公开(公告)号：CN111524831B

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202010331491.3

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 邵树宝 ,  王福亮 ,  储冬华 ,  陈利锋 ,  赵芹 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  B08B13/00

Abstract: 本发明揭示了一种清洗机花篮运送机构，包括一个用于承载待清洗晶圆片的花篮以及一个用于带动花篮进行圆周方向摆动的驱动组件，还包括用于限制花篮垂直方向行程的垂直限位组件以及用于限制花篮水平方向行程的水平限位组件，水平限位组件与垂直限位组件二者活动连接、花篮与垂直限位组件二者活动连接；在水平限位组件与垂直限位组件二者的配合作用下，花篮在圆周方向的摆动被分解和转化为在水平、垂直两个方向上的移动。本发明通过增加水平和垂直两个方向上的机械限位结构，将摆臂摆动过程中花篮的圆弧运动转化为两个方向上的直线运动，从而改进了机构整体的机械关系，显著地提升了机构使用的稳定性。

公开(公告)号：CN111403322A

公开(公告)日：2020-07-10

申请号：CN202010331526.3

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 邵树宝 ,  王福亮 ,  储冬华 ,  陈利锋 ,  赵芹 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明揭示了一种晶圆片剥离装置，与外部设备框架固定连接，包括整体可活动地设置于外部设备框架上、用于完成晶圆片剥离操作的剥离执行机构以及整体固定连接于外部设备框架上、用于完成晶圆片输送的传输执行机构；剥离执行机构内包括晶圆片吸取组件以及晶圆片翻转组件；在晶圆片吸取组件及晶圆片翻转组件的配合运作下，外部晶圆片承托机构上所承载的晶圆片被逐一剥离、移动至传输执行机构上。本发明通过机械化、自动化的方式，完成了晶圆片加工过程中的晶圆片剥离下料，在满足操作要求的同时提升了操作的效率、节约了人力资源、减轻了加工企业的负担。

公开(公告)号：CN111508873A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN202010332033.1

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 邵树宝 ,  王福亮 ,  储冬华 ,  陈利锋 ,  赵芹 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明揭示了一种晶圆片腐蚀清洗笼，包括笼体框架及驱动组件两部分组成；笼体框架由多块晶圆片隔板及多根开齿连接轴组成，多块晶圆片隔板上均开设有一条相同的滑动限位槽，多块晶圆片隔板间平行设置并连接形成一个整体，其中一根开齿连接轴可活动地按序依次穿设于多块晶圆片隔板上的滑动限位槽内；驱动组件包括至少一组传动齿轮组，每组传动齿轮组均包括一个主动齿轮及多个从动齿轮，每个从动齿轮均固定设置于一根开齿连接轴的端部，主动齿轮与从动齿轮间啮合传动。本发明通过带动晶圆片整体旋转的方式，完成了对晶圆片的腐蚀清洗，整个操作过程中晶圆片与药液接触充分，产品腐蚀均匀，有效避免了产品的二次返工、提升了产品的良率。

公开(公告)号：CN111524831A

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN202010331491.3

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 邵树宝 ,  王福亮 ,  储冬华 ,  陈利锋 ,  赵芹 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  B08B13/00

Abstract: 本发明揭示了一种清洗机花篮运送机构，包括一个用于承载待清洗晶圆片的花篮以及一个用于带动花篮进行圆周方向摆动的驱动组件，还包括用于限制花篮垂直方向行程的垂直限位组件以及用于限制花篮水平方向行程的水平限位组件，水平限位组件与垂直限位组件二者活动连接、花篮与垂直限位组件二者活动连接；在水平限位组件与垂直限位组件二者的配合作用下，花篮在圆周方向的摆动被分解和转化为在水平、垂直两个方向上的移动。本发明通过增加水平和垂直两个方向上的机械限位结构，将摆臂摆动过程中花篮的圆弧运动转化为两个方向上的直线运动，从而改进了机构整体的机械关系，显著地提升了机构使用的稳定性。

公开(公告)号：CN111403322B

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202010331526.3

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 邵树宝 ,  王福亮 ,  储冬华 ,  陈利锋 ,  赵芹 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明揭示了一种晶圆片剥离装置，与外部设备框架固定连接，包括整体可活动地设置于外部设备框架上、用于完成晶圆片剥离操作的剥离执行机构以及整体固定连接于外部设备框架上、用于完成晶圆片输送的传输执行机构；剥离执行机构内包括晶圆片吸取组件以及晶圆片翻转组件；在晶圆片吸取组件及晶圆片翻转组件的配合运作下，外部晶圆片承托机构上所承载的晶圆片被逐一剥离、移动至传输执行机构上。本发明通过机械化、自动化的方式，完成了晶圆片加工过程中的晶圆片剥离下料，在满足操作要求的同时提升了操作的效率、节约了人力资源、减轻了加工企业的负担。

公开(公告)号：CN210566232U

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201921596150.8

申请日：2019-09-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 赵芹 ,  陈利锋 ,  陈素荣 ,  何婷婷 ,  王福亮 ,  何虎

