公开(公告)号：CN104718497B

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201380053489.2

申请日：2013-09-02

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李哲虎 ,  朴惟廷 ,  尹龙云 ,  李圣宰 ,  赵娟振 ,  金永珉 ,  李忠宪

IPC: G03F7/004 ,  G03F1/00 ,  G03F7/26

Abstract: 揭示硬罩幕组成物以及使用硬罩幕组成物的图案形成方法。硬罩幕组成物包括由下列化学式1表示的高分子、由下列化学式2表示的单体以及溶剂，其中所包含的单体的含量等同于或高于高分子的含量。一实施例的硬罩幕组成物确保耐热性以及耐蚀刻性，且满足填沟特性。

公开(公告)号：CN104250228A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201410163675.8

申请日：2014-04-22

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 宋炫知 ,  金润俊 ,  金古恩 ,  金永珉 ,  金惠廷 ,  文俊怜 ,  朴曜徹 ,  朴裕信 ,  朴惟廷 ,  辛乘旭 ,  尹龙云 ,  李忠宪 ,  崔有廷 ,  洪承希

IPC: C07D215/14 ,  C07D311/58 ,  C07D409/14 ,  C07D405/10 ,  C07D333/16 ,  C07C37/00 ,  C07C39/17 ,  C07C39/225 ,  C07C29/143 ,  C07C35/21 ,  C07C213/02 ,  C07C217/58 ,  C07C253/30 ,  C07C255/53 ,  C07C17/16 ,  C07C22/04 ,  C07C319/12 ,  C07C323/19 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/40 ,  C07C22/04 ,  C07C39/12 ,  C07C39/225 ,  C07C217/58 ,  C07C255/53 ,  C07C323/19 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/50 ,  C07C2603/52 ,  C07C2603/54 ,  C07D215/14 ,  C07D311/58 ,  C07D333/16 ,  C07D333/50 ,  G03F7/09 ,  G03F7/094 ,  C07C35/21 ,  C07C39/17 ,  C07D405/10 ,  C07D409/14 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明公开了一种由以下化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、包括该单体的硬掩膜组合物、以及使用该硬掩膜组合物形成图案的方法。在以下化学式1中，A、A'、A″、L、L'、X、X'、m、和n与在具体实施方式中的定义相同。[化学式1]