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公开(公告)号:CN117837163A
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN202280056066.5
申请日:2022-05-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 信号处理电路包括:从对象信号除去噪声的滤波电路;和控制滤波电路的控制部。滤波电路包括:CMOS开关,其是具有相互不同的沟道型的第一MOSFET和第二MOSFET,包含并联连接的第一MOSFET和第二MOSFET;和电连接至CMOS开关的输出与接地电位之间的电容器。控制部在第一MOSFET为接通状态的第1状态与第一MOSFET为断开状态第二MOSFET为接通状态的第2状态之间切换CMOS开关的状态。第二MOSFET的接通电阻值大于第一MOSFET的接通电阻值。
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公开(公告)号:CN109690777B
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN201780052894.0
申请日:2017-05-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/144 , H04N25/70 , H04N25/76 , G01S7/481 , G01S17/894 , H01L27/146
Abstract: 距离传感器具备硅基板和传送电极。硅基板具备相互相对的第一主面和第二主面。在硅基板的第一主面侧设置有根据入射光产生电荷的电荷产生区域和收集来自电荷产生区域的电荷的电荷收集区域。传送电极在第一主面上配置于电荷产生区域和电荷收集区域之间。传送电极根据输入的信号使电荷从电荷产生区域流入电荷收集区域。在第二主面的至少与电荷产生区域对应的区域形成有多个凸部。多个凸部具有相对于硅基板的厚度方向倾斜的斜面。在凸部中硅基板的(111)面作为斜面露出。凸部的高度为200nm以上。
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公开(公告)号:CN114902418A
公开(公告)日:2022-08-12
申请号:CN202080089284.X
申请日:2020-12-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L31/10 , H01L31/107 , H01L27/144 , H04N5/369 , G01S7/481 , G01S17/89
Abstract: 测距图像传感器包括半导体层和电极层。半导体层和电极层构成多个像素。多个像素各自在半导体层中具有雪崩倍增区域、电荷分配区域、第一电荷传送区域和第二电荷传送区域。多个像素各自在电极层中具有光电栅电极、第一传送栅电极和第二传送栅电极。雪崩倍增区域遍及多个像素地相连,或者到达以将多个像素的各个像素彼此分开的方式形成于半导体层的沟槽。
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公开(公告)号:CN114830632A
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202080086265.1
申请日:2020-11-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H04N5/374 , H04N5/359 , H04N5/3745 , G01S7/4863
Abstract: 在本发明的光检测装置中,控制部执行:第一电荷传送处理,通过以传送栅极电极正下方的区域的电势比电荷产生区域的电势低的方式对传送栅极电极施加电位,从而将在电荷产生区域产生的电荷传送到电荷储存区域;和第一读取处理,读取储存在电荷储存区域的电荷量。控制部,在第一电荷传送处理中,以溢出栅极电极正下方的区域的电势比电荷产生区域的电势低的方式,对溢出栅极电极施加电位。
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公开(公告)号:CN106233157B
公开(公告)日:2018-08-28
申请号:CN201580020107.5
申请日:2015-04-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01S7/486 , G01C3/06 , G01S17/89 , H01L27/146 , H04N5/3745
CPC classification number: G01S17/89 , G01S7/4914 , G01S7/4915 , G01S17/36 , H01L27/14603 , H01L27/14612 , H01L27/14643 , H04N5/3745
Abstract: 在距离图像传感器(RS)中,多个距离传感器(P1~PN)在一维方向上配置。多个距离传感器(P1~PN)包括:光栅电极(PG);在光栅电极(PG)的一方侧配置的第一和第二信号电荷存储区域(FD1、FD2);在另一方侧配置的第三和第四信号电荷存储区域(FD3、FD4);根据第一传送信号(S1)使电荷流入第一和第四信号电荷存储区域(FD1、FD4)的第一传送电极(TX1);根据第二传送信号(S2)使电荷流入第二和第三信号电荷存储区域(FD2、FD3)的第二传送电极(TX2)。
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公开(公告)号:CN116097126A
公开(公告)日:2023-05-09
申请号:CN202180061696.7
申请日:2021-05-20
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01S17/18
