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公开(公告)号：CN101475139A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200910077171.3
申请日：2009-01-19
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了传感器制造技术领域中的一种MEMS水平谐振式磁强计。技术方案是，MEMS水平谐振式磁强计的表头芯片由硅片和玻璃基底组成，硅片通过硅－玻璃阳极键合方式制作在玻璃基底表面；硅片由可动结构和固定结构组成，可动结构包括3个谐振梁和2或4组对称的梳齿电容极板；固定结构包括2或4组固定于玻璃基底的梳齿电容极板；谐振梁上表面制作有SiNx绝缘层；SiNx绝缘层上表面制作有金属导线层；玻璃基底表面制作10个金属极板；金属极板的宽大部分压焊引出10根电容检测导线；金属导线层两侧宽大部分通过压焊引出驱动电流导线。本发明的表头芯片内部结构层次分明，便于加工；并且具有更好的线性度和可扩展性。
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公开(公告)号：CN114817567A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210471066.3
申请日：2022-04-28
Abstract: 本发明公开了分类号共现网络的构建方法、技术机会识别方法和系统，属于技术机会识别领域。采用联合专利分类(CPC)的语义信息和共现信息相结合形成CPC共现网络，再通过图神经网络模型挖掘CPC节点之间隐藏的连接模式，然后预测与代表目标领域的人工节点可能发生连接的CPC节点，最终识别目标领域未来可能出现的技术发展点，为技术发展战略的制定提供一定的决策支持。本发明能够充分结合CPC的语义信息和共现信息挖掘技术之间潜在的关联，丰富的节点特征为模型的学习提供了良好的基础，可以帮助更好地进行技术机会的识别。
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公开(公告)号：CN114780617A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210483086.2
申请日：2022-05-05
Applicant: 中国工程院战略咨询中心 , 华中科技大学 , 清华大学
IPC: G06F16/2458 , G06F16/26 , G06F16/35
Abstract: 本发明公开了一种基于多源数据和主题模型的技术清单生成方法，包括：获取与某个技术领域对应的多个科技文献，对该科技文献进行数据处理，并将处理后的多个科技文献存储在科技文献数据库中，将科技文献数据库中的所有科技文献输入训练好的支持向量机模型SVM中进行技术类别划分，并将技术类别划分结果存储在科技文献数据库中，将科技文献数据库中属于同一技术类别的科技文献合并为一个文档，所有文档形成文档库，对文档库先后进行停用词去除和低频词去除处理，以得到更新后的文档库，使用主题建模算法LDA对更新后的文档库进行主题聚类，以得到所有主题对应的单词分布矩阵。本发明能解决基于专家研判的方法存在的主观性强、成本较大的技术问题。
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公开(公告)号：CN102778232A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210240106.X
申请日：2012-07-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种微惯性测量装置，包括：壳体；顶盖，所述顶盖设在所述壳体的顶端且与所述壳体限定出腔室；主电路板，所述主电路板设在所述腔室内；微惯性测量组合，所述微惯性测量组合设在所述腔室内并与所述主电路板相连，所述微惯性测量组合包括三轴微机械陀螺仪、三轴微机械加速度计和三轴磁强计；和第一和第二双轴微机械加速度计，所述第一和第二双轴微机械加速度计分别设在所述腔室内且分别与所述主电路板相连。根据本发明的微惯性测量装置可用于测量微小飞行器高动态、大过载运动状态下运动参数，并计算出微小飞行器的运动姿态和运动轨迹。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100552855C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200710119273.8
申请日：2007-07-19
Applicant: 清华大学
Abstract: MEMS电磁继电器，属于继电器技术和MEMS技术领域。为解决现有微电磁继电器体积大、功耗高，不能适用微型自动检测仪器及微型航空航天器对小体积、智能化、低功耗电磁继电器的需求，本发明公开了一种MEMS电磁继电器，采用三层结构，自上而下依次是上层硅基底、下层硅基底、永磁体；上层硅基底中空，中间通过两个扭梁支撑一个扭板形成扭摆结构，扭板最下层是活动接触电极；下层硅基底表面的凹槽中设有两个平面螺旋线圈，在两个平面螺旋线圈之上覆盖有绝缘层，绝缘层上设有两对固定接触电极，每对固定接触电极含有两个相互间隔的独立的固定接触电极。本发明可以大规模阵列，并且可以与控制电路集成在同一基底上。
