公开(公告)号：CN105593966A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201480053931.6

申请日：2014-10-07

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 青木贤治 ,  斋藤勉 ,  细谷幸太郎 ,  中村光宏 ,  重藤训志

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/292 ,  H01J37/073 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2809

Abstract: 本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。

公开(公告)号：CN104364877B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201380029956.8

申请日：2013-06-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 安藤彻 ,  重藤训志 ,  玉山尚太朗 ,  成田祐介

IPC: H01J37/20 ,  G09G5/00 ,  G09G5/36 ,  G09G5/377 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/2809

Abstract: 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。