公开(公告)号：CN216528806U

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202123173586.6

申请日：2021-12-16

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 廖周芳 ,  邵树宝 ,  储冬华 ,  李团绪 ,  方周翔

IPC: H01L21/677

Abstract: 本实用新型公开了一种硅片导片机，包括移栽机构、顶升机构及夹持机构，其中，移栽机构包括支撑台及花篮承载件，支撑台上开设有第一顶升口，花篮承载件能够沿前后方向相对运动地设置在支撑台上；顶升机构包括能够沿上下方向穿过第一顶升口运动的承托组件；夹持机构包括分设于支撑台左右两侧的两组夹持件，每组夹持件均能够沿左右方向直线运动地设置，每组夹持件上均开设有多个硅片夹持槽，多个硅片夹持槽沿夹持件的前后方向间隔设置，两组夹持件上的硅片夹持槽的开口朝向相对设置。该硅片导片机能够实现整批硅片的全自动化转移，转移操作简单高效且准确，不易出现硅片破损等问题。

公开(公告)号：CN212216447U

公开(公告)日：2020-12-25

申请号：CN202020635241.4

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 陈利锋 ,  储冬华 ,  赵芹 ,  邵树宝 ,  王福亮 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: B08B3/12 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型揭示了一种组合式清洗设备，包括由上至下按序依次设置的石英清洗槽、塑料支架以及兆声波振动板；所述塑料支架的顶部设置有一清洗槽承载空间，所述石英清洗槽与所述塑料支架二者固定连接且所述石英清洗槽的底部设置于所述清洗槽承载空间内，所述塑料支架的底部与所述兆声波振动板相触接。本实用新型通过将石英清洗槽与兆声波振动板相结合的方式，使得设备在具有水浴清洗功能的同时兼具了兆声波清晰的功能，在满足使用要求的同时提升了设备运行的稳定性、控制了设备的生产成本、减轻了加工企业的负担。

公开(公告)号：CN211719566U

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202020635257.5

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 储冬华 ,  赵芹 ,  邵树宝 ,  王福亮 ,  陈利锋 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/673 ,  H01L21/687

Abstract: 本实用新型揭示了一种清洗机花篮驱动装置，与清洗设备相匹配，包括用于承载待清洗晶圆片的花篮机构，还包括用于带动花篮机构进行圆周方向摇动的晃动机构以及用于带动花篮机构进行垂直方向上整体移动的提升机构；花篮机构的设置位置与清洗设备的化学清洗槽的位置相匹配，花篮机构与晃动机构间传动连接、并通过晃动机构与提升机构间传动连接，提升机构与清洗设备的上隔板固定连接。本实用新型通过良好的机械传动结构，减少了伺服电机的使用，降低了装置局部的材料承载力的要求，在显著提升装置使用过程中的稳定性的同时，还充分地控制了装置整体的生产成本、减轻了加工企业的负担。

公开(公告)号：CN308285699S

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202330227658.6

申请日：2023-04-23

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Designer： 顾其鑫 ,  储冬华 ,  蒋超伟

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：化镀机（直线型）。
2.本外观设计产品的用途：用于给晶圆做化学镀。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
6.A部放大图为俯视图所示A部的放大示意图。

公开(公告)号：CN308278000S

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202330228317.0

申请日：2023-04-23

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Designer： 顾其鑫 ,  储冬华 ,  蒋超伟

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：化镀机(L型)。
2.本外观设计产品的用途：用于给晶圆做化学镀。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。

公开(公告)号：CN307370249S

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202130741087.9

申请日：2021-11-11

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Designer： 储冬华 ,  邵树宝 ,  李团绪 ,  康小锋

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动氟化氢雾腐蚀机。
2.本外观设计产品的用途：用于用氟化氢雾化液喷洗晶圆。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。

公开(公告)号：CN307396483S

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202130741041.7

申请日：2021-11-11

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Designer： 李团绪 ,  邵树宝 ,  康小锋 ,  储冬华

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动晶圆腐蚀机。
2.本外观设计产品的用途：用于对晶圆进行腐蚀、漂洗等处理。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。

公开(公告)号：CN307327449S

公开(公告)日：2022-05-10

申请号：CN202130741051.0

申请日：2021-11-11

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Designer： 康小锋 ,  邵树宝 ,  李团绪 ,  储冬华

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动晶圆清洗机。
2.本外观设计产品的用途：用于清洗晶圆。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。

公开(公告)号：CN307160235S

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202130740810.1

申请日：2021-11-11

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Designer： 邵树宝 ,  康小锋 ,  储冬华 ,  李团绪

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动晶圆化镀机。
2.本外观设计产品的用途：用于给晶圆做化学镀。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
6.外观设计图片中的A、B部分为内装物，不属于请求保护的外观设计内容。