公开(公告)号：CN1493020A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：CN02805512.8

申请日：2002-01-31

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 金子勇 ,  冈田伸治 ,  川口泰秀 ,  武部洋子 ,  儿玉俊一

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0392 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  Y10S430/114 ,  Y10S430/146 ,  Y10T428/3154

Abstract: 提供了可形成对放射线的透明度和干蚀刻性优异、且灵敏度、析像度、平坦性、耐热性等优异的保护膜图形的化学放大型保护膜组合物。该保护膜组合物的特征是，它是具有以式(1)表示的含氟二烯的环化聚合重复单元的含氟聚合物，且包含Q中具有嵌段化酸性基团的含氟聚合物(A)、受光照射而产生酸的产酸化合物(B)及有机溶剂(C)，CF2＝CR1－Q－CR2＝CH2……(1)式中，R1、R2分别独立地表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基，Q为2价的有机基，且表示具有通过酸能够显现为酸性基团的嵌段化酸性基团或能转换成该嵌段化酸性基团的基团的有机基。

公开(公告)号：CN103038860B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201080068331.9

申请日：2010-08-04

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 藤江彩子 ,  川口泰秀 ,  中山史子

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F220/28

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08F220/18 ,  C08F220/22 ,  C08F220/28 ,  C08F2220/1833 ,  C08F2220/286 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033

Abstract: 提供能够形成环境特性、脱模性优异的固化物、氟表面活性剂与其它成分的相溶性优异的光固化性组合物、以及能够制造表面具有模的相反图案被精密地转印而得的微细图案且表面的组成均匀的成形体的方法。一种光固化性组合物，是以具有1个以上（甲基）丙烯酰氧基的化合物为主成分的压印用光固化性组合物，含有以下聚合物（D）。含有CH2=C（R11）-C（O）O-Q-Rf单元20～45质量%、CH2=C（R21）-C（O）O-（CH2CH（R22）O）n-H（数均分子量350以下）单元20～65质量%和CH2=C（R31）-C（O）O-R32单元5～40质量%、质均分子量1000～5000的聚合物（D）。R11、R21、R31=氢原子、甲基、Q=2价的连接基团等、Rf=碳数1～6的多氟烷基等、R22=氢原子等、n=3～6、R32=碳数2～15的脂肪族烃基。

公开(公告)号：CN102245663B

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN200980149797.9

申请日：2009-12-15

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 野本英男 ,  川口泰秀 ,  笹仓英史

IPC: C08F292/00 ,  C08F2/44 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F2/44 ,  C08F292/00 ,  Y10S977/773 ,  Y10S977/778 ,  Y10T428/2995 ,  Y10T428/31678 ,  Y10T428/31855 ,  C08F220/26

Abstract: 本发明提供能形成高透明性且高折射率的固化物的光固化性材料、能简便制造该材料的方法以及高透明性且高折射率的物品。使用的光固化性材料通过具有以下工序的制造方法而得到：(i)使由1种以上的具有(甲基)丙烯酰氧基的化合物(a)构成的聚合性成分(A)与具有巯基和羧基的化合物(B)进行反应，得到末端具有来自所述化合物(B)的羧基的表面修饰剂(C)的工序；(ii)用所述表面修饰剂(C)修饰无机微粒(D)的表面，得到经表面修饰的无机微粒(E)的工序；(iii)得到含有所述经表面修饰的无机微粒(E)、聚合性成分(F)和光聚合引发剂(G)的光固化性材料的工序，所述聚合性成分(F)由1种以上的具有(甲基)丙烯酰氧基的化合物(f)构成。

公开(公告)号：CN102239197A

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN200980149004.3

申请日：2009-11-30

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 川口泰秀

IPC: C08F290/06 ,  B29C59/02 ,  C08G18/67 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08L33/24 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08G18/672 ,  C08L33/06 ,  C08L2205/02 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/027 ,  C08L2666/04 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明提供可获得同时兼具脱模性和柔软性的固化物的光固化性组合物以及可制造表面具有精密地转印模具的反转图案而得的微细图案的柔软的成形体的方法。本发明使用光固化性组合物(20)，该光固化性组合物(20)包含：化合物(A)，该化合物(A)具有2个以上的氨基甲酸酯键，具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基，且质均分子量小于2000；化合物(B)，该化合物(B)具有氟原子，且具有1个以上的碳-碳不饱和双键；化合物(C)，该化合物(C)具有1个(甲基)丙烯酰氧基；光聚合引发剂(D)；含氟表面活性剂(E)；(A)～(E)的总量(100质量％)中，(A)为10～50质量％，(B)为5～35质量％，(C)为15～75质量％，(D)为1～12质量％，(E)为0.1～5质量％。

公开(公告)号：CN101495292A

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200780028598.3

申请日：2007-06-11

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 川口泰秀 ,  浅川昭彦 ,  野中史子

IPC: B29C59/04 ,  B29C33/38 ,  B29C43/46

CPC classification number: B29C43/46 ,  B29C33/3857 ,  B29C33/68 ,  B29C43/06 ,  B29C43/222 ,  B29C59/021 ,  B29C59/10 ,  B29C59/14 ,  B29C59/16 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2043/463 ,  B29K2027/12

Abstract: 本发明提供可制造在包含含氟聚合物的图案层上无接缝的圆筒状或圆柱状的模具的方法。该方法是制造具有圆筒状或圆柱状的基材12和包含含氟聚合物且表面形成有图案的图案层的模具的方法，其特征在于，包括形成覆盖基材12的外周面侧的包含含氟聚合物的膜32，获得模具前体30的工序；将模具前体30的外周面按压在经过加热的原始模具40的具有与图案层的图案对应的倒置图案的表面，并在这一状态下使模具前体30旋转，将原始模具40的倒置图案转印于包含含氟聚合物的膜32而形成图案层的工序。

