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公开(公告)号：CN103454864B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201310390450.1
申请日：2013-08-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种粗精动一体的磁浮掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括掩膜台、驱动电机和机架；驱动电机为动铁式磁浮平面电机，驱动电机的永磁体阵列和掩膜台连接在一起，组成了该掩膜台系统的动子部分；驱动电机的线圈阵列和机架连接在一起，组成了该掩膜台系统的定子部分；驱动电机可实现该掩膜台系统的六自由度运动，平面光栅尺则作为该掩膜台系统的测量传感器用于掩膜台的位置反馈测量。粗精动一体磁浮掩膜台在减小了掩模台体积的同时既提高了掩模台的速度、加速度和控制带宽，又满足了高运动精度和定位精度的要求，进而提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。
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公开(公告)号：CN105141106A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510587639.9
申请日：2015-09-15
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: H02K44/06
Abstract: 一种三自由度的运动工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本发明含有一个动子、一个定子和一套位置测量系统，定子包含有一个基台、一个盖板和一组线圈阵列；一组线圈阵列设置在基台凹槽内，盖板设置在线圈阵列上部；动子包含有一磁性流体；所述的磁性流体设置在盖板的上表面，在线圈阵列产生的变化的磁场中在盖板上表面沿X方向、Y方向和θz方向做平面三自由运动；盖板上表面做表面疏水处理；所述的一套位置测量系统设置在动子的正上方。磁性流体作为动子可任意聚合或分散，承载物体时还可变换形状增大抓取的摩擦力，具有动子轻巧、灵活多变，结构简单等优点。
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公开(公告)号：CN103543612B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310447559.4
申请日：2013-09-25
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种带真空罩的动铁式无线缆六自由度磁浮运动平台，主要应用于半导体光刻设备中。该磁浮运动平台含有基座、定子、动子、载片台和测量系统；在动子和载片台之间设有三轴陀螺仪、三轴加速度计、电源模块和无线信号输出模块，并将它们集成在一块线路板上；将动子和定子分别设置于一个真空腔中。本发明采用平面光栅尺测量系统来实现高精度测量，并运用无线充电技术和无线信号传输技术，来实现磁浮运动平台的无线缆设计，使磁浮运动平台的运动部分可在水平面内实现大角度的自由旋转，大大提高了工作台的抗干扰能力和控制系统的控制带宽；同时在极紫外光刻时，避免了一些灌封胶释放的一些气体对光刻产生的影响。
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公开(公告)号：CN103454863B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310390448.4
申请日：2013-08-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，该线缆台所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束、一个柔性关节、一个Y方向直线气浮导轨滑块机构、一个X方向直线导轨滑块机构和一个X方向直线电机。所述的线缆台与平面电机动子没有硬连接，在X方向由大行程直线电机负责扫描方向驱动，另外在y方向则为一种直线电机加气浮轴承结构进行导向驱动。线缆台的沿X方向和沿Y方向的大行程测量采用线性光栅，精密测量采用两个光电位置探测器进行测量。该线缆台在沿X轴、沿Y轴和沿Z轴转动的三个自由度设置成自由的连接结构，避免了线缆束对平面电机动子运动的干扰，在满足了高运动精度和定位精度的要求同时，又简化了线缆台结构。
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公开(公告)号：CN104359410A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410720041.8
申请日：2014-12-01
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种利用可旋转光栅测量的位移测量系统，包括激光器、凸透镜、折光元件、光栅、光电转换器、电子信号处理部件；该系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量，位移测量功能不受待测物体绕一个固定方向转动的限制，当光栅相对激光器做平面运动或绕激光光轴转动时，测量系统能够始终输出所需测量方向的位移信息，不受光栅面内平动或转动的影响。该测量系统安装灵活，调整方便，对环境敏感性低、测量信号易于处理，分辨率与精度可达亚纳米甚至更高。该测量系统可以为光刻机超精密工件台进行位置位移测量，提升工件台综合性能，也可应用于精密机床、三坐标测量机、半导体检测设备等的工件台多自由度位移的精密测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103105743B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201310048772.8
