细胞电生理测量装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101031793A

    公开(公告)日:2007-09-05

    申请号:CN200680000889.7

    申请日:2006-05-31

    CPC classification number: G01N33/48728

    Abstract: 本发明的细胞电生理测量装置(1)包括薄板(7)和壳体(6),薄板包括第一面(3a)和第二面,且形成有在第一面(3a)侧开口的凹部(8)和在第二面侧开口的贯通孔(9),壳体(6)与第二面侧的薄板(7)的薄板外周部(4b)接触,进而,薄板(7)具有第一面(3a)侧由第一材料层(3)构成,且第二面侧由第二材料层(4)构成的至少两层的层叠结构,壳体(6)由第三材料层(5)构成。通过具有这样的结构,薄板(7)不易发生破裂等的损伤,可得到生产率优异的细胞电生理测量装置(1)。

    角速度传感器
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1545611A

    公开(公告)日:2004-11-10

    申请号:CN03800846.7

    申请日:2003-06-05

    CPC classification number: G01C19/5663 G01C19/5628

    Abstract: 提供一种抑制振动体的驱动共振频率的波动,提高对外加角速度的检测信号的灵敏度的可靠性的角速度传感器。该角速度传感器具有振动体,作为该振动体的音叉,用以面方位(100)为主面的硅基板形成,与该音叉的臂的驱动方向(X方向)大致正交的侧面,成为弹性模量对方位角的依赖性小的面方位。

    细胞电生理传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN101080635B

    公开(公告)日:2012-04-11

    申请号:CN200680000629.X

    申请日:2006-05-22

    CPC classification number: G01N33/48728

    Abstract: 细胞电生理传感器包括具有含第一表面和与第一表面相反的第二表面的隔板的传感器芯片,用以形成设置于隔板的第一表面上的第一区域的组件,以及用以形成设置于隔板的第二表面上的第二区域的组件。隔板上设置有通孔,通孔具有朝向第一表面开口的第一开口部,朝向第二表面开口的第二开口部和壁。第一区域接触通孔的第一开口部。第一区域设置以容纳细胞悬浊液。隔板的第一表面的碳原子比率不大于第一表面的组成的15原子百分比。细胞电生理传感器使得细胞紧密地容纳在隔板中的通孔的第一开口部中,从而高效的检测细胞的电位。

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