公开(公告)号：CN113035493A

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN202110262091.6

申请日：2016-05-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 大桥知范 ,  茨田敏光 ,  山崎裕延 ,  工藤美沙子 ,  佐藤一树

IPC: H01F7/06 ,  H05H1/16 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明的电磁铁装置具有：在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在槽中的环状的线圈；以及设在线圈的外表面且将线圈相对于磁轭固定的环氧树脂，在磁轭的槽的外周面与设于线圈的径向外侧的环氧树脂之间设有间隙。

公开(公告)号：CN110828335A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201910733030.6

申请日：2019-08-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 佐藤一树 ,  茨田敏光

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供一种进步的基板旋转装置、基板清洗装置、基板处理装置以及基板旋转装置的控制方法。该基板旋转装置具备：外筒；内筒，该内筒定位于外筒的内部；电机，该电机用于使内筒旋转；磁轴承，该磁轴承用于使内筒磁悬浮；以及基板保持部，该基板保持部设置于内筒，电机是径向电机，该径向电机具备：电机定子，该电机定子安装于外筒；以及电机转子，该电机转子安装于内筒，磁轴承是径向磁轴承，该径向磁轴承具备：磁轴承定子，该磁轴承定子安装于外筒；以及磁轴承转子，该磁轴承转子安装于内筒，磁轴承构成为利用磁轴承定子与磁轴承转子之间的引力使内筒磁悬浮。

公开(公告)号：CN107615890A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201680027481.2

申请日：2016-05-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 大桥知范 ,  茨田敏光 ,  山崎裕延 ,  工藤美沙子 ,  佐藤一树

IPC: H05H1/46 ,  C23C14/35 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32669 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/35 ,  G01R19/16528 ,  H01F7/064 ,  H01F7/20 ,  H01F13/006 ,  H01F27/22 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明的电磁铁装置具有：在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在槽中的环状的线圈；以及设在线圈的外表面且将线圈相对于磁轭固定的环氧树脂，在磁轭的槽的外周面与设于线圈的径向外侧的环氧树脂之间设有间隙。

公开(公告)号：CN105587671A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201510749850.6

申请日：2015-11-06

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 佐藤一树 ,  曾布川拓司 ,  茨田敏光 ,  大桥知范 ,  森敏

IPC: F04D13/06 ,  F04D29/66 ,  F04D29/22 ,  F04D29/42 ,  F04D29/02

Abstract: 本发明提供能够不产生输送液的脉动地抑制由滑动部的接触而引起的颗粒的产生的磁悬浮型泵。一种通过磁力使收容于泵壳体内的叶轮(4)上浮的磁悬浮型泵，隔着叶轮(4)而将使叶轮4旋转的电动机(9)和通过磁力支撑叶轮(4)的电磁体(6)相对地配置，将电动机(9)配置在泵壳体的吸入口(13)的相反侧。