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公开(公告)号:CN118103994A
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202280068589.1
申请日:2022-10-12
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: H01L29/786 , G02F1/1368 , H01L21/28 , H01L21/336 , H01L21/363 , H01L21/66 , H01L29/417
Abstract: 一种晶体氧化物薄膜,是以I n为主成分的晶体氧化物薄膜,在晶体氧化物薄膜的面方向上,具有由扫描型扩展电阻显微镜(SSRM)测量的扩展电阻值不同的低电阻区域A与高电阻区域B,高电阻区域B的扩展电阻值为低电阻区域A的扩展电阻值的8倍以上。
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公开(公告)号:CN116240630A
公开(公告)日:2023-06-09
申请号:CN202310249208.6
申请日:2019-08-01
Applicant: 出光兴产株式会社
Abstract: 本发明涉及一种晶体结构化合物A,以下述组成式(2)表示,在利用下述(A)~(K)所规定的X射线(Cu‑Kα射线)衍射测量观测到的入射角(2θ)的范围内具有衍射峰。(InxGayAlz)2O3....(2)(式(2)中,0.47≤x≤0.53,0.17≤y≤0.43,0.07≤z≤0.33,x+y+z=1。)31°~34°…(A)、36°~39°…(B)、30°~32°…(C)、51°~53°…(D)、53°~56°…(E)、62°~66°…(F)、9°~11°…(G)、19°~21°…(H)、42°~45°…(I)、8°~10°…(J)、17°~19°…(K)。
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公开(公告)号:CN112512974A
公开(公告)日:2021-03-16
申请号:CN201980050314.3
申请日:2019-08-01
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C01G15/00 , C04B35/01 , C30B29/22 , H01L21/363
Abstract: 本发明涉及一种化合物,由铟元素(In)、镓元素(Ga)、铝元素(Al)以及氧元素(O)形成,晶格常数为α=111.70±0.50°,β=107.70±0.50°以及γ=90.00±0.50°,晶系呈现出三斜晶系。
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公开(公告)号:CN108475702A
公开(公告)日:2018-08-31
申请号:CN201680075286.7
申请日:2016-12-26
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: H01L29/872 , H01L21/28 , H01L29/47
CPC classification number: H01L21/28 , H01L29/47 , H01L29/872
Abstract: 一种层叠体,其中,依次具有基板、选自接触电阻降低层和还原抑制层中的1层以上的层、肖特基电极层和金属氧化物半导体层。
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公开(公告)号:CN118871403A
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202380027316.7
申请日:2023-03-07
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C04B35/01 , C23C14/34 , H01L21/203 , H01L21/363 , H01L27/146 , H01L29/66 , H01L29/786
Abstract: 一种烧结体,其为包含In元素、Ga元素及Al元素的氧化物的烧结体,所述In元素及所述Al元素的原子组成比满足下述式(1)及下述式(2):[In]/([In]+[Ga]+[Al])>0.70....(1);[Al]/([In]+[Ga]+[Al])>0.01....(2)。
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公开(公告)号:CN112512991B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN201980050258.3
申请日:2019-08-01
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C04B35/01 , C01G15/00 , C23C14/08 , C23C14/34 , H01L29/786
Abstract: 本发明涉及一种晶体结构化合物A,以下述组成式(2)表示,在利用下述(A)~(K)所规定的X射线(Cu‑Kα射线)衍射测量观测到的入射角(2θ)的范围内具有衍射峰。(InxGayAlz)2O3····(2)(式(2)中,0.47≤x≤0.53,0.17≤y≤0.43,0.07≤z≤0.33,x+y+z=1。)31°~34°…(A)、36°~39°…(B)、30°~32°…(C)、51°~53°…(D)、53°~56°…(E)、62°~66°…(F)、9°~11°…(G)、19°~21°…(H)、42°~45°…(I)、8°~10°…(J)、17°~19°…(K)。
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公开(公告)号:CN113614276A
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN202080023273.1
申请日:2020-03-26
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C23C14/08 , C30B29/22 , H01L29/786
Abstract: 本发明涉及一种晶体氧化物薄膜,其包含In元素、Ga元素以及Ln元素,In元素为主成分,Ln元素是从La、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb以及Lu构成的组中选择的一种以上的元素,平均晶体粒径D1为0.05μm以上、0.5μm以下。
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公开(公告)号:CN108369964B
公开(公告)日:2021-09-10
申请号:CN201680074847.1
申请日:2016-12-26
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: H01L29/872 , H01L21/28 , H01L29/47 , H01L29/861 , H01L29/868
Abstract: 一种层叠体,其中,依次具有基板、欧姆电极层、金属氧化物半导体层、肖特基电极层和缓冲电极层,在上述肖特基电极层与上述缓冲电极层之间具有还原抑制层。
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公开(公告)号:CN113195434A
公开(公告)日:2021-07-30
申请号:CN201980085191.7
申请日:2019-12-26
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C04B35/01 , C23C14/34 , H01L21/363
Abstract: 本发明涉及一种烧结体,是含有In元素、Ga元素以及Ln元素的烧结体,包含:由In2O3表示的方铁锰矿结构的第1氧化物;含有In元素、Ga元素以及Ln元素的石榴石结构的第2氧化物;和满足由下述(1)、(2)以及(3)表示的原子组成比的范围的第3氧化物,Ln元素是选自La、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb以及Lu构成的组中的一种以上的元素。0.3≤In/(In+Ga+Ln)≤0.7…(1)0.3≤Ga/(In+Ga+Ln)≤0.7…(2)0≤Ln/(In+Ga+Ln)<0.05…(3)。
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公开(公告)号:CN108431963A
公开(公告)日:2018-08-21
申请号:CN201680074791.X
申请日:2016-12-21
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: H01L29/872 , H01L29/24 , H01L29/47
Abstract: 一种半导体元件1,其特征在于,其具有:分隔开的一对欧姆电极20和肖特基电极10;以及,与上述欧姆电极20和上述肖特基电极10接触的半导体层30,所述半导体元件满足下述式(I)(式中,n为上述半导体层的载流子浓度(cm-3)、ε为上述半导体层的介电常数(F/cm)、Ve为上述欧姆电极与上述肖特基电极之间的正向有效电压(V)、q为基本电荷(C)、L为上述欧姆电极与上述肖特基电极之间的距离(cm))。
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