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公开(公告)号：CN108544739B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN201810319845.5
申请日：2018-04-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种半球谐振器的热成型装置及半模压热成型加工方法，其中的热成型装置，包括：用于承载成型材料片的承载台，与所述承载台密封连接的凹模，以及与所述承载台密封连接且支撑在所述凹模下方的密封头；其中，在所述凹模的型腔的底部中心设置有用于固定成型材料柱的插槽，在所述凹模的型腔的底部还设置多个抽气孔；在所述密封头的下端密封连接抽气管，在所述抽气管中布置可升降的顶杆，所述顶杆的上端与顶针固定连接，所述顶针的上端布置于开设在所述凹模底部的顶针孔中，所述顶针孔与插槽相通。
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公开(公告)号：CN112880657B
公开(公告)日：2023-02-07
申请号：CN202110053102.X
申请日：2021-01-15
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/56 , G01C19/5776
Abstract: 本发明涉及一种用于MEMS谐振式陀螺仪信号解调及控制的片上系统，其包括：处理器、专用处理模块、存储加载模块、外设、调试接口和总线；MEMS谐振式陀螺仪经A/D模块将传感器信号传输至所述处理器，所述处理器经所述总线分别与所述专用处理模块、存储加载模块、外设和调试接口进行信息交互；所述处理器将接收到的数据处理后经所述A/D模块向所述MEMS谐振式陀螺仪传输控制和反馈信号。本发明实现了数字和模拟混合电路的单片集成。本发明可以广泛应用于MEMS谐振式陀螺仪的测控领域。
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公开(公告)号：CN107528557B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201710801461.2
申请日：2017-09-07
Applicant: 清华大学
IPC: H03F3/45
Abstract: 本发明实施例公开了一种数据驱动的运算放大器，该运算放大器包括：相互连接的N型和P型互补输入的循环折叠跨导运算放大器电路以及数据驱动的运算放大器偏置电路；该数据驱动的运算放大器偏置电路包括输入差分信号比较器；输入差分信号比较器用于检测输入差分信号，并当输入差分信号大于或等于输入差分信号比较器的打开阈值时增大电路的偏置电流，当输入差分信号小于输入差分信号比较器的打开阈值时，保持电路的偏置电流不会变。并且可根据应用需求动态调整放大器电流大小，以及比较器打开阈值和比较器速度，控制大电流的工作窗口。通过该实施例方案，提高了高性能开关电容电路的速度，并降低了功耗、提高了良率。
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公开(公告)号：CN109738093B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910097689.7
申请日：2019-01-31
Applicant: 清华大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 本发明涉及一种用于微机电器件应力检测的片上谐振梁结构及检测方法，其包括微机电器件和谐振梁；微机电器件包括由上向下依次设置的结构层、锚点层和基片层；谐振梁采用U型结构，其设置在结构层和基片层之间，U型结构的顶部和底部的两端通过3个锚点固定到基片层上；谐振梁的U型结构内部设置有一个检测电极，该检测电极的端部通过锚点与基片层固定连接；谐振梁的U型结构的外部上、下两侧各设置一个外部检测电极，两外部检测电极通过锚点与基片层固定连接；谐振梁与内、外部检测电极之间设置有电容，在谐振梁与检测电极之间施加电压产生静电力驱动谐振梁振动，通过检测电极与谐振梁之间电容量的变化检测谐振梁的振动。本发明可以广泛应用于微机电器件的应力检测领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108844531A
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201810303836.7
申请日：2018-04-03
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/567
CPC classification number: G01C19/567
Abstract: 本发明公开了一种高Q值微机电陀螺的快速起振控制方法及装置，其中，方法包括以下步骤：通过自激振荡方式用预设幅值的驱动信号驱动高Q值微机电陀螺，使微机电陀螺的振动频率趋近于自然频率和微机电陀螺的幅值趋近于设定值，并获取自然频率估计值；当陀螺的振动状态达到预设条件时，将自然频率估计值作为初始频率，并通过锁相环方式驱动微机电陀螺，以使得微机电陀螺的振动频率锁定至自然频率和微机电陀螺的幅值稳定于设定值。该方法可以在仅了解高Q值微机电陀螺自然频率大致散布范围的情况下，使其快速起振并精确地锁定至自然频率稳幅工作，并且有效提高高Q值微机电陀螺驱动控制鲁棒性。
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公开(公告)号：CN106546717A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610953868.2
申请日：2016-11-03
Applicant: 清华大学
CPC classification number: G01N33/386 , G01N13/02 , G01N2013/0241
Abstract: 本发明涉及一种可视化高温热成形工艺试验系统，其包括密闭金属外壳，密闭金属外壳两端分别设置有观察口，观察口处设置有石英玻璃观察窗；位于密闭金属外壳内设置有高温腔室，高温腔室均热区域处设置有保温腔室，保温腔室两端分别设置有观察孔，观察孔与密闭金属外壳上的两观察口对应设置；位于高温腔室底部设置有升降平台，在高温腔室顶部设置有耐高温金属管，耐高温金属管下端位于高温腔室内部匀热区域，且下端螺纹连接有耐高温滴头；耐高温金属管上端依次穿过高温腔室和密闭金属外壳顶部通过连接阀门与储气瓶连通；位于高温腔室内还设置有加热电极，加热电极加热端位于高温腔室内，加热电极控制端穿过高温腔室和密闭金属外壳与外部已有温度控制器连接。
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公开(公告)号：CN112880657A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110053102.X
申请日：2021-01-15
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/56 , G01C19/5776
Abstract: 本发明涉及一种用于MEMS谐振式陀螺仪信号解调及控制的片上系统，其包括：处理器、专用处理模块、存储加载模块、外设、调试接口和总线；MEMS谐振式陀螺仪经A/D模块将传感器信号传输至所述处理器，所述处理器经所述总线分别与所述专用处理模块、存储加载模块、外设和调试接口进行信息交互；所述处理器将接收到的数据处理后经所述A/D模块向所述MEMS谐振式陀螺仪传输控制和反馈信号。本发明实现了数字和模拟混合电路的单片集成。本发明可以广泛应用于MEMS谐振式陀螺仪的测控领域。
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公开(公告)号：CN106767745B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201611127066.2
申请日：2016-12-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种光电传感器测角系统的信号处理方法，包括有高频时钟源、ADC采样脉冲发生器、计数器、ADC电路、第一计数值捕捉电路、第二计数值捕捉电路A6和数字处理单元。数字处理单元根据输入的计数值和计数值，通过时钟同步参考信号恢复算法实现参考正余弦信号的重构，恢复出与整周期脉冲指示信号同相位的参考正弦波和参考余弦波，并通过参考正弦波和参考余弦波通过最小均方误差解调算法实现对ADC采样得到的检测信号的相敏解调，完成光电传感器的角度测量。本发明可以广泛应用于静电陀螺小角度信号测量或通过整周期脉冲指示信号作为参考信号的相敏解调测量的光电传感器测角系统信号处理过程中。
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公开(公告)号：CN109824007A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910097703.3
申请日：2019-01-31
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种用于微机电器件的片上应力隔离结构及其设计方法，其特征在于其包括设置在微机电器件结构和外部支承结构之间的至少一个环形隔离子；每一所述环形隔离子均包括一环形结构和对称设置在所述环形结构两侧的对内、对外两个连接端，所述对外连接端用于与所述外部支承结构相连，所述对内连接端用于与所述微机电器件相连。本发明装置结构简单，能够有效隔离微机电器件及封装壳体之间的应力，可以广泛应用于微机电器件的应力隔离领域。
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