公开(公告)号：CN104584180A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201380043744.5

申请日：2013-07-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 佐久间宪之 ,  大南佑介

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明提供带电粒子线装置用部件、带电粒子线装置以及隔膜部件。带电粒子线装置(1c)所使用的带电粒子线装置用部件(56)具有安装于框体(3c)的框体(55)以及设置于框体(55)的隔膜元件(18a)。在隔膜元件(18a)形成有隔膜(19)，在被框体(3c)与框体(55)划分的真空室(4a)的内部的压力相比外部的压力相被减压了的状态下，该隔膜(19)对真空室(4a)的内部与外部气密地进行隔离并且供带电粒子线透射。另外，在隔膜元件(18a)以位于比隔膜(19)更靠试样工作台(22)侧的方式形成有防止试样(12)与隔膜(19)接触的缓冲膜(33)。

公开(公告)号：CN104520967A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201380041386.4

申请日：2013-07-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  佐久间宪之 ,  河西晋佐 ,  安岛雅彦 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2605

Abstract: 在现有的带电粒子线装置中，由于以在隔膜和试样接近的状态检测信号为前提，所以，不是适合在大气压或者与大气压几乎相等的压力的气体环境下观察如非常有凹凸的试样等的装置结构。因此，本发明提供一种带电粒子线装置，具备以将载置试样的空间与带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，使一次带电粒子线透过或通过的能装卸的隔膜的带电粒子线装置，其特征在于，检测由一次带电粒子线的照射而从试样放出的二次粒子的检测器配置于载置上述试样的空间内。