器、光学模块及电子设备,该滤光器具备:固定基板(14);可动部(13b),与固定基板(14)对向配置;固定反射膜(44),设置于固定基板(14),使光(28)的一部分反射一部分透过;可动反射膜(35),设置于可动部(13b),与固定反射膜(44)对向,使光(28)的一部分反射一部分透过;静电致动器(50),控制固定反射膜(44)和可动反射膜(35)的间隔,固定反射膜(44)被导电膜(38)和保护膜(45)夹着,导电膜(38)和保护膜(45)为相同材质、相同膜厚。并且,可动反射膜(35)被导电膜(32)和保护膜(36)夹着,导电膜(32)和保护膜(36)为相同材质、相同膜厚。
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