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公开(公告)号：CN113499743A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110769783.X
申请日：2021-07-07
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米微球七聚体及其制备方法、应用，制备方法包括以下步骤：包括以下步骤：S1、将孔洞模板依次进行超声清洗和等离子体亲水处理，使模板表面具有亲水性；S2、将孔洞模板至于培养皿底部，依次加入纳米微球溶液和环己烷，再向水相中加入四甲基氯化铵溶液，有机相中加入十二烷硫醇，进行纳米微球的自组装过程；S3、静置蒸发，待液面没过孔洞模板，将孔洞模板垂直捞出，烘干后得到纳米微球薄膜；S4、移除孔洞模板上洞外的纳米微球，获纳米微球七聚体。通过本发明所述制备方法制备的纳米金七聚体能够产生Fano共振，获的金纳米颗粒相对致密，不仅能够用于SERS检测，且作为SERS基底对拉曼信号的增强效果比较好，进一步降低目标物的检测限。
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公开(公告)号：CN109900675B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201910203042.8
申请日：2019-03-18
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于质量测量技术领域，提供了一种基于石墨烯拉曼光谱偏移分析得到微小质量的测量装置及其测量方法。利用光刻技术在硅基底上制备特殊的孔洞结构，然后将单层石墨烯转移到硅基底上，使其可以悬空的搭在基底上。将待测物体置于悬空的单层石墨烯上并进行拉曼测试，对拉曼光谱分析，通过石墨烯的拉曼特征峰的偏移可以计算所施加的应变的大小，从而进一步可以得到待测物体质量。基于这种方法所得的微小应变传感器十分灵敏，可以测得纳克级别的质量，同时也可以应用测量低分子级别的分子质量，应用到生物方面的细胞检测。
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公开(公告)号：CN107488267B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201710584009.5
申请日：2017-07-18
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于柔性压力传感器领域，提供一种基于小球改性的高阻变氧化还原石墨烯材料及其制备方法；所述材料由氧化石墨烯掺杂聚乙烯纳米小球形成，其中，所述聚乙烯纳米小球的尺寸为直径90nm～2000nm，掺杂浓度为：质量比，1.56～12.5％。本发明将聚乙烯纳米小球(PS小球)掺进RGO薄膜中，聚乙烯纳米小球作为绝缘体引入，从而改变RGO碎片堆叠的结构，在同等的应变条件下，掺杂后的RGO的电阻变化将会变大，显示出很好的阻变特性；基于本发明RGO薄膜形成的传感器也就拥有更高的灵敏度(7～250)，远远大于常规RGO传感器；同时还能够通过调节掺杂PS小球的尺寸及浓度实现应变检测范围的调节。
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公开(公告)号：CN110873707A
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201810997510.9
申请日：2018-08-29
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于光学领域，具体涉及一种3D表面增强型拉曼传感芯片及其制备方法。本发明所要解决的技术问题是提供一种3D表面增强型拉曼传感芯片的制备方法，包括以下步骤：a、在硅片上涂光刻胶，同时绘制光刻图案；b、通过光刻的方式将光刻图案刻在硅片表面的光刻胶上，然后显影、离子刻蚀，再去除硅片上多余的光刻胶；c、在步骤b所得硅片上溅射金层；d、将含球溶液加在步骤c所得硅片上，干燥；重复加含球溶液和干燥步骤，直至干燥后球填满孔洞；e、再在步骤d所得硅片上溅射金层，即得成品芯片。本发明方法能够增强所得芯片的拉曼增强效果。
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公开(公告)号：CN119133274A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411241694.8
申请日：2024-09-05
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/09 , B82Y40/00
Abstract: 本申请适用于集成光学技术领域，提供了一种基于慢光效应的光电探测器，包括：硅衬底；形成于硅衬底顶部的埋氧层，埋氧层的顶部设有Mie波导，Mie波导的两端均设有矩形波导；形成于埋氧层顶部的隔离层，Mie波导和矩形波导均位于隔离层内；形成于隔离层顶部的二维材料层，二维材料层的顶部设有第一金属电极、第二金属电极以及金纳米条，金纳米条位于第一金属电极和第二金属电极之间。本申请能提升光电探测器的性能，以满足日益增长的精密测量需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117080289A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202310831933.4
申请日：2023-07-07
Applicant: 电子科技大学 , 成都燎原星光电子有限责任公司
