正型感光性树脂先质及其制造方法

    公开(公告)号:CN1471659A

    公开(公告)日:2004-01-28

    申请号:CN99801861.9

    申请日:1999-09-07

    CPC classification number: G03F7/0233 C08G73/1025 C08L79/08

    Abstract: 本发明提供一种可以碱液显影的高光敏度的感光性树脂组合物,它是一种正型感光性树脂先质组合物,其特征在于,其中含有(a)结构单元间的键以通式(1)表示的结构单元为主要成分的聚合物和(b)光酸发生剂,通过光照射及其后续的显影可以形成图案,上述聚合物1g中含有的羧基总量为0.02mmol以上、2.0mmo1以下。R1为具有至少2个以上碳原子的3价~8价有机基团,R2为具有至少2个以上碳原子的2价~6价有机基团、R3为氢或碳原子数1~20的有机基团。n为3~100000的整数,m为1或2,p、q为0~4的整数,且p+q>0。

    树脂组合物及其制造方法
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103119085A

    公开(公告)日:2013-05-22

    申请号:CN201180046019.4

    申请日:2011-09-08

    Abstract: 本发明提供一种保存稳定性优异、且热处理后的膜具有优异的耐热性的聚酰胺酸树脂组合物。所述树脂组合物的特征在于,含有(a)所有重复单元中80%以上具有通式(1)表示的结构的聚酰胺酸、及(b)溶剂。(通式(1)中,A表示通式(2)所示的聚酰胺酸嵌段、B表示通式(3)所示的聚酰胺酸嵌段。k表示正整数。)(通式(2)中,W是碳原子数为2以上的2价有机基团,以通式(4)所示的2价有机基团作为主要成分。X表示除通式(5)所示的基团及(6)所示的基团以外的、碳原子数为2以上的4价有机基团。通式(3)中,Y是除通式(4)所示的基团以外的、碳原子数为2以上的2价有机基团,Z是碳原子数为2以上的4价有机基团,且以通式(5)所示的基团及(6)所示的基团中的任一个表示的4价有机基团作为主要成分。m和n表示正整数,在各嵌段中可以不同。)(通式(4)~(6)的R1~R5各自可以为相同的基团或不同的基团,表示碳原子数为1~10的1价有机基团。o和p表示0~4的整数,q表示0~2的整数,r和s表示0~3的整数。)

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