Abstract: 本发明的一方面的目的在于提供能够延长测定距离并且能够确保距离精度的距离图像取得装置。本发明的一方面的距离图像取得装置(1)具备通过使用传输栅电极(42、43)向电荷蓄积区域(24、25)传输对应于从光源(2)出射且被对象物(OJ)反射的测定光的入射而在电荷产生区域(36)中产生的电荷,从而检测测定光的测距传感器(10)。电荷产生区域(36)包含产生雪崩倍增的雪崩倍增区域。控制部(4)将测定对象的整个距离范围(70)分割成多个区间(71A~71E),以使光源(2)的测定光的出射时机和传输栅电极(42、43)的电荷的传输时机之间的时间差(TD)在多个区间(71A~71E)之间不同且对多个区间实施测定的方式,控制测距传感器(10),并基于对于多个区间(71A~71E)的测定结果,生成整个距离范围(70)的距离图像。
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公开(公告)号:CN112868108A
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN201980068249.7
申请日:2019-07-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种光检测元件,具备:半导体基板、形成于半导体基板上的第一导电型的光吸收层、形成于光吸收层上的第一导电型的盖层,以及形成于盖层内,与盖层形成pn结的第二导电型的半导体区域。形成于半导体区域的周围的耗尽层,在不向pn结施加反方向偏置的情况下,未达到光吸收层,在向pn结施加20V的反方向偏置的情况下,从盖层侧超过光吸收层的厚度的50%的位置。
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公开(公告)号:CN106461781B
公开(公告)日:2020-04-14
申请号:CN201580030678.7
申请日:2015-05-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01S17/10 , G01S17/894 , H01L27/14 , H01L27/146 , H04N5/369
Abstract: 选择部对应于脉冲光的照射位置,以使信号电荷流入到多个像素中对应于照射位置的像素的第一以及第二信号电荷收集区域(9a,9b)的方式将第一传输信号输出至第一传输电极(TX1)并且将第二传输信号输出至第二传输电极(TX2),以使不要电荷流入到多个像素中对应于照射位置的像素以外的像素的不要电荷排出区域(11)的方式将第三传输信号输出至第三传输电极(TX3)。运算部读出对应于分别被收集于被选择部选择的像素的第一以及第二信号电荷收集区域(9a,9b)的信号电荷的量的信号,根据被收集于第一信号电荷收集区域(9a)的信号电荷的量与被收集于第二信号电荷收集区域(9b)的信号电荷的量的比率运算到对象物为止的距离。
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公开(公告)号:CN106574974B
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201580044913.6
申请日:2015-08-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01S17/10 , G01C3/06 , G01S17/89 , H01L27/146 , H04N5/374 , H04N5/3745
CPC classification number: G01S17/10 , G01C3/06 , G01S7/4914 , G01S7/4915 , G01S17/36 , G01S17/89 , H01L27/14609 , H01L27/14614 , H01L27/14643 , H01L27/14812 , H01L31/1133 , H04N5/374 , H04N5/3765
Abstract: 一种测距方法,是使用了光源(LS)、具有电荷产生区域和第一以及第二电荷存储区域(FD1,FD2)的距离传感器(P(m,n))的测距方法。将产生于电荷产生区域的电荷通过在第一期间(T1)中送到第一电荷存储区域(FD1)而存储于第一电荷存储区域(FD1),通过在第二期间(T2)中送到第二电荷存储区域(FD2)而存储于第二电荷存储区域(FD2)。根据被存储于第一电荷存储区域(FD1)的电荷量(Q1)和被存储于第二电荷存储区域(FD2)的电荷量(Q2),运算到对象物(OJ)为止的距离(d)。在从光源(LS)射出脉冲光(Lp)的时候,从光源(LS)射出预先设定成脉冲光(Lp)的射出期间(TT)中的光强度稳定期间(TS)分别长于第一以及第二期间(T1,T2)的脉冲光(Lp)。
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公开(公告)号:CN106461781A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201580030678.7
申请日:2015-05-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01S17/10 , G01S17/89 , H01L27/14 , H01L27/146 , H04N5/369
Abstract: 选择部对应于脉冲光的照射位置,以使信号电荷流入到多个像素中对应于照射位置的像素的第一以及第二信号电荷收集区域(9a,9b)的方式将第一传输信号输出至第一传输电极(TX1)并且将第二传输信号输出至第二传输电极(TX2),以使不要电荷流入到多个像素中对应于照射位置的像素以外的像素的不要电荷排出区域(11)的方式将第三传输信号输出至第三传输电极(TX3)。运算部读出对应于分别被收集于被选择部选择的像素的第一以及第二信号电荷收集区域(9a,9b)的信号电荷的量的信号,根据被收集于第一信号电荷收集区域(9a)的信号电荷的量与被收集于第二信号电荷收集区域(9b)的信号电荷的量的比率运算到对象物为止的距离。
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