IPC: F16J15/16

Abstract: 本实用新型揭示了一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，包括至少两块挡片，挡片相互层叠设置，位于最内层的挡片与晶圆蚀刻设备的机壳外壁固定连接，每块挡片上均设有条形孔，最内层挡片上的条形孔长度不小于升降杆的移动距离，最外层挡片上的条形孔与升降杆的形状适应设置，各层挡片的长度以及挡片上条形孔的长度在由内至外的方向上依次递减，以使随升降杆上下移动的过程中外层挡片始终完全遮挡相邻内层挡片上的条形孔，最内层的挡片底部还固定设有承托片；除最内层挡片外的所有挡片内侧面上均沿边缘设有磁条，以使相邻的挡片紧贴吸合。本实用新型结构简单，制造成本低，具有占用空间小，无易损件，使用寿命长，运行平稳，安装方便的优点。

公开(公告)号：CN212733309U

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN202020636079.8

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 邵树宝 ,  王福亮 ,  储冬华 ,  陈利锋 ,  赵芹 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: B08B3/08 ,  B08B13/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型揭示了一种硅芯料棒定位夹持机构，包括一根用于构成机构主体的支撑圆管以及至少两个嵌套设置于支撑圆管外周、用于完成对硅芯料棒定位夹持的固定组件；多个固定组件间平行且对称设置；每个固定组件均包括一块卡板主体以及多块可活动地设置于卡板主体周围的活动卡板，卡板主体与活动卡板的边沿位置均开设有卡齿，卡板主体与活动卡板二者上的卡齿成对设置，每对卡齿相咬合形成一个闭合的料棒卡槽，在硅芯料棒的定位夹持状态下、硅芯料棒被限位于料棒卡槽中。本实用新型以间隔式、卡扣式的形式完成了对硅芯料棒的夹持固定，保证了每根硅芯料棒均能够与药液充分接触、腐蚀均匀，有效地提升了加工的良率。

公开(公告)号：CN210546660U

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201921596128.3

申请日：2019-09-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 何婷婷 ,  陈素荣 ,  王福亮 ,  何虎 ,  赵芹 ,  陈利锋

IPC: B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型揭示了一种全自动立式钟罩清洗机，包括机壳，机壳中形成有清洗腔室，机壳中设有上喷淋机构、下喷淋机构，上喷淋机构包括气缸、上夹板、喷淋管，上夹板内部形成有第一混合腔，第一进液管、第一进气管与第一混合腔联通，下喷淋机构包括下夹板和喷淋座，下夹板内部形成有第二混合腔，第二进液管、第二进气管与第二混合腔联通。本实用新型在清洗时通过上、下夹板夹持扁平式钟罩，通过第一、二密封圈密封，喷淋管、喷淋座伸入扁平式钟罩内部喷洗并通过排废管路排废，有效将金层与酸液隔开，金层不易损坏，同时，清洗过程无需手工操作，安全性强，上、下喷淋机构以二流体形式进行酸喷洗、水喷洗，喷洗均匀且范围大、距离远，清洗品质高。

公开(公告)号：CN212216447U

公开(公告)日：2020-12-25

申请号：CN202020635241.4

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 陈利锋 ,  储冬华 ,  赵芹 ,  邵树宝 ,  王福亮 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: B08B3/12 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型揭示了一种组合式清洗设备，包括由上至下按序依次设置的石英清洗槽、塑料支架以及兆声波振动板；所述塑料支架的顶部设置有一清洗槽承载空间，所述石英清洗槽与所述塑料支架二者固定连接且所述石英清洗槽的底部设置于所述清洗槽承载空间内，所述塑料支架的底部与所述兆声波振动板相触接。本实用新型通过将石英清洗槽与兆声波振动板相结合的方式，使得设备在具有水浴清洗功能的同时兼具了兆声波清晰的功能，在满足使用要求的同时提升了设备运行的稳定性、控制了设备的生产成本、减轻了加工企业的负担。

公开(公告)号：CN211719566U

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202020635257.5

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 储冬华 ,  赵芹 ,  邵树宝 ,  王福亮 ,  陈利锋 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/673 ,  H01L21/687

Abstract: 本实用新型揭示了一种清洗机花篮驱动装置，与清洗设备相匹配，包括用于承载待清洗晶圆片的花篮机构，还包括用于带动花篮机构进行圆周方向摇动的晃动机构以及用于带动花篮机构进行垂直方向上整体移动的提升机构；花篮机构的设置位置与清洗设备的化学清洗槽的位置相匹配，花篮机构与晃动机构间传动连接、并通过晃动机构与提升机构间传动连接，提升机构与清洗设备的上隔板固定连接。本实用新型通过良好的机械传动结构，减少了伺服电机的使用，降低了装置局部的材料承载力的要求，在显著提升装置使用过程中的稳定性的同时，还充分地控制了装置整体的生产成本、减轻了加工企业的负担。