公开(公告)号：CN1896039A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200610100399.6

申请日：2003-08-21

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 儿玉俊一 ,  金子勇 ,  横小路修 ,  冈田伸治 ,  武部洋子 ,  川口泰秀

IPC: C07C33/14 ,  C07C33/16 ,  C07C33/02

CPC classification number: C08F36/20 ,  C08F36/16 ,  C08F214/18 ,  C08F2/60

Abstract: 本发明提供了含氟化合物，其特征在于，由式(3)表示，CF2＝CFCF2C(CF3)(OR9)－CH2－CR10＝CH2(3)式中，R9表示氢原子、可具有醚系氧原子或环状脂肪族烃基的碳原子数小于等于10的烷基或碳原子数小于等于6的烷氧基羰基；R10表示环状脂肪族烃基。

公开(公告)号：CN1286867C

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN03819683.2

申请日：2003-08-21

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 儿玉俊一 ,  金子勇 ,  横小路修 ,  冈田伸治 ,  武部洋子 ,  川口泰秀

IPC: C08F36/20 ,  C07C21/19 ,  C07C22/00 ,  C07C23/00

CPC classification number: C08F36/20 ,  C08F36/16 ,  C08F214/18 ,  C08F2/60

Abstract: 本发明提供了官能团浓度高、可获得充分的官能团特性、且Tg不会下降的含氟聚合物。该聚合物是具有通过式(1)CFR1＝CR2-Q-CR3＝CHR4-(1)表示的含官能团的含氟二烯的环化聚合而形成的单体单元的含氟聚合物。式中，R1～R4互相独立，表示氢原子、氟原子、碳原子数小于等于8的烷基或环状脂肪族烃基，其中至少1个为环状脂肪族烃基，烷基及环状脂肪族烃基中的氢原子可被氟原子、烷基或氟烷基取代；Q表示2价有机基团，该基团是具有通过酸可显现酸性基的嵌段化酸性基或可转变为该嵌段化酸性基的基团的有机基团。

公开(公告)号：CN1711504A

公开(公告)日：2005-12-21

申请号：CN200380102724.7

申请日：2003-11-06

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 川口泰秀 ,  金子勇 ,  武部洋子 ,  冈田伸治 ,  横小路修

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  C08F16/02 ,  C08F16/24 ,  C08F8/02

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F14/18 ,  C08F36/16 ,  G03C1/492 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392

Abstract: 提供抗蚀组合物，该组合物易形成抗蚀图案，对F2激基缔合物(excimer)激光等真空紫外线透明性、干蚀刻性能优良，且感光度、析像度、平坦性、耐热性等也良好。该抗蚀组合物的特征在于包括含氟聚合物(A)、受光照射产生酸的产酸化合物(B)以及有机溶剂(C)，该含氟聚合物(A)含有一个被保护基保护的酸性基，该保护基含有环烷基、有一个或多个环烷基的有机基、双环烷基等。

公开(公告)号：CN104170057A

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201380016027.3

申请日：2013-04-08

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 高山公介 ,  坂本宽 ,  海田由里子 ,  冈田伸治 ,  川口泰秀

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C59/022 ,  B29C59/16 ,  B29K2063/00 ,  B29K2909/08 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0752 ,  H01L21/3086

Abstract: 本发明提供一种能够抑制具有微细图案的固化树脂层的剥离，并且能够抑制因涂布光固化性树脂组合物时的排拒而产生的固化树脂层的缺陷的表面具有微细图案的物品的制造方法。本发明的方法包括：(a)将硅烷偶联剂的溶液涂布在基材(12)的表面，形成底涂层(14)的工序；(b)将光固化性树脂组合物涂布在底涂层(14)的表面，形成光固化性树脂层(18)的工序；(c)在表面具有微细图案(20)的反转图案的模具(30)与底涂层(14)之间夹着光固化性树脂层(18)的状态下照射光，制成固化树脂层(16)的工序；以及(d)从固化树脂层(16)分离模具(30)，得到物品(10)的工序；硅烷偶联剂的溶液包含具有(甲基)丙烯酰氧基的硅烷偶联剂和具有环氧基的硅烷偶联剂。

公开(公告)号：CN102027026B

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN200980118452.7

申请日：2009-05-13

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 川口泰秀

IPC: C08F220/20 ,  B29C59/02 ,  C08J5/00 ,  H01L21/027 ,  B29K27/12 ,  B29L11/00

CPC classification number: G03F7/027 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08F222/1006 ,  C08J3/28 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0005 ,  G03F7/0046 ,  Y10T428/24802 ,  C08F220/18 ,  C08F220/24

Abstract: 本发明提供可获得兼具脱模性及高折射率的固化物的光固化性组合物，以及可制造表面具有模具的反转图案被精确地转印的精细图案的高折射率的成形体的方法。该光固化性组合物包含61～90质量％的固化前的波长589nm处的折射率在1.55以上且具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物(A)、2～15质量％的含氟原子且具有1个以上的碳—碳不饱和双键的化合物(B)(但化合物(A)除外)、5～35质量％的具有1个(甲基)丙烯酰氧基的化合物(C)(但化合物(B)除外)及1～12质量％的光聚合引发剂(D)((A)+(B)+(C)+(D)＝100质量％)。