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公开(公告)号：CN115711691B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202211399694.1
申请日：2022-11-09
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明提供了一种抗惯性干扰的多力信号MEMS传感器及其制作方法。本发明采用电容式测量原理，即通过改变电容极板对之间的间距来改变电容值，从而反映力信号的大小，包括中央凸台，可动主板，Z轴极板，内部梳齿，外部梳齿，外部梳齿上电极，U型梁，外围固定梁，外围固定梁上电极。本发明将原本应为固定梳齿的结构改为了位于外部的可动的梳齿，这样使得惯性作用到来时，内部梳齿和外部梳齿共同发生位移，大大减小了导致干扰信号产生的相对位移，从而实现了抗惯性干扰的功能。另外外部梳齿的厚度大于内部梳齿的厚度，Z轴极板的面积大于玻璃板上电极的面积，这使得传感器在能够实现六轴力、力矩信号检测的同时，可以实现各个信号之间的解耦。
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公开(公告)号：CN116458846A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310407624.4
申请日：2023-04-17
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: A61B5/00 , A61B5/145 , A61M37/00 , A61K9/00 , A61K47/38 , A61K47/32 , A61K47/36 , A61K31/27 , A61K31/4178 , A61P43/00
Abstract: 本发明属于功能贴片技术领域，具体涉及一种柔性可穿戴汗液贴片，包括自下而上依次叠设的微针层、电极层、绝缘层、柔性电路层、贴片外壳，微针层的底部具有可溶性微针，可溶性微针内包覆有刺激汗液分泌的药物；所述微针层上具有位于可溶性微针背部的进汗孔，进汗孔贯通微针层以与电极层连通；所述电极层具有检测电极，用于对汗液进行检测；所述电极层的电极贯穿绝缘层的导线孔与柔性电路层电连接。本发明的柔性可穿戴汗液贴片，通过深入皮下，微针分解融化后，药物会被释放刺激汗液产生，进而通过检测电极进行汗液生理参数的检测。
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公开(公告)号：CN116358764A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310117132.1
申请日：2023-02-15
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器，包括玻璃衬底及其上表面的固定电极、悬于玻璃衬底上方的器件层。玻璃衬底上表面的固定电极包括固定叉指铝电极、固定金属电极、电极连接线和自检测引出电极。悬于玻璃衬底上方的器件层包括器件锚点、四根L型压电驱动梁、静电吸合模块、敏感驱动台和电容式三轴力传感器。固定金属电极与电容式三轴力传感器中心质量块对应放置，静电吸合模块位于压电驱动梁和敏感驱动台之间。本发明抑制交叉轴串扰的问题，实现交叉轴以及法向三轴驱动，实现交叉轴驱动电容的实时检测，并通过调整静电吸合模块实现力检测模式和校准模式的切换。
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公开(公告)号：CN115290229A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210921968.2
申请日：2022-08-02
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯基高灵敏柔性多功能传感器及其制备方法。该传感器包括温度传感器层、电容式压力传感器微结构介电层、湿度传感器层和PDMS封装层。温度传感器层位于最底层，PDMS封装层位于顶层，电容式压力传感器微结构介电层在温度传感器层与湿度传感器层之间。湿度传感器银电极、电容式压力传感器微结构介电层和温度传感器银电极在垂直方向上对齐叠加构成4个不同检测范围的电容式压力传感器。本发明结构布局合理、安全可靠、高度柔性化、穿戴舒适、灵敏度高、阵列单元之间低串扰、制备工艺简单、开发成本低、被测环境信号参数相互之间无耦合、无需复杂算法进行信号解耦。
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公开(公告)号：CN112852923A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110146584.3
申请日：2021-02-03
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: C12Q1/682 , C12Q1/6837
Abstract: 本发明属于信号放大技术领域，具体涉及一种基于DNA生物传感器的二级放大方法，包括以下步骤：S1、将传感器表面依次用无水乙醇、去离子水冲洗并干燥，并进行氧等离子体处理，以实现对芯片表面硅烷化处理，形成末端氨基；S2、将探针DNA修饰到硅纳米线芯片上，以制得DNA生物传感器；S3、将ctDNA溶液滴加至DNA生物传感器表面进行杂交；S4、制得表面修饰有信号DNA的金纳米颗粒；S5、将金纳米颗粒加入到硅纳米线芯片上，以实现一级放大；S6、加入RCA引物和模板DNA，添加RCA缓冲液，以使金纳米颗粒上的引物DNA滚环扩增，以实现二级放大；本发明的DNA生物传感器能够用于信号二次放大，进一步提高传感器的检测限和灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112577642A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011421329.7