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公开(公告)号：CN114780617B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202210483086.2
申请日：2022-05-05
Applicant: 中国工程院战略咨询中心 , 华中科技大学 , 清华大学
IPC: G06F16/2458 , G06F16/26 , G06F16/35
Abstract: 本发明公开了一种基于多源数据和主题模型的技术清单生成方法，包括：获取与某个技术领域对应的多个科技文献，对该科技文献进行数据处理，并将处理后的多个科技文献存储在科技文献数据库中，将科技文献数据库中的所有科技文献输入训练好的支持向量机模型SVM中进行技术类别划分，并将技术类别划分结果存储在科技文献数据库中，将科技文献数据库中属于同一技术类别的科技文献合并为一个文档，所有文档形成文档库，对文档库先后进行停用词去除和低频词去除处理，以得到更新后的文档库，使用主题建模算法LDA对更新后的文档库进行主题聚类，以得到所有主题对应的单词分布矩阵。本发明能解决基于专家研判的方法存在的主观性强、成本较大的技术问题。
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公开(公告)号：CN108461273A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201810161459.8
申请日：2018-02-27
Applicant: 清华大学
CPC classification number: H01F41/046 , H01F27/24 , H01F27/2804 , H01F27/323 , H01F27/324 , H01F41/122 , H01F41/125 , H01F2027/2809
Abstract: 本发明涉及一种磁芯线圈的制备方法，包括如下步骤：1)制备底层导线；2)制备第一铜立柱层和第一绝缘层，其中第一绝缘层由第一光刻胶直接固化形成；3)制备磁芯导电层；4)制备第二铜立柱层、第二绝缘层、磁芯；5)制备第三铜立柱层、第三绝缘层，其中第三绝缘层由第三光刻胶直接固化形成；6)制备上层导线。本发明提供的磁芯线圈的制造方法，将三维图像分割为相互独立相互联系的二维的层结构，通过将磁芯线圈划分为多个相互独立且相互联系的层结构，通过简单的分层制造能够获得结构复杂的磁芯线圈，不需后续的刻蚀工艺，适合低成本的三维磁感线圈的制作。
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公开(公告)号：CN102307062B
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201110264296.4
申请日：2011-09-07
Applicant: 清华大学
IPC: H04B10/11
Abstract: 本发明公开了属于无线能量传输技术领域的激光谐振耦合无线能量传输装置及方法。它由发射组件和接收组件构成，或者由第1-N发射装置和接收装置构成；激光束在发射端和接收端之间谐振，在空间上将激光束约束在发射端与接收端之间，同时振荡激光束从发射端提取能量然后在接收端释放能量，从而实现能量的无线高效传输。本发明的有益效果为：在空间上将光波场约束在发射端和接收端之间从而提高了能量的传输效率。本发明在近距离自由空间和远距离外层空间能够实现能量的无线高效传输和智能传输。
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公开(公告)号：CN101159202A
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200710119273.8
申请日：2007-07-19
Applicant: 清华大学
Abstract: MEMS电磁继电器，属于继电器技术和MEMS技术领域。为解决现有微电磁继电器体积大、功耗高，不能适用微型自动检测仪器及微型航空航天器对小体积、智能化、低功耗电磁继电器的需求，本发明公开了一种MEMS电磁继电器，采用三层结构，自上而下依次是上层硅基底、下层硅基底、永磁体；上层硅基底中空，中间通过两个扭梁支撑一个扭板形成扭摆结构，扭板最下层是活动接触电极；下层硅基底表面的凹槽中设有两个平面螺旋线圈，在两个平面螺旋线圈之上覆盖有绝缘层，绝缘层上设有两对固定接触电极，每对固定接触电极含有两个相互间隔的独立的固定接触电极。本发明可以大规模阵列，并且可以与控制电路集成在同一基底上。
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