公开(公告)号：CN103038860B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201080068331.9

申请日：2010-08-04

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 藤江彩子 ,  川口泰秀 ,  中山史子

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F220/28

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08F220/18 ,  C08F220/22 ,  C08F220/28 ,  C08F2220/1833 ,  C08F2220/286 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033

Abstract: 提供能够形成环境特性、脱模性优异的固化物、氟表面活性剂与其它成分的相溶性优异的光固化性组合物、以及能够制造表面具有模的相反图案被精密地转印而得的微细图案且表面的组成均匀的成形体的方法。一种光固化性组合物，是以具有1个以上（甲基）丙烯酰氧基的化合物为主成分的压印用光固化性组合物，含有以下聚合物（D）。含有CH2=C（R11）-C（O）O-Q-Rf单元20～45质量%、CH2=C（R21）-C（O）O-（CH2CH（R22）O）n-H（数均分子量350以下）单元20～65质量%和CH2=C（R31）-C（O）O-R32单元5～40质量%、质均分子量1000～5000的聚合物（D）。R11、R21、R31=氢原子、甲基、Q=2价的连接基团等、Rf=碳数1～6的多氟烷基等、R22=氢原子等、n=3～6、R32=碳数2～15的脂肪族烃基。

公开(公告)号：CN103038860A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201080068331.9

申请日：2010-08-04

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 藤江彩子 ,  川口泰秀 ,  中山史子

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F220/28

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08F220/18 ,  C08F220/22 ,  C08F220/28 ,  C08F2220/1833 ,  C08F2220/286 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033

Abstract: 本发明提供能够形成环境特性、脱模性优异的固化物、氟表面活性剂与其它成分的相溶性优异的光固化性组合物、以及能够制造表面具有模的相反图案被精密地转印而得的微细图案且表面的组成均匀的成形体的方法。一种光固化性组合物，是以具有一个以上（甲基）丙烯酰氧基的化合物为主成分的压印用光固化性组合物，含有以下聚合物（D）。含有CH2=C（R11）-C（O）O-Q-Rf单元20～45质量%、CH2=C（R21）-C（O）O-（CH2CH（R22）O）n-H（数均分子量350以下）单元20～65质量%和CH2=C（R31）-C（O）O-R32单元5～40质量%、质均分子量1000～5000的聚合物（D）。R11、R21、R31=氢原子、甲基、Q=2价的连接基团等、Rf=碳数1～6的多氟烷基等、R22=氢原子等、n=3～6、R32=碳数2～15的脂肪族烃基。