申请日：2013-02-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 带平面衍射光栅测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统，该系统包括粗动台、精动台和机架；粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间，实现粗动台的六自由度运动。该掩膜台系统还含有平面衍射光栅传感器测量系统，该测量系统包含六组平面衍射光栅传感器组件，用于测量精动台与基座之间的相对位置，可同时进行三自由度的测量。本发明在调整掩模台姿态的同时既提高了掩模台的速度、加速度和控制带宽，又满足了高运动精度和定位精度的要求，进而提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率，并且测量精度和测量速度也很高，可适应掩模台的高响应速度、高加速度和高运动定位精度。
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公开(公告)号：CN104061864A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410306846.8
申请日：2014-06-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G01B11/04
CPC classification number: G01B11/04
Abstract: 一种基于平面光栅的硅片台大行程运动测量系统，属于超精密测量技术领域。该测量系统包含平面光栅与读数头阵列，平面光栅安装在硅片台动台下表面，读数头阵列安装在定台上。每个读数头能够测量动台两个方向位移，任一时刻平面光栅下方覆盖三个及三个以上的读数头；因此，当硅片台动台进行大行程平面运动时，通过读数头之间的切换，能够实现动台的位移测量。本发明采用二维高精度平面光栅作为测量元件，在硅片台运动区域内布置多个读数头，满足硅片台大行程运动的测量需求；读数头与平面光栅之间测量光路短，环境变化引起的误差较小，同时将平面光栅布置在动台上，避免了测量系统对硅片台运动产生线缆扰动。
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公开(公告)号：CN103760795A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201310750397.1
申请日：2013-12-31
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 张鸣 , 朱煜 , 刘峰 , 支凡 , 刘召 , 胡金春 , 徐登峰 , 成荣 , 杨开明 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华
IPC: G05B19/042
Abstract: 一种基于广播通讯的多通道线圈电流切换装置，包含主控机和多路电子开关，电子开关一端连接驱动器或电源，电子开关另一端连接线圈。多路电子开关接入主控机通讯线路，主控机以广播的方式向所有电子开关发送信号，每个电子开关接收主控机发送的信号，根据该信号做出闭合或者断开动作，从而将线圈接入电路或者从电路中断开。主控机只需一个通讯线路接口，并且向所有电子开关发送同样的信号，降低了主控机的负荷，同时该装置容易扩展，满足不同通道线圈电流切换的需求。
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公开(公告)号：CN103546067A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201310452847.9
申请日：2013-09-25
Applicant: 清华大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种大角度旋转的大行程磁浮运动平台，主要应用于半导体加工制造和检测设备中。该运动平台含有动子、定子、基座和测量系统组成，动子采用二维永磁阵列，定子的线圈阵列采用空心圆柱型线圈；利用三轴陀螺仪、三轴加速度计和电涡流传感器实现六自由度粗测量，利用激光干涉仪进行动子位置的精测量。位于动子上的测量装置信号经数据处理电路，利用无线发射装置传送到控制机，并通过无线接收装置接收控制器指令。与现有技术相比，该磁浮运动平台能能够实现动子绕Z轴的大角度转动，同时也能够实现平面内的大行程运动；采用无线传输技术和无线缆设计，提高了系统抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN103226295A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310152950.1
申请日：2013-04-27
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种光刻机硅片台微动工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本发明包含有基座、微动工作台动子、微动工作台定子、四个第一种洛伦兹电机和四个第二种洛伦兹电机；四个第一种洛伦兹电机布置在微动工作台的四边并关于原点对称，驱动微动台沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转方向运动；四个第二种洛伦兹电机分别布置在X轴和Y轴上，并对称分布在四组第一种洛伦兹电机外侧，驱动微动台沿Z方向、绕X轴旋转方向和绕Y轴旋转方向运动。另外该微动工作台还含有闭合磁路的重力补偿结构。本发明与现有技术相比，具有电机种类少、装配简单、结构紧凑、质心驱动和微动台动子惯量小等特点。
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