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公开(公告)号：CN103250348B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201180059055.4
申请日：2011-12-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 玉崎大辅
CPC classification number: H01L41/053 , H03H9/0222 , H03H9/02574 , H03H9/14541 , H03H9/6483
Abstract: 提供抑制无用波引起的频率特性的降低的弹性表面波装置。弹性表面波装置（1）具备：压电基板（21）、形成于压电基板（21）上的IDT电极（22）、第1电介质层（23）、和第2电介质层24。第1电介质层（23）形成于压电基板（21）上。第1电介质层（23）由氧化硅构成。第2电介质层（24）形成于第1电介质层（23）上。第2电介质层（24）具有高于第1电介质层（23）的声速。弹性表面波装置（1）还具备第3电介质层（25）。第3电介质层（25）形成于第1电介质层（23）和压电基板（21）之间。第3电介质层（25）覆盖压电基板（21）的表面（21a）和IDT电极（22）的上表面（22a）以及侧面（22b、22c）。
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公开(公告)号：CN103250348A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201180059055.4
申请日：2011-12-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 玉崎大辅
CPC classification number: H01L41/053 , H03H9/0222 , H03H9/02574 , H03H9/14541 , H03H9/6483
Abstract: 提供抑制无用波引起的频率特性的降低的弹性表面波装置。弹性表面波装置（1）具备：压电基板（21）、形成于压电基板（21）上的IDT电极（22）、第1电介质层（23）、和第2电介质层24。第1电介质层（23）形成于压电基板（21）上。第1电介质层（23）由氧化硅构成。第2电介质层（24）形成于第1电介质层（23）上。第2电介质层（24）具有高于第1电介质层（23）的声速。弹性表面波装置（1）还具备第3电介质层（25）。第3电介质层（25）形成于第1电介质层（23）和压电基板（21）之间。第3电介质层（25）覆盖压电基板（21）的表面（21a）和IDT电极（22）的上表面（22a）以及侧面（22b、22c）。
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公开(公告)号：CN101939911A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200980104213.6
申请日：2009-01-23
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02897 , H03H9/14541
Abstract: 一种弹性边界波装置(1)，在压电基板(2)的上面(2a)上，形成由第1电介质构成的电介质膜(3)，在电介质膜(3)上形成包含IDT电极的电极(4)，覆盖电极(4)地形成由第2电介质构成的电介质层(15)。可以提高浪涌耐压。
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公开(公告)号：CN1276578C
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN03154388.X
申请日：2003-08-21
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种谐振器型表面波滤波器，它能够变更一直不引起传送特性的变化，而且将电极指的总对数规定为恒定的输出输入阻抗。该谐振器型的表面波滤波器1在压电基片2上形成输入IDT3，输出IDT4，以及第1、第2反射器(5、6)，在将输入IDT的电极指的对数规定为Ni，将输出IDT的电极指的对数规定为No，将输入IDT3和第1反射器5之间的间隙的大小规定为Gri，将输出IDT4和第2反射器6之间的间隙的大小规定为Gro时，为了具有与作为Ni＝No且Gri＝Gro的虚拟的表面波滤波器同等的传送特性，使Ni和No不相同，而且使Gri和Gro不相同。
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公开(公告)号：CN110036564B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201780071170.0
申请日：2017-10-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够进行小型化且能够抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，由LiNbO3构成；IDT电极(3)，设置在压电基板(2)上；以及第一电介质膜(4)，设置在压电基板(2)上，使得覆盖IDT电极(3)，且由氧化硅构成。IDT电极(3)具有由Pt、Cu、Mo、Au、W以及Ta中的一种金属构成的第一金属膜，压电基板(2)的欧拉角(θ，ψ)为欧拉角(0°±5°，‑90°≤θ≤‑70°，0°±5°)，将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，将通过波长λ进行了归一化的第一金属膜的膜厚设为hm/λ(％)，此时，第一金属膜的金属以及膜厚hm/λ(％)为表1所示的任一组合。【表1】
