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公开(公告)号：CN104682913B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201410705282.5
申请日：2014-11-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 丰田祐二
CPC classification number: H03H9/02992 , H03H9/02897 , H03H9/6469
Abstract: 本发明提供一种弹性表面波滤波器，能够降低在下层布线和上层布线之间产生的寄生电容。弹性表面波滤波器具备压电基板(20)、下层布线(60)、上层布线(70)和层间绝缘膜(80)。下层布线(60)被设置于压电基板(20)上。上层布线(70)与下层布线(60)交叉。上层布线(70)的电位与下层布线(60)的电位不同。层间绝缘膜(80)被设置于下层布线(60)和上层布线(70)之间。在沿着下层布线(60)延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜(80)具有如下部分，该部分具有上层布线(70)的宽度W1以下的宽度W2。
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公开(公告)号：CN106165294A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580017712.7
申请日：2015-03-31
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 丰田祐二
CPC classification number: H03H9/02535 , H03H3/08 , H03H9/02992 , H03H9/131 , H03H9/64
Abstract: 声表面波装置具备：压电基板(1)、具有形成在压电基板(1)上的梳齿状的电极指(3)的IDT电极(2)、和与IDT电极(2)连接的布线电极(5)，电极指(3)在与长边方向正交的剖面，下边的线宽以及上边的线宽比该电极指的最大的线宽小。
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公开(公告)号：CN114467256A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080065605.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且能够控制杂散的位置、大小的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电层(2)，包含铌酸锂或钽酸锂；以及至少一对电极(3、4)，在与所述压电层(2)的厚度方向交叉的方向上对置，在将压电层(2)的厚度设为d并将至少一对电极(3、4)的相邻的电极的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，至少一对电极(3、4)具有长度方向，至少一对电极包含：第1电极(3)以及第2电极(4)，在与至少一对电极的长度方向正交的方向上的任意剖面中，剖面形状相互不同。
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公开(公告)号：CN107210729B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201680009761.0
申请日：2016-02-02
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 丰田祐二
IPC: H03H9/25
Abstract: 具备：压电基板(10)其在一方的主面设置激振声表面波的IDT电极(13)；覆盖层(20)，其配置于与该一方的主面对置的位置，覆盖IDT电极(13)；支承构件(30)，其立设于该一方的主面上的IDT电极(13)的周围，在覆盖层(20)与IDT电极(13)分开的状态下支承覆盖层(20)的压电基板(10)侧的面；和接合构件(40)，其设于覆盖层(20)的压电基板(10)侧的面，将覆盖层(20)和支承构件(30)接合，支承构件(30)中的覆盖层(20)侧的端部的至少一部分存在于接合构件(40)内，该一方的主面所对应的法线方向上的接合构件(40)的尺寸小于该法线方向上的支承构件(30)的尺寸。
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公开(公告)号：CN104682913A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410705282.5
申请日：2014-11-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 丰田祐二
CPC classification number: H03H9/02992 , H03H9/02897 , H03H9/6469
Abstract: 本发明提供一种弹性表面波滤波器，能够降低在下层布线和上层布线之间产生的寄生电容。弹性表面波滤波器具备压电基板(20)、下层布线(60)、上层布线(70)和层间绝缘膜(80)。下层布线(60)被设置于压电基板(20)上。上层布线(70)与下层布线(60)交叉。上层布线(70)的电位与下层布线(60)的电位不同。层间绝缘膜(80)被设置于下层布线(60)和上层布线(70)之间。在沿着下层布线(60)延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜(80)具有如下部分，该部分具有上层布线(70)的宽度W1以下的宽度W2。
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公开(公告)号：CN1188902C
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN99122837.5
申请日：1999-11-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L21/28
CPC classification number: H01L28/40 , H01L21/0272 , H01L21/31604 , H05K1/024 , H05K3/048 , Y10S438/951
Abstract: 本发明提供了一种形成介质薄膜图案的方法，包含步骤：通过汽相淀积方法，在其上具有抗蚀图案的基片上淀积介质薄膜，其中将CeO2，Sm2O3，Dy2O3，Y2O3，TiO2，Al2O3和MgO中的至少一种用作介质薄膜的材料；以及去掉抗蚀图案，由此使介质薄膜形成图案。
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公开(公告)号：CN1121710C
公开(公告)日：2003-09-17
申请号：CN99125827.4
申请日：1999-11-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L21/28 , H01L21/768
CPC classification number: H01L21/0274 , H01L21/0272 , H05K3/048
Abstract: 本发明提供了一种形成布线图案的方法，其特征在于包含步骤：在基片上形成具有抑制收缩效应的抗蚀图案；通过烘焙抗蚀图案使气体从抗蚀图案中释放；在基片和抗蚀图案上形成电极材料薄膜，同时将基片的温度保持在低于抗蚀图案的烘焙温度；并通过将抗蚀图案从基片分离，去除抗蚀图案上的电极材料。
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公开(公告)号：CN207939486U
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201820265079.4
申请日：2018-02-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种多工器、发送装置及接收装置，即使在声表面波滤波器的收发端子侧与天线端子侧，特性阻抗不同的情况下，也能减少插入损耗。多工器(1)具备：滤波器(11～14)；共用端子(50)，在与天线元件(2)的连接路径和基准端子之间连接电感元件(31)并且在该连接路径串联连接电容元件(32)；和电感元件(21)，滤波器(11～14)中滤波器(12)的输入端子经由电感元件(21)而与共用端子(50)连接并且与并联谐振器连接，滤波器(11～14)中接收侧滤波器(12)以外的发送侧滤波器(11、13)及接收侧滤波器(14)的输入端子及输出端子之中接近于天线元件(2)的一方的端子与共用端子(50)连接并且与串联谐振器连接。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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