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公开(公告)号：CN1493020A
公开(公告)日：2004-04-28
申请号：CN02805512.8
申请日：2002-01-31
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , Y10S430/114 , Y10S430/146 , Y10T428/3154
Abstract: 提供了可形成对放射线的透明度和干蚀刻性优异、且灵敏度、析像度、平坦性、耐热性等优异的保护膜图形的化学放大型保护膜组合物。该保护膜组合物的特征是，它是具有以式(1)表示的含氟二烯的环化聚合重复单元的含氟聚合物，且包含Q中具有嵌段化酸性基团的含氟聚合物(A)、受光照射而产生酸的产酸化合物(B)及有机溶剂(C)，CF2＝CR1－Q－CR2＝CH2……(1)式中，R1、R2分别独立地表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基，Q为2价的有机基，且表示具有通过酸能够显现为酸性基团的嵌段化酸性基团或能转换成该嵌段化酸性基团的基团的有机基。
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公开(公告)号：CN102812059A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180014589.5
申请日：2011-04-06
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 儿玉俊一
IPC: C08F214/18 , C08F8/04
CPC classification number: C08F216/06 , C08F8/12 , C08F214/247 , C08F214/262 , C08F214/267 , C08F216/1416 , C08F216/18 , C08F2800/10 , C08F2810/50 , C08F214/26 , C08F216/165 , C08F216/14 , C08F214/24
Abstract: 本发明的目的是提供一种生产性足够高、耐热性优良、因着色导致的品质低劣得到抑制的含氟烯烃/乙烯醇共聚物的制造方法，以及通过该制造方法得到的含氟烯烃/乙烯醇共聚物。本发明包括一种含氟烯烃/乙烯醇共聚物的制造方法，其包括：使特定的含氟烯烃和乙烯醇的羟基的氢原子被可脱保护的保护基取代了的乙烯基醚共聚的聚合工序；将通过所述聚合工序而得的共聚物中的基于所述乙烯基醚的聚合单元的所述保护基取代成氢原子，从而生成羟基的脱保护工序。本发明还包括通过所述制造方法而得的含氟烯烃/乙烯醇共聚物。
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公开(公告)号：CN1896039A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200610100399.6
申请日：2003-08-21
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C08F36/20 , C08F36/16 , C08F214/18 , C08F2/60
Abstract: 本发明提供了含氟化合物，其特征在于，由式(3)表示，CF2＝CFCF2C(CF3)(OR9)－CH2－CR10＝CH2(3)式中，R9表示氢原子、可具有醚系氧原子或环状脂肪族烃基的碳原子数小于等于10的烷基或碳原子数小于等于6的烷氧基羰基；R10表示环状脂肪族烃基。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1286867C
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN03819683.2
申请日：2003-08-21
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C08F36/20 , C08F36/16 , C08F214/18 , C08F2/60
Abstract: 本发明提供了官能团浓度高、可获得充分的官能团特性、且Tg不会下降的含氟聚合物。该聚合物是具有通过式(1)CFR1＝CR2-Q-CR3＝CHR4-(1)表示的含官能团的含氟二烯的环化聚合而形成的单体单元的含氟聚合物。式中，R1～R4互相独立，表示氢原子、氟原子、碳原子数小于等于8的烷基或环状脂肪族烃基，其中至少1个为环状脂肪族烃基，烷基及环状脂肪族烃基中的氢原子可被氟原子、烷基或氟烷基取代；Q表示2价有机基团，该基团是具有通过酸可显现酸性基的嵌段化酸性基或可转变为该嵌段化酸性基的基团的有机基团。
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公开(公告)号：CN104725546A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201510069566.4
申请日：2011-04-06
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 儿玉俊一
IPC: C08F214/26 , C08F214/24 , C08F216/18 , C08F216/14 , C08F8/12
CPC classification number: C08F216/06 , C08F8/12 , C08F214/247 , C08F214/262 , C08F214/267 , C08F216/1416 , C08F216/18 , C08F2800/10 , C08F2810/50 , C08F214/26 , C08F216/165 , C08F216/14 , C08F214/24
Abstract: 本发明提供一种含氟烯烃/乙烯醇共聚物，其特征在于，下式(1)表示的含氟烯烃和乙烯醇的交替共聚比例在95％以上；CF2＝CFX (1)所述式中，X为氟原子、氯原子、三氟甲基或-OCaF2a+1，其中a为1～3的整数。
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公开(公告)号：CN102812059B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201180014589.5
申请日：2011-04-06
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 儿玉俊一
IPC: C08F214/18 , C08F8/04
CPC classification number: C08F216/06 , C08F8/12 , C08F214/247 , C08F214/262 , C08F214/267 , C08F216/1416 , C08F216/18 , C08F2800/10 , C08F2810/50 , C08F214/26 , C08F216/165 , C08F216/14 , C08F214/24
Abstract: 本发明的目的是提供一种生产性足够高、耐热性优良、因着色导致的品质低劣得到抑制的含氟烯烃/乙烯醇共聚物的制造方法，以及通过该制造方法得到的含氟烯烃/乙烯醇共聚物。本发明包括一种含氟烯烃/乙烯醇共聚物的制造方法，其包括：使特定的含氟烯烃和乙烯醇的羟基的氢原子被可脱保护的保护基取代了的乙烯基醚共聚的聚合工序；将通过所述聚合工序而得的共聚物中的基于所述乙烯基醚的聚合单元的所述保护基取代成氢原子，从而生成羟基的脱保护工序。本发明还包括通过所述制造方法而得的含氟烯烃/乙烯醇共聚物。
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公开(公告)号：CN1221861C
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN02805512.8
申请日：2002-01-31
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , Y10S430/114 , Y10S430/146 , Y10T428/3154
Abstract: 提供了可形成对放射线的透明度和干蚀刻性优异、且灵敏度、析像度、平坦性、耐热性等优异的光致抗蚀剂图案的化学放大型光致抗蚀剂组合物。该光致抗蚀剂组合物的特征是，它包含：含氟聚合物(A)、受光照射而产生酸的产酸化合物(B)、及有机溶剂(C)，所述的含氟聚合物(A)是具有以式(1)表示的含氟二烯的环化聚合重复单元的含氟聚合物，且Q中具有嵌段化酸性基团，CF2＝CR1-Q-CR2＝CH2……(1)式中，R1、R2分别独立地表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基，Q为2价的有机基，且表示具有通过酸能够显现为酸性基团的嵌段化酸性基团或能转换成该嵌段化酸性基团的基团的有机基。
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公开(公告)号：CN1675268A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN03819683.2
申请日：2003-08-21
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C08F36/20
CPC classification number: C08F36/20 , C08F36/16 , C08F214/18 , C08F2/60
Abstract: 本发明提供了官能团浓度高、可获得充分的官能团特性、且Tg不会下降的含氟聚合物。该聚合物是具有通过式(1)（如图）表示的含官能团的含氟二烯的环化聚合而形成的单体单元的含氟聚合物。式中，R1～R4互相独立，表示氢原子、氟原子、碳原子数小于等于8的烷基或环状脂肪族烃基，其中至少1个为环状脂肪族烃基，烷基及环状脂肪族烃基中的氢原子可被氟原子、烷基或氟烷基取代；Q表示2价有机基团，该基团是具有通过酸可显现酸性基的嵌段化酸性基或可转变为该嵌段化酸性基的基团的有机基团。
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