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108292913B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201680069692.2
申请日：2016-12-13
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种能够减小IDT电极的交叉区域中的膜厚的偏差的影响并且能够充分地抑制横模乱真的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：第1质量附加膜(5a)，被设置在第1电介质膜(4)上以使得在俯视的情况下与IDT电极(3)的多根第1以及第2电极指(3a2、3b2)重叠，沿着各第1以及第2电极指(3a2、3b2)延伸的方向延伸，并且被设置于中央区域(A1)；和第2以及第3质量附加膜(5b、5c)，被设置在第1电介质膜(4)上，并且被设置于第1以及第2边缘区域(A2a、A2b)，一部分在俯视的情况下与第1以及第2电极指(3a2、3b2)之中的至少一方重叠。第2以及第3质量附加膜(5b、5c)的沿着弹性波传播方向的尺寸比第1质量附加膜(5a)的沿着弹性波传播方向的尺寸长。
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公开(公告)号：CN110168932A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201780082505.9
申请日：2017-12-11
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种能够在IDT电极内容易且可靠地设置中央区域和边缘区域的声速差的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电性基板(2)上设置有IDT电极(3)以及第一电介质层(6)，IDT电极(3)的第一电极指(3c)和第二电极指(3d)在弹性波传播方向上观察时相互重叠的交叉区域具有：中央区域B；以及第一边缘区域(C)、第二边缘区域(D)，在第一电极指(3c)、第二电极指(3d)延伸的方向上配置在中央区域B的两侧，层叠在第一电介质层(6)上的质量附加膜(7)具有至少两种厚度部分。
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公开(公告)号：CN110036564A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201780071170.0
申请日：2017-10-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够进行小型化且能够抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，由LiNbO3构成；IDT电极(3)，设置在压电基板(2)上；以及第一电介质膜(4)，设置在压电基板(2)上，使得覆盖IDT电极(3)，且由氧化硅构成。IDT电极(3)具有由Pt、Cu、Mo、Au、W以及Ta中的一种金属构成的第一金属膜，压电基板(2)的欧拉角( θ，ψ)为欧拉角(0°±5°，-90°≤θ≤-70°，0°±5°)，将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，将通过波长λ进行了归一化的第一金属膜的膜厚设为hm/λ(％)，此时，第一金属膜的金属以及膜厚hm/λ(％)为表1所示的任一组合。【表1】
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公开(公告)号：CN105284047B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201480030215.6
申请日：2014-05-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供不会招致制造工序的烦杂以及成本的上升、能有效果地压抑横模脉动的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电基板(2)上设置IDT电极(3)，在IDT电极(3)中，在第1、第2电极指(13、14)的至少一方，在比中央区域更靠基端侧以及前端侧当中至少一方侧设置相比于长度方向中央让宽度方向尺寸更大的加宽部(13a～13d、14a～14d)，第1以及第2汇流条(11、12)的至少一方具有沿着汇流条长度方向分散配置的多个开口部(15)，第1以及第2汇流条(11、12)的至少一方具有：内侧汇流条部(11A)，其位于比开口部(15)更靠第1或第2电极指(13、14)侧的位置，在第1以及第2汇流条(11、12)的长度方向上延伸；中央汇流条部(11B)，其设有开口部(15)；和外侧汇流条部(11C)。
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公开(公告)号：CN1204684C
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN03142323.X
申请日：2003-06-13
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/0028 , H03H9/02889 , H03H9/02905 , H03H9/6459
Abstract: 一种表面波装置，表面波装置(1)，在表面波基板(2)上，以构成2段结构的滤波装置的方式形成第1、第2表面波滤波元件(3)、(4)，并通过在连接第1、第2表面波滤波元件(3)、(4)的段间连接部(10)的内部形成贯通孔(10a)，来设置自由表面部分(16)。这种表面波装置，不会导致制造工序的繁琐性以及大型化，并且不容易产生因相邻接的表面波元件间的表面波的传播而导致的特性变坏。
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