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公开(公告)号：CN104520965A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380041332.8
申请日：2013-07-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/16 , H01J2237/20 , H01J2237/2003 , H01J2237/20235 , H01J2237/20292 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608
Abstract: 现有的带电粒子束装置都是为了大气压下或与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而专门制造的装置，而不存在使用通常的高真空型带电粒子显微镜能够简便地进行大气压下或与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且，在现有技术的方法中，没有控制隔膜与试样的距离的方法，存在隔膜破损的可能性高的问题。因此，本发明的特征在于具备：可拆卸的隔膜，其将放置了试样的空间隔离，以便保持放置了试样的空间的压力大于所述壳体内部的压力，并使一次带电粒子束透射或通过；接触防止部件，其防止试样与隔膜接触；以及调整机构，其可使接触防止部件的至少一部分在带电粒子光学镜筒的光轴方向上移动。
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公开(公告)号：CN104246965A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380020619.2
申请日：2013-04-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0245 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/162 , H01J2237/164 , H01J2237/2003 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605
Abstract: 带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设置于内插壳体(30)的上表面的开口部。并且，利用检测器(16)检测在一次带电粒子束(12)向配置于第二光圈构件(31)的下表面侧的试料(60)照射时放出的二次带电粒子。
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公开(公告)号：CN102473577A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080031156.6
申请日：2010-07-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , F16F15/04 , H01J37/16 , H01J2237/0216
Abstract: 本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。
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公开(公告)号：CN301357025S
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201030140309.3
申请日：2010-03-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：电子显微镜。2.本外观设计产品的用途：本产品是将投射像显示在另外一体的显示装置上，并提供试样的放大图像的扫描式电子显微镜。3.本外观设计的设计要点：立体图所示的形状。4.指定图：立体图。5.参考图3中，G-开关盖，H-试样放置部，I-电源灯，J-显示部，K-主电源开关，L-电源开关。参考图3中所示的电源灯和显示部由透光性材料构成。
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公开(公告)号：CN301368239S
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201030140308.9
申请日：2010-03-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：电子显微镜用试样台。2.本外观设计产品的用途：本产品是用于观察试样的放大图像的电子显微镜的试样台。当使用时，从电子显微镜主体向前面侧拉出本产品，并将试样安放在试样支架上，然后将本产品返回电子显微镜主体，利用电子显微镜进行试样的观察。3.本外观设计的设计要点：立体图所示的形状。4.指定图：立体图。5.在参考图1中，G-试样支架，H-试样放置台，I-滑动轨道，J-把手，K-操作旋钮。6.在参考图2中，L-本产品，M-电子显微镜主体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN302889245S
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201430044442.7
申请日：2014-03-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电子显微镜用薄膜支架的基座。2．本外观设计产品的用途：例如在电子显微镜中，本产品安装在电子光学镜筒和放置在非真空空间的试料之间进行使用，本产品的薄膜支持部件的安装部装有用于支持薄膜的另外的薄膜支持部。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。5．在参考图1中，B-薄膜支持部件的安装部，C-基座。在参考图2中，D-电子光学镜筒，E-电子显微镜筐体，F-检出器，G-隔板部，H-非真空空间，I-薄膜支持部，J-试料台，K-试料，L-本外观设计产品，M-减压空间。
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公开(公告)号：CN301352681S
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201030140305.5
申请日：2010-03-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：电子显微镜。2.本外观设计产品的用途：本产品是将投射像显示在另外一体的显示装置上，并提供试样的放大图像的扫描式电子显微镜。3.本外观设计的设计要点：立体图所示的形状。4.指定图：立体图。5.参考图3中，G-开关盖，H-把手，I-试样放置部，J-操作旋钮，K-电源灯，L-显示部，M-主电源开关，N-电源开关。参考图3中所示的电源灯和显示部由透光性材料构成。
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公开(公告)号：CN302889244S
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201430044360.2
申请日：2014-03-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电子显微镜用薄膜支架。2．本外观设计产品的用途：例如在电子显微镜中，本产品安装在电子光学镜筒和放置在非真空空间的试料之间进行使用，用于支持安装在本产品的薄膜支持部的薄膜。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。5．在参考图1中，B-薄膜支持部，C-基座。在参考图2中，D-电子光学镜筒，E-电子显微镜筐体，F-检出器，G-隔板部，H-非真空空间，I-薄膜支持部，J-试料台，K-试料，L-本外观设计产品，M-减压空间。
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公开(公告)号：CN301236284S
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200930209689.9
申请日：2009-09-17
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品是一种小型扫描型电子显微镜。为了观察样品的放大图像，将样品承载部向使用者一方拉出，将样品放置在样品承载部上后，将样品承载部返回并进行真空排气，进一步通过设置在样品承载部上的操作旋钮来指定放大的倍率和样品的观察位置，放大的图像将显示在其它显示装置上。2.在表示各部名称参考图中的显示部是透光性材料。
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公开(公告)号：CN301352682S
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201030140306.X
申请日：2010-03-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：电子显微镜。2.本外观设计产品的用途：本产品是将投射像显示在另外一体的显示装置上，并提供试样的放大图像的扫描式电子显微镜。3.本外观设计的设计要点：立体图所示的形状。4.指定图：立体图。5.参考图3中，G-开关盖，H-把手，I-试样放置部，J-操作旋钮，K-主电源开关，L-电源开关，M-电源灯。参考图3中所示的电源灯由透光性材料构成。
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