申请日：2020-12-08
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种精准定位受力、灵敏度可调的柔性触觉传感器。本发明包括PDMS柔性衬底、石墨烯电极、PDMS微结构介电层。结构上分为上中下层，上层是PDMS与图案化石墨烯电极混合层，中层是由浇筑于微结构硅模具中成型的PDMS微结构介电层，下层的结构、材料与上层相同，空间上是由上层翻转后水平面旋转90°。本发明主要采用PDMS材料和石墨烯材料构成，在衬底与电介质材料上统一选用PDMS材料可最大程度上保证传感器的柔性弯曲与拉伸特性，可安装在具有不同弧度的机械手上，又基于其可实现精准受力定位的特点，可安装在鞋垫等通过受力区域捕捉、分析人体生理信号的位置。
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公开(公告)号：CN109811307B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201910003576.6
申请日：2019-01-03
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种二维材料纳米带或微米带的制备方法，采用化学气相沉积法，把ST‑X切型石英作为二维材料生长的基底，二维材料在基底表面成核之后的生长受到基底各向异性的作用，最终生长成排列整齐且取向一致的纳米带或微米带。本发明所采用的基于各向异性基底的化学气相沉积法，具有低成本、装置简易、易操作、可控性好等特点；通过使用高真空热蒸发镀膜设备在源载体上预先蒸镀指定厚度三氧化钨，有效避免了直接使用三氧化钨粉末作钨源而导致的钨源空间分布不均匀情况的发生；本发明所制备的二维材料纳米带或微米带，晶畴取向可控且一致、整齐排列且覆盖率广，可用于自旋电子器件的开发及研究等。
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公开(公告)号：CN109811307A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910003576.6
申请日：2019-01-03
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种二维材料纳米带或微米带的制备方法，采用化学气相沉积法，把ST-X切型石英作为二维材料生长的基底，二维材料在基底表面成核之后的生长受到基底各向异性的作用，最终生长成排列整齐且取向一致的纳米带或微米带。本发明所采用的基于各向异性基底的化学气相沉积法，具有低成本、装置简易、易操作、可控性好等特点；通过使用高真空热蒸发镀膜设备在源载体上预先蒸镀指定厚度三氧化钨，有效避免了直接使用三氧化钨粉末作钨源而导致的钨源空间分布不均匀情况的发生；本发明所制备的二维材料纳米带或微米带，晶畴取向可控且一致、整齐排列且覆盖率广，可用于自旋电子器件的开发及研究等。
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公开(公告)号：CN119063883A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411007352.X
申请日：2024-07-25
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明涉及一种基于倾斜长方体结构的双电容式柔性触觉传感器，其连接块正面的轴线的左半部分分布若干第一微圆柱形孔，右侧面分布若干第二微圆柱形孔；第一介电层由若干等间距平行排列的斜长方体构成的第一倾斜介质与连接于第一倾斜介质底部的第一介质薄膜组成，且第一倾斜介质纵向倾斜；第二介电层由若干等间距平行排列的斜长方体构成的第二倾斜介质与连接于第二倾斜介质底部的第二介质薄膜组成，且第二倾斜介质横向倾斜，第一上极板、第一介电层和第一下极板组成第一电容器，第二上极板、第二介电层和第二下极板组成第二电容器。本发明通过较少数量的电容单元实现对三维微小力的检测，并且具有较高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN111312593B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN201911124277.4
申请日：2019-11-15
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种基于二维单层过渡金属硫族化合物明、暗激子的调控方法，包括如下步骤：(1)采用化学气相沉积法在基底上生长二维单层过渡金属硫族化合物；(2)采用机械剥离法制备二维铁磁金属Cr2C；(3)通过对准转移平台，将二维铁磁金属，对准转移到二维单层过渡金属硫族化合物上，通过对准转移时的角度控制，制备得到不同堆垛方式的二维单层过渡金属硫族化合物－二维铁磁金属异质结构，以实现圆偏振光对二维单层过渡金属硫族化合物中明、暗激子的调控和选择。本发明可以通过二维铁磁金属材料Cr2C－二维单层过渡金属硫族化合物异质结的不同堆垛方式，实现圆偏振光对明、暗激子的调控和选择。
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