公开(公告)号：CN108221019B

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN201711332926.0

申请日：2017-12-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 横山俊夫 ,  向山佳孝 ,  对马拓也

IPC: C25D7/12 ,  C25D17/00 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质。本发明的基板装卸装置是利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板的基板装卸装置，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

公开(公告)号：CN109072475B

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201780019492.0

申请日：2017-03-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 向山佳孝 ,  横山俊夫 ,  山川纯逸 ,  对马拓也 ,  平尾智则 ,  田村翔 ,  大桥弘尭

IPC: C25D17/08 ,  B65G49/02 ,  C25D17/06 ,  H01L21/683 ,  H05K3/18

Abstract: 本发明提供一种可容易进行基板定位的基板保持架及镀覆装置。基板保持架具有：保持基板的基板保持体；及夹着所述基板保持体而保持的第一保持部件及第二保持部件；所述第一保持部件具有：使所述基板的被镀覆面露出的开口部；及以与所述基板的被镀覆面接触的方式而构成的供电部件。

公开(公告)号：CN108221019A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711332926.0

申请日：2017-12-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 横山俊夫 ,  向山佳孝 ,  对马拓也

IPC: C25D7/12 ,  C25D17/00 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/68728 ,  C25D17/001 ,  C25D17/06 ,  H01L21/68764 ,  C25D7/123 ,  C25D17/00

Abstract: 本发明提供基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质。本发明的基板装卸装置是利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板的基板装卸装置，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

公开(公告)号：CN113073374B

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202110007901.3

申请日：2021-01-05

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 横山俊夫 ,  平尾智则 ,  对马拓也 ,  大桥弘尭

IPC: C25D17/00 ,  C25D17/08 ,  C25D7/00 ,  C25D21/12 ,  H05K3/18

Abstract: 本发明提出能够使基板精度良好地定位并保持于基板支架的基板处理装置以及方法。控制配置调整机构，以便基于第一传感器的检测来调整基板的配置，控制第二传感器，以便检测在基于上述第一传感器的检测调整了配置的基板的板面预先形成的特征点，确认通过上述第二传感器检测出的特征点的位置是否处于允许范围，在通过上述第二传感器检测出的特征点的位置处于上述允许范围内的情况下，控制上述配置调整机构，以便基于上述第二传感器的检测来调整上述基板的配置，在基于上述第二传感器的检测调整了上述基板的配置之后，控制上述基板拆装机构，以便将基板安装于上述基板支架。

公开(公告)号：CN111009453B

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN201910898902.4

申请日：2019-09-23

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 对马拓也

IPC: H01J37/32 ,  C23C14/50 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明提供一种能够适合于两面保持器的基板装卸装置及镀敷装置。本发明公开了一种装置，所述装置用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持，基板保持器包括第一框架及第二框架，第一框架及第二框架分别具有开口，装置包括用于在第一框架及第二框架之间夹持基板的基板支持单元，基板支持单元包括下部基板支持件与上部基板支持件，下部基板支持件构成为通过位于下方的框架的开口而与基板接触，上部基板支持件构成为通过位于上方的框架的开口而与基板接触。

公开(公告)号：CN113073374A

公开(公告)日：2021-07-06

申请号：CN202110007901.3

申请日：2021-01-05

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 横山俊夫 ,  平尾智则 ,  对马拓也 ,  大桥弘尭

IPC: C25D17/00 ,  C25D17/08 ,  C25D7/00 ,  C25D21/12 ,  H05K3/18

Abstract: 本发明提出能够使基板精度良好地定位并保持于基板支架的基板处理装置以及方法。控制配置调整机构，以便基于第一传感器的检测来调整基板的配置，控制第二传感器，以便检测在基于上述第一传感器的检测调整了配置的基板的板面预先形成的特征点，确认通过上述第二传感器检测出的特征点的位置是否处于允许范围，在通过上述第二传感器检测出的特征点的位置处于上述允许范围内的情况下，控制上述配置调整机构，以便基于上述第二传感器的检测来调整上述基板的配置，在基于上述第二传感器的检测调整了上述基板的配置之后，控制上述基板拆装机构，以便将基板安装于上述基板支架。

公开(公告)号：CN111009453A

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201910898902.4

申请日：2019-09-23

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 对马拓也

IPC: H01J37/32 ,  C23C14/50 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明提供一种能够适合于两面保持器的基板装卸装置及镀敷装置。本发明公开了一种装置，所述装置用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持，基板保持器包括第一框架及第二框架，第一框架及第二框架分别具有开口，装置包括用于在第一框架及第二框架之间夹持基板的基板支持单元，基板支持单元包括下部基板支持件与上部基板支持件，下部基板支持件构成为通过位于下方的框架的开口而与基板接触，上部基板支持件构成为通过位于上方的框架的开口而与基板接触。