IPC: H01L31/102
Abstract: 本发明属于光电领域，具体为一种适用于微型红外光谱仪的石墨烯铁电等离激元探测器。解决了传统红外光谱仪体积大的问题，为红外光谱仪的小型化提供了一种可行的设计方法。主要解决方案包括通过铁电畴的超高静电场对图形化的石墨烯进行静电掺杂，来激发石墨烯自身的等离激元效应，进而实现红外波段的探测，同时改变铁电畴的剩余极化强度，即可实现石墨烯探测波段的可调谐性。相较于传统的光谱仪减少了分光模块以及减小了探测器数量，这极大减小了器件的体积。
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公开(公告)号：CN113035965B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202110253989.7
申请日：2021-03-04
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/0203 , H01L31/032 , H01L31/109 , H01L31/18 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种基于硒化物/硫化物异质结的柔性光电探测器及其制备方法，该传感器采用PI薄膜作为基底，ITO作为电极，禁带宽度为1.2‑2.4eV的P型硒化物(如禁带宽度约为2.1eV的GaSe)和禁带宽度为1.8‑2.2eV的n型硫化物(如禁带宽度约为1.8eV的MoS2)形成的异质结作为功能层。器件制备流程为：首先通过光刻技术和ITO湿法刻蚀得到ITO电极，再采用机械剥离的方式得到硒化物和硫化物的亚微米薄片，并精确对准转移到基于PI基底的ITO电极上，形成超薄二维半导体异质结(各层厚度在10nm‑30nm之间)，结区面积在1×102‑2.5×103平方微米之间。该种制备方法方便环保且成本低，且基于该方法制备的硒化物/硫化物异质结光电探测器具有良好的弯曲性，相较于刚性光电探测器可应用于更多的场景，且得益于硒化物/硫化物异质结的材料特性，此类光电探测器具有良好的光电探测性能，可实现良好的光电探测效果。
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公开(公告)号：CN113410317B
公开(公告)日：2023-02-07
申请号：CN202110690461.6
申请日：2021-06-22
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/109 , H01L31/032 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种具有表面等离激元的二硒化钨/二硫化钼异质结光电探测器及其制备方法，包括ITO电极、异质结：由二维二硒化钨和二硫化钼以范德华力结合在一起以及表面等离激元：由金纳米颗粒构成。发明提出的光电探测器，利用表面等离激元对光子能量的吸收作用来增强二维二硒化钨/二硫化钼异质结的光吸收和光响应。发明提出制备方法包括通过激光直写光刻技术在异质结区域的光刻胶上精确地刻出亚微尺寸特定图形如矩形或圆形等窗口、利用移液器在窗口区域滴加纳米颗粒溶液如金纳米颗粒溶液或银纳米颗粒溶液、在震动和加热环境下将金纳米颗粒富集在矩形窗口内的方式在异质结区域上引入表面等离激元。本发明提出的具有表面等离激元的二维材料异质结光电探测器的结构及其制备方法具有新颖和简单的特点。
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公开(公告)号：CN113075189B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202110242939.9
申请日：2021-03-05
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于光学领域，具体提供一种基于法诺共振的表面增强拉曼传感基底及其制备方法，用以克服现有表面增强拉曼传感基底存在的制备太复杂、成本高等问题。本发明中表面增强拉曼传感基底通过纳米球与金膜间的局域表面等离子体的共振耦合及镜面成像场效应产生不对称曲线特征的Fano共振；使用亲和素和生物素对纳米球和金膜进行化学连接，结合力强，稳定不易脱落；并且，能够通过改变纳米球的球径、纳米球与金膜的间距等参数调控Fano dip的光谱位置和强度。综上，本发明提供的表面增强拉曼传感基底具有制备简单、灵敏度高、均一性好的优点，可制备大尺寸阵列结构。
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公开(公告)号：CN114252094A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111443060.7
申请日：2021-11-30
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于光学领域，具体提供一种基于法诺共振增强的光电探测结构及其制备方法，用以克服现有基于法诺共振增强的光电探测器存在的制备复杂、成本过高、均一性差等问题。本发明中的光电探测结构通过七个纳米球和金膜的局部表面等离子共振产生不对称曲线特征的法诺共振；利用分子间作用力，使二硫化钼和七个纳米球之间，七个纳米球和金膜之间，进行物理结合，结合力较高，结构稳定且不易脱落；并且，能够通过改变七个纳米球结构的球径、七个纳米球之间的间距等参数调控法诺谷的光谱位置和强度。与现有技术相比，本发明提供具有结构简单、易于制备、成本较低、灵敏度较高、均一性较好等优点，可制备大尺寸的阵列式结构。
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