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公开(公告)号：CN118624940A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410254578.3
申请日：2024-03-06
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 维莱-佩卡·吕特克宁 , 马蒂·柳库 , 安斯·布卢姆奎斯特
IPC: G01P15/125 , G01P1/00
Abstract: 本申请涉及平面内和平面外加速度计。在一些实施例中，公开了一种微机电加速度计，其包括一个或更多个检测质量块。该加速度计还包括四组定子梳状物，该四组定子梳状物与转子梳状物一起形成一组四个测量电容器。一些转子梳状物具有相对于定子的在装置平面内的方向上的正偏移，而其他转子梳状物具有负偏移。一些转子梳状物具有相对于定子梳状物的在垂直于装置平面的方向上的负偏移。一些定子梳状物具有相对于转子梳状物的在垂直于装置平面的方向上的负偏移。
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公开(公告)号：CN112485470B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202010953106.9
申请日：2020-09-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁 , 汉努·维斯特林
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及低噪声多轴微机电系统加速度计。本发明通过使用较大的单个检测质量块测量沿两个正交轴的加速度提供了一种高精度、低噪声的MEMS加速度计。新颖的电极布置可以被动地防止加速度测量中的跨轴误差。新颖的弹簧布置和新颖的检测质量块布局进一步降低了噪声。
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公开(公告)号：CN108027386B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201680054607.5
申请日：2016-09-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁 , 马蒂·柳库
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , B81C1/00 , B81B3/00 , B81B7/00
Abstract: 本发明涉及一种微机电装置，其包括半挠性敏感质量块，该半挠性敏感质量块包括至少一个一级部分、至少一个二级部分和将半挠性敏感质量块的所述至少一个一级部分和所述至少一个一级部分悬挂的至少一个刚性弹簧。当该装置处于其正常操作范围时，刚性弹簧大致使所述至少一个一级部分和所述至少一个二级部分作为单个刚性实体移动。该装置还包括构造成使所述至少一个一级部分停止的至少一个第一止动器结构。半挠性敏感质量块构造成在该装置受到以超出该装置的正常操作范围的力碰撞该装置的冲击时通过所述至少一个刚性弹簧的偏转而变形。在该冲击引起半挠性敏感质量块至少在沿着运动轴线的一个方向上的运动的同时，所述至少一个刚性弹簧还构造成产生回复力，该回复力使半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分被驱动成在与由冲击引起的沿着运动轴线的运动相反的方向上进行回复运动，其中，所述至少一个二级部分在回复运动中的动量进一步使所述至少一个一级部分与第一止动器结构脱离。
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公开(公告)号：CN105531564A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201480050417.7
申请日：2014-09-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: B81B7/0058 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 提供了一种微机电陀螺仪，该微机电陀螺仪包括被悬挂以形成质量块平面的两个震动质量块。震动质量块被激励而绕在质量块平面内的共同主轴旋转振荡。检测到的角运动引起第一震动质量块绕第一检测轴的旋转振荡以及第二震动质量块绕第二检测轴的旋转振荡。检测轴与质量块平面垂直并且间隔了非零距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118545672A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410208865.0
申请日：2024-02-26
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明涉及MEMS器件和制造MEMS器件的方法。该MEMS器件包括：处理层，包括至少一个腔和至少一个悬挂结构；第一器件层，包括至少一个静态电极；第二器件层，包括可移动地悬挂在第一器件层上方的至少一个感震元件；以及盖层。至少一个感震元件充当至少一个可移动电极，或者至少一个感震元件机械地耦接以与至少一个可移动电极一起移动。处理层、第一器件层、第二器件层和盖层、在处理层与第一器件层之间的第一电绝缘层以及在第一器件层与第二器件层之间的第二电绝缘层被配置成形成壳体，该壳体包括至少一个感震元件、至少一个静态电极和至少一个可移动电极。
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公开(公告)号：CN111578922B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202010095127.1
申请日：2020-02-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01C19/5712
Abstract: 微机电陀螺仪包括围绕第一四个块的组的中心点定中心的第一四个基准质量块的组和围绕第二四个块的组的中心点定中心的第二四个基准质量块的组。陀螺仪包括悬架装置，该悬架装置构造成适应第一四个基准质量块的组和第二四个基准质量块的组的初级振荡运动和次级振荡运动。悬架装置包括第一同步框架和第二同步框架。每个同步框架包围相应的四个基准质量块的组，并且每个基准质量块通过一个或更多个框架悬架弹簧联接至周围的同步框架。陀螺仪还包括侧向同步弹簧，该侧向同步弹簧从第一四个基准质量块的组延伸至第二四个基准质量块的组。
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公开(公告)号：CN111578922A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010095127.1
申请日：2020-02-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01C19/5712
Abstract: 微机电陀螺仪包括围绕第一四个块的组的中心点定中心的第一四个基准质量块的组和围绕第二四个块的组的中心点定中心的第二四个基准质量块的组。陀螺仪包括悬架装置，该悬架装置构造成适应第一四个基准质量块的组和第二四个基准质量块的组的初级振荡运动和次级振荡运动。悬架装置包括第一同步框架和第二同步框架。每个同步框架包围相应的四个基准质量块的组，并且每个基准质量块通过一个或更多个框架悬架弹簧联接至周围的同步框架。陀螺仪还包括侧向同步弹簧，该侧向同步弹簧从第一四个基准质量块的组延伸至第二四个基准质量块的组。
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公开(公告)号：CN105452876A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201480036160.X
申请日：2014-06-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 马蒂·柳库 , 维尔-佩卡·吕特克宁 , 安斯·布卢姆奎斯特
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P15/08
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/00 , G01P15/08 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0837
Abstract: 本发明涉及电容式微机械加速度传感器，其包括第一传感器(2)，第二传感器(4)和第三传感器(5)。第一传感器(2)包括转子电极(6)和定子电极(7)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第一梁(8)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第二梁(12)。第二传感器(4)被定位在由第一梁(8)、第一传感器(2)，和转子电极支承结构(19)限定的第一空间(17)中。第三传感器(5)被定位在由第二梁(12)、第一传感器(2)，和转子电极支承结构(19)限定的第二空间(18)中。
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公开(公告)号：CN111578921B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202010092779.X
申请日：2020-02-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开描述了一种微机电多轴陀螺仪，该微机电多轴陀螺仪包括：四个基准质量块的组、用于从中央锚定点悬置四个基准质量块的组的中央悬架装置。该陀螺仪还包括同步框架和四个检测质量块的组。一个或更多个侧向角弹簧从侧向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块，并且一个或更多个横向角弹簧从横向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块。
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