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公开(公告)号:CN101712234B
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:CN200910177746.9
申请日:2009-09-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/18 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , H01L41/1876
Abstract: 本发明提供提高了变位特性的液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置。该液体喷射头具有:流路形成基板(10),其形成有与喷射液滴的喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12);和压电元件(300),其具备:第1电极(60)、形成在该第1电极(60)上的具有由通式ABO3表示的钙钛矿结构的压电体层(70)、以及形成在该压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反侧的第2电极(80),由于使上述压力发生室(12)产生压力,从上述喷嘴开口(21)喷出液滴;上述压电体层(70)的A位点及B位点具有铅、锆及钛。
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公开(公告)号:CN102180013A
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN201110008111.3
申请日:2011-01-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 本发明涉及液体喷射头及液体喷射装置,可降低压电元件的应力集中来抑制压电元件的损坏。具备:沿着短边方向并列设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板;和压电元件,其在该流路形成基板的一个面侧与压力发生室对应设置,具有第1电极、在第1电极上设置的压电体层及在压电体层上设置的第2电极,第1电极对应于压力发生室独立设置,并且第2电极遍及压力发生室的并列设置方向连续设置,与压力发生室的并列设置方向交叉的方向上,在压电体层的实质上驱动的活性部和实质上不驱动的非活性部的边界的至少一方边界的活性部侧,在第1电极与第2电极之间设置有介电常数比活性部的中央部低的低电介质层。
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公开(公告)号:CN102133814A
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN201110005276.5
申请日:2011-01-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/332
Abstract: 本发明提供液体喷头以及液体喷射装置,能够抑制抑制在压电体层产生的裂纹。该液体喷头具备与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)和使上述压力发生室(12)发生压力变化的压电元件(300),其中压电元件(300)具备:第1电极(60)、形成在上述第1电极(60)上含有铅、锆、钛的压电体层(70)、和形成在上述压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反一侧的第2电极(80),存在于上述压电体层(70)的上述第2电极(80)侧表面的晶粒(501)间的槽部(502),满足0≤d/ρ≤0.900(d:槽部的深度,w:槽部的宽度,ρ:曲率半径(d2+w2/4)/2d)。
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公开(公告)号:CN101746137A
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200910252945.1
申请日:2009-12-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供压电特性或劣化特性优异的液体喷射头及液体喷射装置以及压电致动器。本发明的液体喷射头具备:与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)、压电元件(300),压电元件(300)具备第一电极(60)、形成于该第一电极(60)上的具有以通式ABO3表示的钙钛矿结构的压电体层(70)、和形成于该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧的第二电极(80),设置如下的压电体层(70),即,在所述压电体层(70)的B位存在有铅,在利用拉曼散射得到的拉曼位移中,A1(3LO)的峰位置为710cm-1~712cm-1。
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公开(公告)号:CN101676109A
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200910173568.2
申请日:2009-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/055 , B41J2002/14241 , B41J2002/1425 , B41J2002/14266 , B41J2002/14419 , H01L41/0973
Abstract: 本发明提供一种能够减小因反复驱动而引起的变位量的变化率,提高耐久性的液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置。该液体喷射头包括:流路形成基板(10),其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室(12);和压电元件(300),其具备:第一电极(60)、形成在该第一电极上的具有由通式ABO 3 表示的钙钛矿构造的压电体层(70)、和形成在该压电体层的与第一电极相反侧的第二电极(80);上述压电体层具有单斜晶系构造,上述第一电极(60)及上述第二电极(80)之间产生的电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度,比上述压电体层的压电常数为极大时上述电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度大。
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公开(公告)号:CN114824059A
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202210094049.2
申请日:2022-01-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/193 , H01L41/047
Abstract: 本发明提供通过将剪切变形转换为伸缩变形而容易利用压电性的压电元件。压电元件的特征在于,具备:包含示出压电性的螺旋手性高分子结晶的电体层、第1电极层、第2电极层、设置于上述第1电极层的与上述压电体层相反一侧的第1连接部、设置于上述第2电极层的与上述压电体层相反一侧的第2连接部,在沿着上述压电体层的厚度方向观察时,上述压电体层、上述第1电极层以及上述第2电极层相互重叠的重复部分呈圆形,在沿着上述压电体层的厚度方向观察时,上述第1连接部以及上述第2连接部与上述重复部分的中心重叠。
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公开(公告)号:CN112571950A
公开(公告)日:2021-03-30
申请号:CN202011019589.1
申请日:2020-09-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种液体喷射装置的控制方法以及液体喷射装置,其目的在于,即使在液体喷射装置中的喷嘴内的液体的物性发生了变化的情况下,也减少与液体的喷射特性相关的误差。所述液体喷射装置具备:压力室,其与喷射液体的喷嘴连通;驱动元件,其使所述压力室内的液体的压力发生变化;驱动电路,其向所述驱动元件供给使从所述喷嘴喷射液体的压力的变化发生的喷射脉冲,所述液体喷射装置的控制方法的特征在于,根据使所述压力室内的液体的压力发生变化时的残余振动,来确定所述喷嘴内的液体的粘度和所述喷嘴内的液体的表面张力,并且,根据所述粘度以及所述表面张力来控制所述喷射脉冲的波形。
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公开(公告)号:CN103240994B
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201310042767.6
申请日:2013-01-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/045 , B41J2/14201 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0471 , H01L41/0805
Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置,其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备:基板,其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室;压电元件,其具有压电体层、第一电极以及第二电极,其中,所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成,所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成,所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。
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公开(公告)号:CN101722730B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN200910179424.8
申请日:2009-10-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2002/14241
Abstract: 本发明提供一种提高了变位特性的液体喷射头、液体喷射装置及执行元件装置。液体喷射头具有:流路形成基板,其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室;和压电元件(300),其具有第1电极(60)、形成在该第1电极(60)上的压电体层(70)、和形成在该压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反侧的第2电极(80),通过使上述压力发生室产生压力,从上述喷嘴开口喷出液滴;在上述第1电极(60)和上述第2电极(80)未被施加电压的状态下,上述压电体层(70)的内部电场偏向上述第1电极(60)侧、或上述第2电极(80)侧。
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公开(公告)号:CN101746137B
公开(公告)日:2012-06-20
申请号:CN200910252945.1
申请日:2009-12-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供压电特性或劣化特性优异的液体喷射头及液体喷射装置以及压电致动器。本发明的液体喷射头具备:与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)、压电元件(300),压电元件(300)具备第一电极(60)、形成于该第一电极(60)上的具有以通式ABO3表示的钙钛矿结构的压电体层(70)、和形成于该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧的第二电极(80),设置如下的压电体层(70),即,在所述压电体层(70)的B位存在有铅,在利用拉曼散射得到的拉曼位移中,A1(3LO)的峰位置为710cm-1~712cm-1。
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