线栅型偏振片及其制造方法

    公开(公告)号:CN102713697A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201080045518.7

    申请日:2010-10-07

    CPC classification number: G02B5/3058

    Abstract: 本发明提供偏光度及p偏振光透过率较高、背面s偏振光反射率较低的线栅型偏振片及其制造方法。该线栅型偏振片(10)包括透光性基板(14)和第1金属层(20),在该透光性基板(14)上形成有多个从底部朝向顶部宽度逐渐变窄的凸条(12),该凸条(12)隔着形成在该凸条(12)之间的平坦部(13)相互平行且隔开规定的间距地形成在该透光性基板(14)的表面上,该第1金属层(20)由覆盖凸条(12)的侧面的金属构成,从凸条(12)的二分之一高度的位置至底部的覆盖厚度的最大值小于从凸条(12)的二分之一高度的位置至顶部(19)的覆盖厚度的最大值;该线栅型偏振片的制造方法如下:从与第1侧面(16)一侧形成满足的角度的方向蒸镀金属,接着从形成满足的角度的方向蒸镀金属,从而形成第1金属层(20)。

    线栅型偏振器的制造方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101981478B

    公开(公告)日:2012-11-07

    申请号:CN200980112453.0

    申请日:2009-04-06

    CPC classification number: G02B5/3058 G02F1/133536 G02F2001/133548

    Abstract: 本发明提供可容易地制造在可见光范围内显示出高偏振光分离能力且提高了短波长范围的透射率的线栅型偏振器的方法。通过满足条件(A)~(F)的蒸镀法在表面形成有多条凸条(12)的透光性基板(14)上形成基底层(22)、第一金属细线(24)和第二金属细线(30)。(A)从成角度θL的方向对凸条(12)的上表面(16)和第一侧面(18)蒸镀基底层材料;(B)从与条件(A)相反的成角度θR的方向对第一基底层(22a)的上表面和第二侧面(20)蒸镀基底层材料;(C)θL、θR为60°~90°;(D)基底层(22)的高度Hma1为1~20nm;(E)对基底层(22)的上表面和沟(26)的底面(28)蒸镀金属或金属化合物;(F)第一金属细线(24)的高度Hma2和凸条的高度Hp满足40nm≤Hma2≤0.9×Hp。

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