公开(公告)号：CN101863015A

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN201010188559.3

申请日：2007-06-15

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 末吉智 ,  田中谦太郎 ,  松尾智弘

IPC: B25J9/06 ,  B25J18/00 ,  B25J19/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J9/042 ,  B25J18/04 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种防止上下移动轴的灰尘产生所引起的基板的污染，同时提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人，具备：载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上对向的多关节臂；对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件；及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座，所述移动机构在与所述手部的移动方向相同的方向上配置在支柱上，配置于所述移动机构的支撑构件在与所述手部的移动方向正交的方向上突出，与所述多关节臂连接。

公开(公告)号：CN101844359A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010188567.8

申请日：2007-06-15

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 末吉智 ,  田中谦太郎 ,  松尾智弘

IPC: B25J19/00 ,  B25J9/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J9/042 ,  B25J18/04 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种防止上下移动轴的灰尘产生所引起的基板的污染，同时提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人，具备：载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上对向的多关节臂；对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件；及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座，所述移动机构在与所述手部的移动方向相同的方向上配置在支柱上，配置于所述移动机构的支撑构件在与所述手部的移动方向正交的方向上突出，与所述多关节臂连接。

公开(公告)号：CN101360589A

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200780001478.4

申请日：2007-06-15

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 末吉智 ,  田中谦太郎 ,  松尾智弘

IPC: B25J19/00 ,  B25J9/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J9/042 ,  B25J18/04 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种防止上下移动轴的灰尘产生所引起的基板的污染，同时提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人，具备：载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上对向的多关节臂；对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件；及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座，所述移动机构在与所述手部的移动方向相同的方向上配置在支柱上，配置于所述移动机构的支撑构件在与所述手部的移动方向正交的方向上突出，与所述多关节臂连接。

公开(公告)号：CN105246657B

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201380076884.2

申请日：2013-07-04

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 斋藤洋 ,  一番濑敦 ,  田中谦太郎

IPC: B25J17/00

Abstract: 以确保驱动体内的中空区域并实现小体积化的情况为课题。为了解决上述课题，实施方式的一方案的机器人(1)具有驱动体(24)，驱动体(24)具备对被驱动体(25、26)进行驱动的驱动装置(28)。驱动装置(28)具备多个中空轴(283、284)、驱动部(281、282)。多个中空轴(283、284)同心配置。驱动部(281、282)沿着中空轴(283、284)的周向配置多个。而且，驱动部(281、282)的输出轴(O1、O2)经由齿轮而与中空轴(283、284)中的任一个连结。

公开(公告)号：CN102825598B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201210080406.6

申请日：2012-03-23

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 田中谦太郎 ,  津久田浩二 ,  末吉智

IPC: B25J9/06 ,  B25J15/08 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67766 ,  B25J5/02 ,  B25J9/042 ,  B25J9/047

Abstract: 本发明涉及一种搬运机器人，该搬运机器人包括回转基座、支柱、第一升降臂、第二升降臂和水平臂单元。所述回转基座包括基部和延伸部，所述基部绕竖直轴线回转，所述延伸部沿一个水平方向从所述基部延伸。所述支柱从所述延伸部的前端竖直地延伸。所述第一升降臂和所述第二升降臂被设置成绕水平轴线旋转。所述水平臂单元支撑在所述第二升降臂的所述前端部上，以绕水平轴线旋转。

公开(公告)号：CN105229340A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201380076545.4

申请日：2013-06-18

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 原田修 ,  一番濑敦 ,  田中谦太郎 ,  堤真吾 ,  斋藤洋

IPC: F16H25/20

CPC classification number: B25J9/101 ,  F16H25/2015

Abstract: 提供一种旋转机构及机器人，其具备采用机械结构制动器机构，并且能够实现紧凑化。旋转机构具备驱动轴、轴体、螺纹部、一组固定部件、以及可动部件。驱动轴对被驱动体进行旋转驱动。轴体与驱动轴联动，螺纹部设置于轴体。一组固定部件隔着规定间隔安装于螺纹部。可动部件以被止转的状态安装在一组固定部件之间，并伴随着轴体的旋转而在螺纹部上进退，可动部件与固定部件抵接而限制驱动轴的旋转。

公开(公告)号：CN105228799A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201380076695.5

申请日：2013-06-26

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 斋藤洋 ,  一番濑敦 ,  田中谦太郎

IPC: B25J19/00

CPC classification number: B25J9/101

Abstract: 本发明提供一种能够将旋转体的可动范围限制在任意的范围的制动器机构、关节机构、以及机器人。制动器机构具备固定体、销体、销体导向件、以及制动体。旋转体绕轴旋转，固定体与旋转体配设成同轴。销体移动自如地设置于旋转体或者固定体中的任一一者。销体导向件伴随着旋转体的旋转，能够使销体沿径向移动。制动体设置于旋转体或者固定体中的任一另一者，并与移动了规定距离的销体抵接而限制旋转体的旋转。

公开(公告)号：CN101863015B

公开(公告)日：2012-02-15

申请号：CN201010188559.3

申请日：2007-06-15

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 末吉智 ,  田中谦太郎 ,  松尾智弘

IPC: B25J9/06 ,  B25J18/00 ,  B25J19/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J9/042 ,  B25J18/04 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种防止上下移动轴的灰尘产生所引起的基板的污染，同时提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人，具备：载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上对向的多关节臂；对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件；及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座，所述移动机构在与所述手部的移动方向相同的方向上配置在支柱上，配置于所述移动机构的支撑构件在与所述手部的移动方向正交的方向上突出，与所述多关节臂连接。

公开(公告)号：CN101471274B

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200810176589.5

申请日：2008-12-25

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 田中谦太郎 ,  末吉智

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种基板搬运系统及利用其的半导体制造装置，其防尘效果高，即使成为多个臂部也可以对应。其为，具备：在支撑装载基板的臂部的同时，通过设置在支柱外面的直线状开口部连接在设置于所述支柱内的导向机构，并按照所述导向机构在所述开口部的开口移动的支撑构件；及封闭所述开口部并隔离所述支柱的内部与外部的密封皮带，构成为即使所述支撑构件由于所述导向机构而移动，所述支柱的内部也由于所述密封皮带而不暴露于外部，所述密封皮带的两端固定在所述支柱内部的同时，卷装在可转动地支撑于所述支撑构件的滚轮上，并张架成封闭所述开口部。

公开(公告)号：CN101484281A

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：CN200780025598.8

申请日：2007-06-15

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 末吉智 ,  田中谦太郎 ,  松尾智弘

IPC: B25J19/00 ,  B25J9/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J19/0029 ,  B25J9/042 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种提高了生产效率将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人(1)，具备：载置搬运物的手部(8)；与所述手部(8)连接，具备至少2个以上的旋转关节(3)、(4)、(5)，使所述手部(8)向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上相对的多关节臂(1)；对所述多关节臂(1)和上下移动的移动机构(11)进行连接的支撑构件(10)；及安装于所述移动机构(11)具有旋转功能的台座(13)，其为，在至少一个所述旋转关节(3)、(4)、(5)的旋转中心具有中空连接孔(23)。