-
公开(公告)号：CN103175638B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210558600.0
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器器件及其制造方法、传感器模块、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于所述封装；以及盖体，其对所述封装进行密封，所述传感器元件具有供所述盖体接触的接触面，所述封装具有供所述盖体接合的接合面，所述接触面与所述接合面不位于同一平面。
-
公开(公告)号：CN103175638A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210558600.0
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器器件及其制造方法、传感器模块、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于所述封装；以及盖体，其对所述封装进行密封，所述传感器元件具有供所述盖体接触的接触面，所述封装具有供所述盖体接合的接合面，所述接触面与所述接合面不位于同一平面。
-
公开(公告)号：CN103175637A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210558596.8
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/167 , B25J9/1633 , G01L1/16 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器器件、传感器模块、力检测装置、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于上述封装；以及盖体，其对上述封装进行密封，在上述盖体具备可挠部，在深度方向上俯视观察上述封装时，该可挠部包围上述传感器元件的周围并且具有可挠性。
-
公开(公告)号：CN1901228A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200610091231.3
申请日：2006-06-07
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 国立大学法人东京工业大学
IPC: H01L29/786 , H01L27/12 , H01L21/336 , H01L21/84
Abstract: 本发明提供一种半导体装置及其制造方法。该半导体装置在单晶半导体基板(11)上形成埋入氧化膜(12)，在埋入氧化膜(12)上形成有构成背栅电极的第1单晶半导体层(13)。并且，第1单晶半导体层(13)上形成埋入氧化膜(14)，在埋入氧化膜(14)上，堆积被台面隔离的第2单晶半导体层(15a、15b)，使第2单晶半导体层(15a、15b)的膜厚比第1单晶半导体层13的膜厚更厚，并且在第2单晶半导体层(15a、15b)上形成SOI晶体管。这样，能够抑制形成场效应晶体管的半导体层的结晶性能下降，并且在形成场效应晶体管的半导体层下面，配置低电阻化的背栅电极。
-
公开(公告)号：CN109773832B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN201811352836.2
申请日：2018-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供一种传感器及机器人，该机器人具备可靠地进行机器人等可动装置与其他物体的接近检测或接触检测的传感器，即使在对象物与末端执行器的接触作业中也不会产生妨碍，从而能够提高对于碰撞的安全性。具备一种传感器，检测与其他物体的接近或接触，所述传感器的电极部形成于外壳部件的外表面或内表面，基于所述传感器的输出信号控制所述机器人主体部的驱动部，以避免所述机器人主体部与其他物体的接近。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109773832A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811352836.2
申请日：2018-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供一种传感器及机器人，该机器人具备可靠地进行机器人等可动装置与其他物体的接近检测或接触检测的传感器，即使在对象物与末端执行器的接触作业中也不会产生妨碍，从而能够提高对于碰撞的安全性。具备一种传感器，检测与其他物体的接近或接触，所述传感器的电极部形成于外壳部件的外表面或内表面，基于所述传感器的输出信号控制所述机器人主体部的驱动部，以避免所述机器人主体部与其他物体的接近。
-
公开(公告)号：CN109773764A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811346177.1
申请日：2018-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种机器人，能够降低碰撞时的危险性。该机器人的特征在于具有：机器人主体部，具备基座、设置为相对于所述基座能够转动的第一可动部以及设置为相对于所述第一可动部能够转动的第二可动部；第一接近传感器，用于检测物体相对于所述第一可动部的接触或靠近；以及第二接近传感器，用于检测物体相对于所述第二可动部的接触或靠近，所述第一接近传感器具备静电电容随着所述物体的接触或靠近而变化的第一电极部以及用于检测所述第一电极部的静电电容的第一电路部，所述第二接近传感器具备静电电容随着所述物体的接触或靠近而变化的第二电极部以及用于检测所述第二电极部的静电电容的第二电路部。
-
公开(公告)号：CN103105250B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210443024.5
申请日：2012-11-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/167 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/226
Abstract: 本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机器人。在设为α轴、与上述α轴正交的β轴以及与上述α轴与上述β轴正交的γ轴作为空间坐标轴情况下，传感器元件是将压电基板和电极在上述γ轴方向上层叠而形成的，传感器元件具备连接部，连接部被配置成上述电极的外沿部的一部分与上述压电基板的外沿部的一部分重叠，在上述γ轴方向上观察时上述连接部被配置成彼此不重叠，在上述压电基板的外周部的一部分形成有将上述连接部与外部连接部电连接的配线。通过本发明能够得到可缩小配线空间的小型的力检测装置。
-
公开(公告)号：CN103994845A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410053005.0
申请日：2014-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供小型且降低了输出漂移的力检测装置、使用了该力检测装置的机械手以及移动体。力检测装置（1a）具备根据接受的外力来输出电荷Q的电荷输出元件（10a）；具有第一开关元件（23）和第一电容器（22），且将电荷Q转换为电压V并输出上述电压的转换输出电路（20）；具有第二开关元件（33）和第二电容器（32），并输出补偿用信号Voff的补偿用信号输出电路（30）；以及基于从转换输出电路（20）输出的电压V和从补偿用信号输出电路（30）输出的补偿用信号Voff，来检测外力的外力检测电路（40a）。第二电容器（32）的静电容量比第一电容器（22）的静电容量小。
-
公开(公告)号：CN103105250A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201210443024.5
申请日：2012-11-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/167 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/226
Abstract: 本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机器人。在设为α轴、与上述α轴正交的β轴以及与上述α轴与上述β轴正交的γ轴作为空间坐标轴情况下，传感器元件是将压电基板和电极在上述γ轴方向上层叠而形成的，传感器元件具备连接部，连接部被配置成上述电极的外沿部的一部分与上述压电基板的外沿部的一部分重叠，在上述γ轴方向上观察时上述连接部被配置成彼此不重叠，在上述压电基板的外周部的一部分形成有将上述连接部与外部连接部电连接的配线。通过本发明能够得到可缩小配线空间的小型的力检测装置。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
21
records
(took 0.031 seconds)
