保护膜组合物
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1493020A

    公开(公告)日:2004-04-28

    申请号:CN02805512.8

    申请日:2002-01-31

    Abstract: 提供了可形成对放射线的透明度和干蚀刻性优异、且灵敏度、析像度、平坦性、耐热性等优异的保护膜图形的化学放大型保护膜组合物。该保护膜组合物的特征是,它是具有以式(1)表示的含氟二烯的环化聚合重复单元的含氟聚合物,且包含Q中具有嵌段化酸性基团的含氟聚合物(A)、受光照射而产生酸的产酸化合物(B)及有机溶剂(C),CF2=CR1-Q-CR2=CH2……(1)式中,R1、R2分别独立地表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基,Q为2价的有机基,且表示具有通过酸能够显现为酸性基团的嵌段化酸性基团或能转换成该嵌段化酸性基团的基团的有机基。

    碱金属氢氧化物的生产方法及此法所用的电解槽

    公开(公告)号:CN86108477A

    公开(公告)日:1987-07-29

    申请号:CN86108477

    申请日:1986-12-13

    CPC classification number: C08J5/2281 C25B1/46

    Abstract: 一种在有阳极室和阴极室的电解槽中进行电解的方法。此方法包括对阳极室供以碱金属氯化物水溶液、对阴极室供以水或碱金属氢氧化物稀水溶液。其中有一阳离子交换膜,此膜由厚度5微米的含-SO3M基的全氟化碳聚合物构成最外层,第二层是含-CO2M基的全氟化碳聚合物。在45重量%的NaOH溶液中,第二层的水含量为2~7%(重量),厚度至少为5微米。第一层的水含量高于第二层,放置交换膜时以其第一层面对阴极室。

    含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法以及含该聚合物的抗蚀组合物

    公开(公告)号:CN1826358A

    公开(公告)日:2006-08-30

    申请号:CN200480021330.3

    申请日:2004-07-29

    Abstract: 本发明提供具有官能团、在宽广的波长区域中具有高透明性的含氟聚合物和由该含氟聚合物构成的抗蚀用组合物。具有下述式(1)所表示的含氟二烯聚合的单体单元的含氟聚合物(A)、其制造方法以及以含氟聚合物(A)为基础的抗蚀组合物。CF2=CFCH2CH-Q-CH2CH=CH2…(1)式中,Q表示(CH2)aC(CF3)2OR4(a为0~3的整数,R4表示可以具有醚性氧原子的碳原子数小于等于20的烷基、含氟烷基、碳原子数小于等于6的烷氧羰基或者CH2R5(R5为碳原子数小于等于6的烷氧羰基))或者(CH2)dCOOR6(d为0或1,R6为氢原子或碳原子数小于等于20的烷基或者含氟烷基)。

    含氟磺酰氟化物的制造方法

    公开(公告)号:CN1212314C

    公开(公告)日:2005-07-27

    申请号:CN01819641.1

    申请日:2001-11-28

    CPC classification number: C07C309/82 C07C51/60 C07C303/22 C07C59/135

    Abstract: 本发明提供一种能够解决制造上的困难性、以高效率低成本、无结构限制地制造可用作离子交换膜原料等的含氟磺酰氟化物的制造方法。即,本发明是一种使XSO2RA-E1(1)和RB-E2(2)反应得到XSO2RA-E-RB(3),然后使(3)在液相中与氟反应生成FSO2RAF-EF-RBF(4),再分解该化合物,得到FSO2RAF-EF1(5)的方法。RA表示2价有机基团,E1表示1价反应性基团,RB表示1价有机基团,E2表示能与E1反应的1价反应性基团,E表示通过E1和E2反应而形成的2价连接基团,RAF表示RA经氟化而形成的2价有机基团等,RBF表示与RB相同的基团等,EF表示由E氟化而形成的2价连接基团等,EF1表示由EF分解而形成的1价基团,X表示卤原子。

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